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Bedienungsanleitung QMA601
3.9
Messzyklus
Am Anfang eines Messzyklus ist V1 angeregt. Damit kann das trockene Gas für die
Dauer der Referenzphase zur Sensorzelle strömen, wie es durch die rote Linie in Abb.
41 markiert ist. Während dieser ersten Phase des Messzyklus wird die Frequenzdifferenz
zwischen den Sensor- und Referenz-Kristallen in der Sensorzelle gemessen.
Die Pfade des Mess- und des Kalibriergases sind grün markiert. Während der
Referenzphase des Messzyklus werden diese Pfade kontinuierlich gespült.
HE1
DD
DD
MFC
MFC
QCH
QCH
PS
PS
Abbildung 41
Michell Instruments
DD
MG
V1
FC1
QCH
Trockenmitteleinsatz
Massen-Durchflussregler
Sensorzelle
Drucksensor
Messzyklus (Referenzphase) - Fluss des trockenen Probegases
GASEINLASS
V2
FC2
MFC
PS
Legende
Feuchtegenerator
MG
MG
V1, V2, V3
V1, V2, V3
Magnetventile
HE1, HE2
HE1, HE2
Wärmetauscher
Flusssteuerung
FC1, FC2, FC3
FC1, FC2, FC3
BETRIEB
HE2
V3
FC3
GASAUSLASS
49
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