INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 17

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LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
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Abb. 2: Akkumulation: Überblick über den Aufbau
1 Messkammer mit Lüfter
2 ISO-KF DN16
3 Einlassmodul
4 Wellschlauch
5 Blindflansch
6 Massenspektrometer-Modul
1 2 3 4
4 11
4 10
7 Netzteil 24 V
8 Trockene Vorpumpe mit separater
9 Schlauch ID 10
10 Gerade-Verbinder 8 auf 10 mm
11 Adapter auf DN16
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6
4 9
Stromversorgung)
Beschreibung | 4
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