INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 108

10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ)
Wrn500 Drucksensor nicht ange-
schlossen
Wrn502 Drucksensor 2 nicht ange-
schlossen
Wrn520 Druck zu hoch
Wrn521 Druckanstieg, Zusammen-
bruch Anodenspannung
Wrn522 Druckanstieg, Emission zu-
sammengebrochen
Wrn540 Druck zu niedrig, Sniffer
blockiert
Err541 Sniffer blockiert (p1)
Wrn542 Sniffer gebrochen
Wrn550 Druck zu niedrig, XL Snif-
fer blockiert
Wrn552 XL Sniffer gebrochen
Wrn554 XL sniffer P2 zu klein
Wrn556 Drossel zugesetzt
Err557 Drossel verstopft
6xx Kalibrierfehler
Wrn600 Kalibrierfaktor zu niedrig
Wrn601 Kalibrierfaktor zu hoch
108 / 141
58 144
73 148
73 148
73 148
63 62
62 146
64 147
63 62
81 153
81 153
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
0,5V Drucksensor PSG500 P1 nicht an-
geschlossen, IF-Board oder MSB
defekt
Drucksensor PSG500 P2 nicht an-
geschlossen, IF-Board oder MSB
defekt.
18 mbar Druck p1 zu hoch
< Sollwert - Druck p1 zu hoch, Meldung nach
20V 1,4s
< 90% des Emission war vorher stabil, Druck
Sollwerts p1 zu hoch, Meldung nach 5s
> 110%
des Soll-
werts
Parameter Schnüffler verstopft, Schnüffelven-
Sniffer til defekt, Filter verstopft
Fluss-War-
nung
Schnüffler verstopft, Schnüffelven-
til defekt (Druck kleiner als halber
eingestellter Warnwert), Filter ver-
stopft
Schnüffler gebrochen
High Flow-Kapillare der Schnüffel-
leitung reinigen oder austauschen.
Verschmutzten Filter tauschen.
High Flow-Kapillare der Schnüffel-
leitung austauschen.
Druck an SL3000XL im Low Flow
zu niedrig.
Druck zu niedrig (p1)
Druck zu niedrig (p1)
0,01 Kalibrierleck oder Maschinenfaktor
falsch eingestellt
10000 Kalibrierleck oder Maschinenfaktor
falsch eingestellt, Teilstromfaktor
zu groß
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