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INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 35

Massenspektrometer-modul
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INFICON
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
Im Auslieferungszustand sind die Lager mit den Innensechskantschrauben und Trans-
portmuttern am Grundrahmen befestigt. Für die Montage des Massenspektrometer-
Moduls die mitgelieferten selbstsichernden Muttern verwenden – nicht die Transport-
muttern.
Der Untergrund muss stabil sein.
WARNUNG
Schwere Verletzungen durch Ausbruch des Massenspektrometer-Moduls
Wenn das Massenspektrometer-Modul nicht ausreichend festgeschraubt ist, kann ein
plötzlich blockierender Rotor der Turbomolekularpumpe bewirken, dass das Massen-
spektrometer-Modul ausbricht. Schwerste Verletzungen können die Folge sein.
► Sicherstellen, dass die Befestigung des Massenspektrometer-Moduls ein Bremsmo-
ment von 820 Nm aufnehmen kann.
1
Durchgangsbohrungen bohren:
– X-Abstand: 283 mm
– Y-Abstand: 121,5 mm
– Durchgangsbohrung in Blech: Ø 9 mm
– Befestigungsschrauben: M8 x 50
2
Transportmuttern demontieren.
3
Massenspektrometer-Modul auf Durchgangsbohrungen setzen und mit Befesti-
gungselementen wie in obiger Abbildung gezeigt festschrauben
Montage LDS3000 AQ (Akkumulation) | 6
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