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INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 111

Massenspektrometer-modul
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LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
Der Blinkcode wird zyklisch wiederholt.
Beispiel: Der Druck ist zu hoch.
-> Fehlercode = Warnung 520
-> Blinkcode der Status-LED: Weiß (lang), 5·Orange, Blau, 2·Orange, Blau
Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) | 10
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