Die Pumpe Erreicht Nicht Die Spezifizierte Leistung (Endvakuum Wird Nicht Erreicht); Die Pumpe Läuft Zu Laut; Die Oberflächentemperatur Der Pumpe Liegt Über 100 ºc; Das Vakuum Wird Nach Abschalten Der Pumpe Nicht Aufrechterhalten - Edwards RV5 Betriebsanleitung
Vorschau ausblenden
Andere Handbücher für RV5:
- Betriebsanleitung (64 Seiten) ,
- Betriebsanleitung (28 Seiten)
Inhaltsverzeichnis
Werbung
5.12.3
Die Pumpe erreicht nicht die spezifizierte Leistung (Endvakuum wird nicht
erreicht)
Ihr Druckmessverfahren bzw. die Messzelle sind ungeeignet oder geben falsche Druckwerte aus.
Beispielsweise kann eine verunreinigte Pirani-Messzelle einen Druckwert ausgeben, der mehrfach höher als
der eigentliche Druck im System liegt.
Sie haben die Pumpe mit Öl vom falschen Typ gefüllt.
Im Vakuumsystem ist ein Leck.
Der Betriebsart-Wahlschalter bzw. die Gasballast-Steuerung sind falsch eingestellt.
Der Ölstand ist zu niedrig.
Das Öl ist verunreinigt.
Ihre Vakuum-Anschlüsse sind schmutzig oder beschädigt.
Der Einlassfilter ist verstopft.
Die Pumpe ist noch zu kalt.
5.12.4
Die Pumpe läuft zu laut
Die Lüfterabdeckung des Motors ist beschädigt.
Die Motorlager sind defekt.
Das Öl ist mit festen Partikeln verunreinigt.
5.12.5
Die Oberflächentemperatur der Pumpe liegt über 100 ºC
Hinweis:
Wenn der Einlassdruck fortdauernd über 100 mbar (1 x 10
temperatur von 40 ºC die Oberflächentemperatur der RV12-Pumpe 115 ºC erreichen.
Die Umgebungstemperatur ist zu hoch.
Die Kühlluftzufuhr ist unzureichend bzw. die Kühlluft ist zu heiß.
Die Versorgungsspannung ist zu hoch.
Der Auslassfilter bzw. die Auslassleitung ist verstopft.
Der Ölstand ist zu niedrig.
Sie haben die Pumpe mit Öl vom falschen Typ gefüllt.
Das Öl ist verunreinigt.
Das Prozessgas ist zu heiß bzw. der Durchsatz ist zu hoch.
5.12.6
Das Vakuum wird nach Abschalten der Pumpe nicht aufrechterhalten
Die Gasballast-Steuerung ist offen (das heißt, auf Position I oder II).
Der Einlassventilsitz ist beschädigt.
Das Einlassventil ist nicht geschlossen.
© Edwards Limited 2007. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
A652–01–882 Ausgabe S
4
Pa) liegt, kann bei einer Umgebungs-
Seite 39
Quicklinks ausblenden:
Werbung
Inhaltsverzeichnis
