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BETRIEB
Nach einer 30 Sekunden dauernden Entnahmephase fallen V1, V2 und V3 ab und
die Referenzphase abgeschaltet. Dies sperrt die Zufuhr des trockenen Gasstroms zur
Sensorzelle. V3 zieht an, um das Probegas während der Messphase zur Sensorzelle
strömen zu lassen (roter Pfad in Abb. 42). Die Pfade des Referenz- und des Kalibriergases
sind grün markiert. Diese Pfade werden während der zweiten Messphase kontinuierlich
gespült.
HE1
V1
DD
DD
MFC
MFC
QCH
QCH
PS
PS
Während dieser Probephase des Messzyklus wird die Frequenzdifferenz zwischen den
Referenz- und Sensor-Kristallen erneut gemessen. Die zwischen dem trockenen und feuchten
Stadium gemessene Frequenzdifferenz ist nach einer entsprechenden Signalverarbeitung
proportional zum Feuchtegehalt des Probegases.
50
DD
MG
FC1
QCH
Trockenmitteleinsatz
Massen-Durchflussregler
Sensorzelle
Drucksensor
Abbildung 42
Bedienungsanleitung QMA601
GASEINLASS
V2
FC2
MFC
PS
Legende
MG
MG
V1, V2, V3
V1, V2, V3
HE1, HE2
HE1, HE2
FC1, FC2, FC3
FC1, FC2, FC3
Messzyklus (Probephase) Kalibrierfluss
HE2
V3
FC3
GASAUSLASS
Feuchtegenerator
Magnetventile
Wärmetauscher
Flusssteuerung
97449 Version 4, Juni 2020
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