PI H-811.I2 Benutzerhandbuch Seite 99

13 Anhang
13 Anhang
13.1 Erläuterungen zum Testprotokoll
Der Hexapod wird vor Auslieferung auf Positioniergenauigkeit der Translationsachsen geprüft.
Das Testprotokoll ist im Lieferumfang enthalten.
Die folgende Abbildung zeigt den verwendeten Testaufbau.
Abbildung 36: Testaufbau für die Messung der X- bzw. Y-Achse
Laser-Interferometer
1
Spiegel
2
Tisch
3
Die folgenden Testzyklen werden durchgeführt:
Bewegung über den gesamten Stellweg mit mindestens 20 Messpunkten, in mindestens

fünf Zyklen
Bewegung über Teilstücke, z. B. ±1 mm in Schritten von z. B. 100 µm

H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0 95