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INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 104

Massenspektrometer-modul
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10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ)
Warnung
Fehleranzeige
(Wrn)
LDS3000
Fehler
(Err)
Wrn205
Spannung 24V_PWR56
außerhalb des Bereichs
(Sniff_valve/valve6)
Wrn221
Interne Spannung 24V_RC
außerhalb des Bereichs
Wrn222
Interne Spannung 24V_IO
außerhalb des Bereichs
Wrn223
Interne Spannung
24V_TMP außerhalb des
Bereichs
Wrn224
Interne Spannung 24V_1
(Pirani) außerhalb des Be-
reichs
Wrn240
Spannung +15V außerhalb
des Bereichs
Wrn241
Spannung -15V außerhalb
des Bereichs
Err242
Spannung +15V oder -15V
kurzgeschlossen
Wrn250
Spannung REF5V außer-
halb des Bereichs
Err252
Spannung REF5V kurzge-
schlossen
3xx Nachweissystem (Offset Vorverstärker, Vorverstärkertest, Emission, Kathodentest)
Wrn300
Anodenspannung zu nied-
rig
104 / 141
Fehlernummer
LDS1000
Binär-
Protokoll
bzw.ASCII
Protokoll
Kompatibili-
tätsmodus
LDS1000/
LDS2010
24
120
24
120
24
120
24
120
24
120
24
120
24
120
24
120
24
120
24
120
41
132
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
Grenzwerte Ursache
20V
Kurzschluss am Ventil 5 (Schnüf-
feln) oder Ventil 6
30V
20V
Kurzschluss 24V am Ausgang Be-
dieneinheit
30V
20V
Kurzschluss 24V am Ausgang IO
30V
20V
Kurzschluss 24V der TMP
30V
20V
Kurzschluss 24V
30V
Drucksensor PSG500 (1,2,3),
Schnüffelleitung
+15V zu klein, IF-Board oder MSB
defekt
-15V zu klein, Kurzschluss am
Vorverstärker, IF-Board oder MSB
defekt
+ 15V oder -15V zu klein, Kurz-
schluss am Vorverstärker, IF-
Board oder MSB defekt
4,5V
+15V oder 5V zu klein, Kurz-
schluss am Vorverstärker, IF-
5,5V
Board oder MSB defekt
+15V oder REF5V zu klein, Kurz-
schluss am Vorverstärker, IF-
Board oder MSB defekt
7V < des
Kurzschluss Anodenspannung, zu
Sollwerts
hoher Druck im Massenspektro-
meter, IF-Board, MSB oder Ionen-
quelle defekt
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