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Wartung eines Volatiles Interface
Anleitung: Austausch oder Reinigung des Interface
Benötigte Materialien:
•
1/4"- oder 7-mm-Gabelschlüssel
•
Ultraschallbad oder ein neues Interface
•
T-20 Torx Inbusschlüssel
1. Speichern Sie Ihre eingegebenen Parameter, die Sie nicht verlieren möchten,
als Methode. Lassen Sie Interface und Ofen abkühlen. Drehen Sie alle Gase
an der Gasversorgung ab oder stellen Sie die Flussraten in der Parameter-
tabelle des Einlasssystems auf 0.
2. Nehmen Sie die Transferleitung auseinander. Lösen Sie die Mutter mit dem
1/4"-Schlüssel und entfernen Sie sie. Entfernen Sie das Befestigungsstück
vom Interface durch Lösen der Befestigungsschraube mit einem T-20 Inbus-
schlüssel. Bewahren Sie das Befestigungsblech gut auf.
Befestigungsblech
Transferleitung
Das Volatiles Interface (Gasinterface)
Direkt-Modus
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