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Gaskalibrierung
Silan XP (SiH
)
4
Stibin (SbH
)
3
Schwefeldioxid (SO
Schwefeldioxid (SO
Schwefelsäure (H
2
TDI
Tert-Butylarsin (TBA)
Tert-Butylarsin XP (TBA)
Tert-Butylphosphin (TBP)
Tert-Butylphosphin XP (TBP)
Tetrakis-Dimethylamin-Titan (TDMAT)
Tetrakis-Dimethylamin-Titan XP (TDMAT)
TMDI
TMXDI
Toluoldiamin (TDA)
Trimethylamin (TMA)
UDMH
UDMH geringe Konz.
XDI
* Das Ausgangssignal bei Konzentrationen am unteren Messgrenzwert beträgt bei den meisten Gasen 4,56 mA.
Mit einem Stern gekennzeichnete Gase verfügen am unteren Messgrenzwert über andere Ausgangssignale wie
in Tabelle 4-1 aufgeführt.
** Unterer Messgrenzwert
*** Bei der zuvor genannten SO2-Kalibrierung (ppm) wird eine Schwefeldioxid-Chemcassette verwendet (nicht die
Chemcassette für Schwefeldioxid mit geringer Konzentration).
Technisches Handbuch SPM
)
2
)
2
SO
)
4
SPM Single Point Monitor
Unterer
Null
Messgrenzwert**
4,0 mA
4,56 mA*
0 ppm
0,3 ppm*
0 ppb
20 ppb*
0 ppm
0,2 ppm*
0 ppb
26 ppb***
0 ppb
26 ppb
0 ppb
2 ppb
0 ppb
15 ppb*
0 ppb
15,0 ppb*
0 ppb
60 ppb*
0 ppb
92 ppb*
0 ppm
0,3 ppm*
0 ppm
0,1 ppm*
0 ppb
2 ppb
0 ppb
2 ppb
0 ppb
4 ppb*
0 ppm
1,1 ppm
0 ppb
53 ppb
0 ppb
5 ppb*
0 ppb
2 ppb
4-6
Skalenendwert
9,33 mA
14,67 mA
20,0 mA
5,0 ppm
10,0 ppm
15,0 ppm
100 ppb
200 ppb
300 ppb
2,0 ppm
4,0 ppm
6,0 ppm
250 ppb
500 ppb
750 ppb
250 ppb
500 ppb
750 ppb
20 ppb
40 ppb
60 ppb
50 ppb
100 ppb
150 ppb
50 ppb
100 ppb
150 ppb
300 ppb
600 ppb
900 ppb
300 ppb
300 ppb
900 ppb
1,3 ppm
2,7 ppm
4,0 ppm
1,0 ppm
2,0 ppm
10,0 ppm
20 ppb
40 ppb
60 ppb
20 ppb
40 ppb
60 ppb
20 ppb
40 ppb
60 ppb
10,0 ppm
20,0 ppm
30,0 ppm
500 ppb
1000 ppb
1500 ppb
10 ppb
20 ppb
30 ppb
20 ppb
40 ppb
60 ppb
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