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2
Technische Daten
2.1
Allgemeines
Leistung
Abmessungen
Maximaltemperatur Hochvakuumflansch
Maximales Magnetfeld
Installationskategorie
Schadstoffklasse
Spannungsversorgung
Gerätetyp
Umgebungstemperaturbereich (Betrieb)
Umgebungs-Luftfeuchtigkeit (Betrieb)
Maximale Betriebshöhe
Umgebungstemperaturbereich (Lagerung)
2.2
Pumpmedien
Gefährliche Gase und Gasgemische sicher abführen. Menschen nicht diesen Gasen aussetzen.
Verwenden Sie die EXT Split Flow-Pumpen nicht zum Pumpen explosiver Gasgemische, da die
Pumpen dafür nicht geeignet sind.
Wenn pyrophore Gase gepumpt werden, muss der Kunde für ausreichende Verdünnung mit einem
inerten Gas sorgen.
Der Kunde ist dafür verantwortlich, das System auf Lecks zu prüfen, um sicherzustellen, dass
Prozessgase nicht in die Atmosphäre entweichen und dort zu gefährlichen Situationen
führen können.
Gase, die von anderen Einlässen gepumpt werden, können sich verbinden und so gefährliche
Mischungen bilden.
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 1 - Allgemeines
Siehe
Tabelle 4
Siehe
Abbildung
70 °C
3,5 mT Horizontalfeld
EN61010 Teil 1, Kategorie 1
EN61010, Schadstoffklasse 2
24 V DC
Fest eingebautes Gerät, nur in Gebäuden, nicht im
Freien
5 °C bis 40 °C
10 bis 90 % relative Luftfeuchtigkeit (nicht
kondensierend)
2000 m
-30 °C bis 70 °C
WARNUNG
WARNUNG
WARNUNG
WARNUNG
WARNUNG
B756-01-882 Issue K
1, 2,
3
und
4
Seite 3
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Fehlerbehebung
