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INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 132

Massenspektrometer-modul
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12 | Wartung
132 / 141
Abb. 24: Turbomolekularpumpe SplitFlow 80
1
Verschlussdeckel
2
O-Ring
3
Betriebsmittelspeicher
4
Belüftungsschraube
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
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