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INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 124

Massenspektrometer-modul
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11 | Betrieb CU1000 (optional)
124 / 141
Abb. 21: I/O module (2): Visualisierte Informationen zu den digitalen Eingängen
1
Zustand der Eingangssignale
3
Status der Funktion (aktiv oder in-
aktiv)
• I/O module (3): Visualisierte Informationen zu den digitalen Ausgängen
2
Konfigurierte Funktion (INV =
Funktion ist invertiert)
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
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