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INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 74

Massenspektrometer-modul
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8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation)
LDS1000-Kompatibilitätsmodus 9.2 sonstige Funktionen
Korrektur der Leckrate in Standby
(Maschinenfaktor)
ZERO bei Start
Öffnen des Schnüffelventils
Drehzahl der Turbomolekularpum-
pe
Adresse RS485
Schnüffeltaster ein/aus
Defaultwert für Int. Prüfleck
Defaultwert Ext. Prüfleck VAC/
SNIF-Mode
Einstellbereich int. Prüfleck
Abgleich Maschinenfaktor
Wertebereich Maschinen-/Schnüf-
felfaktor
Druck: Kapillarüberwachung 20
Analogausgang
Kalibrieraufforderung
Druck-/Leckraten Einheiten (VAC/
SNIF) für alle Schnittstellen
Benutzerberechtigungen
Schlüsselschalter
74 / 141
LDS2010
einstellbar (ja/nein)
in SNIF nach Start
nur 2 Drehzahlen
ja, da BUS-fähig
wählbar
1E-15 mbar l/s
1E-7 mbar l/s
10E-7
manuell
Maschinenfaktor: 1E-3...9.9E+3
Schnüffelfaktor: 1E-3...9.9E+3
feste Kennlinien
Vorverstärkertemperaturänderung
5 K oder 30 min
ja
3 Ebenen über PIN an Gerätebe-
dienung oder Schlüsselschalter
fest eingebaut
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
LDS3000
Defaultwerte und Fehlermeldungen
(Defaultwerte werden über die
Schnittstelle ausgegeben, auf dem
Touchscreen erscheint die Original-
meldung- -> Grund: neue Hardware
kann Fehler erzeugen, die bei den
Vorgängern nicht existierten)
einstellbar (ja/nein)
ab V1.02 wie LDS2010
in SNIF nach Start
über serielle Schnittstelle von
750 Hz bis 1500 Hz einstellbar,
über Gerätebedienung 1000 Hz und
1500 Hz
nein, da nicht Bus-fähig
wählbar
9.9E2 mbar l/s
9.9E2 mbar l/s
1E-9 ... 9.9E-1 mbar l/s
manuell/automatisch
Maschinenfaktor: 1E-4...1E+5
Schnüffelfaktor: 1E-4...1E+4
vorhanden, Druck einstellbar
frei konfigurierbar
Vorverstärkertemperaturänderung
5 K oder 30 min. oder TMP Dreh-
zahl geändert
Bedieneinheit und Rest getrennt
4 Ebenen über Bedieneinheit oder
optionalen Schlüsselschalter
kann, falls benötigt, extern ange-
schlossen werden, siehe "Digitale
Eingänge des I/O-Moduls belegen
[} 96]" (Schlüsselschalter)
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