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PI H-811 Benutzerhandbuch

Hexapod mikroroboter
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Inhaltsverzeichnis

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MS235D
H-811 Hexapod Mikroroboter
Benutzerhandbuch
Version: 2.4.0
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland
Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de
Datum: 14.07.2021
Dieses Dokument beschreibt folgende Produkte:
H-811.I2
Miniatur-Hexapod-Mikroroboter, bürstenloser
DC-Motor, 5 kg Belastbarkeit, 10 mm/s
maximale Geschwindigkeit, 0,5 m Kabellänge.
Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang
enthalten und müssen separat bestellt werden.
H-811.I2V
Miniatur-Hexapod-Mikroroboter, bürstenloser
DC-Motor, vakuumkompatibel bis 10
Belastbarkeit, 10 mm/s Geschwindigkeit,
Kabelsatz 2 m vakuumseitig, Durchführungen.
Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im
Lieferumfang enthalten und müssen separat
bestellt werden.
H-811.F2
Miniatur-Hexapod-Mikroroboter für optische
Justage, magnetische Wechselplatte,
bürstenloser DC-Motor, 5 kg Belastbarkeit, 10
mm/s maximale Geschwindigkeit, 0,5 m
Kabellänge. Anschlusskabel sind nicht im
Lieferumfang enthalten und müssen separat
bestellt werden.
H-811.S2
Miniatur-Hexapod-Mikroroboter für
hochdynamische Anwendungen, Direktantrieb,
10 mm/s maximale Geschwindigkeit, 1,5 kg
Last, 0,5 m Kabellänge. Anschlusskabel sind
nicht im Lieferumfang enthalten und müssen
separat bestellt werden.
hPa, 5 kg
-6

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Inhaltsverzeichnis
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Verwandte Anleitungen für PI H-811

Inhaltszusammenfassung für PI H-811

  • Seite 1 Last, 0,5 m Kabellänge. Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de...
  • Seite 2 Hinweise zu Markennamen und Warenzeichen Dritter: BiSS ist ein Warenzeichen der iC-Haus GmbH. © 2021 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Deutschland. Die Texte, Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschützt. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG behält insoweit sämtliche Rechte vor.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Inhalt Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ............1 Symbole und Kennzeichnungen ................. 1 Abbildungen ....................... 2 Mitgeltende Dokumente .................... 2 Handbücher herunterladen ..................3 Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung ................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ................. 5 Organisatorische Maßnahmen ................... 6 Maßnahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten ......
  • Seite 4 10.3 Abmessungen ......................74 10.3.1 Hexapod H-811 .................... 74 10.3.2 Steckerhalter 000067899 ................77 10.4 Lastkurven ........................ 78 10.5 Dynamischer Arbeitsbereich des H-811.S2 .............. 84 10.6 Pinbelegung ......................86 10.6.1 Anschluss zur Stromversorgung ..............86 10.6.2 Anschluss zur Datenübertragung ..............87 Altgerät entsorgen...

  • Seite 5: Ziel Und Zielgruppe Dieses Benutzerhandbuchs

    Handbücher herunterladen ......................3 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthält die erforderlichen Informationen für die bestimmungsgemäße Verwendung des H-811. Grundsätzliches Wissen zu geregelten Systemen, zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten Sicherheitsmaßnahmen wird vorausgesetzt. Die aktuellen Versionen der Benutzerhandbücher stehen auf unserer Website zum Herunterladen (S.

  • Seite 6: Abbildungen

    Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tatsächlichen Gegebenheiten abweichen. Auch fotografische Abbildungen können abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar. Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Gerät / Programm Dokument-...

  • Seite 7: Handbücher Herunterladen

    Wenn ein Handbuch fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten:  Wenden Sie sich an unseren Kundendienst (S. 55). Handbücher herunterladen 1. Öffnen Sie die Website www.pi.de. 2. Suchen Sie auf der Website nach der Produktnummer (z. B. P-882) oder der Produktfamilie (z. B. PICMA® Bender).

  • Seite 9: Sicherheit

    Controller von PI möglich (S. 8), der alle Bewegungen des Hexapods koordiniert. Allgemeine Sicherheitshinweise Der H-811 ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut. Bei unsachgemäßer Verwendung des H-811 können Benutzer gefährdet werden und/oder Schäden am H-811 entstehen.

  • Seite 10: Organisatorische Maßnahmen

     Fügen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen, z. B. Ergänzungen und Technical Notes, zum Benutzerhandbuch hinzu.  Wenn Sie den H-811 an Dritte weitergeben, fügen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei.  Führen Sie Arbeiten grundsätzlich anhand des vollständigen Benutzerhandbuchs durch.

  • Seite 11: Produktbeschreibung

    Keine Addition von Fehlern einzelner Achsen  Keine Reibung und Momente durch geschleppte Kabel  Der Hexapod wird mit einem Controller gesteuert, der separat bei PI zu bestellen ist (S. 8). Die Positionsbefehle an den Controller werden in kartesischen Koordinaten eingegeben. Modellübersicht Modell Bezeichnung Miniatur-Hexapod-Mikroroboter, bürstenloser DC-Motor, 5 kg Belastbarkeit,...

  • Seite 12: Geeignete Controller

    Ansteuerung von zwei Zusatzachsen, EtherCAT-Schnittstelle, Motion Stop C-887.533 6-Achs-Controller für Hexapoden, TCP/IP, RS-232, Tischgerät, inkl. Ansteuerung von zwei Zusatzachsen, EtherCAT-Schnittstelle, Motion Stop, Analogeingänge  Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst (S. 55). Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 13: Produktansicht

    3 Produktbeschreibung Produktansicht Abbildung 1: Produktansicht, links H-811.F2, rechts H-811.I2 (gilt auch für H-811.I2V und H-811.S2) Bewegungsplattform Bein Datenübertragungskabel Stromversorgungskabel Grundplatte Montageplatte, durch Magneten gehalten Lieferumfang Bestellnummer Komponenten H-811 Hexapod gemäß Ihrer Bestellung (S. 7). H-811.I2, .F2, .S2: Kabel mit Länge 0,5 m sind fest installiert.
  • Seite 14 3 Produktbeschreibung Nur vakuumtaugliches Modell H-811.I2V: 4668 Vakuumdurchführung für Datenübertragung, HD D-Sub 78 m/f C887B0002 Vakuumdurchführung für Stromversorgung, LEMO 2-polig (f) auf M12 (m) Nur Modelle H-811.I2, .F2, .S2: 000067899 Steckerhalter für Befestigung des Datenübertragungskabels Verpackung, bestehend aus: Außenkarton  Innenkarton ...
  • Seite 15 Datenübertragungskabel: 2 Zylinderschrauben M6x30 ISO 4762  1 Sechskantschlüssel 5,0 DIN 911  Beachten Sie, dass die Anschlusskabel zur Verbindung des H-811 mit der Elektronik separat bestellt werden müssen: Bestellnummer Datenübertragungskabel, verfügbare Längen Datenübertragungskabel für Hexapoden, schleppkettentauglich, HD D-Sub C-815.82D02 78 m/f, 2 m C-815.82D03...

  • Seite 16: Optionales Zubehör

    Verfügbar für die Hexapod-Mechaniken H-811.F2 und H-811.I2 in Kombination mit einem C-887 Hexapod-Controller, der über einen hochauflösenden Analogeingang verfügt. Die Installation erfolgt durch einen PI-Servicetechniker in einer Remote-Sitzung. Der Kontakt wird von PI nach dem Kauf hergestellt. Wenden Sie sich für Bestellungen an den Kundendienst (S. 55).

  • Seite 17: Steuerung

    3.7.3 Steuerung Der Hexapod ist für den Betrieb mit einem geeigneten Controller von PI (S. 8) vorgesehen. Mit dem Controller können Bewegungen für einzelne Achsen, für Kombinationen von Achsen oder für alle sechs Achsen gleichzeitig in einem einzigen Bewegungsbefehl kommandiert werden.
  • Seite 18 Koordinatensystem ist zur besseren Übersicht oberhalb der Plattform gezeichnet Translation Translationen werden im raumfesten Koordinatensystem beschrieben. Die Translationsachsen X, Y und Z treffen sich im Ursprung des Koordinatensystems (0,0,0). Weitere Informationen finden Sie im Glossar (S. 91). Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 19 Runde Plattform durch T-förmige Plattform ersetzt  Koordinatensystem versetzt dargestellt  Drehpunkt in der oberen linken Ecke der Plattform  1. Die U-Achse wird zur Position 10 kommandiert. Die Rotation um die U-Achse verkippt die Rotationsachsen V und W. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 20 Plattformposition: U = 10 (U parallel zur raumfesten X-Achse) 1. Die V-Achse wird zur Position –10 kommandiert. Die Rotation erfolgt um die bei der vorangegangenen Rotation verkippte Rotationsachse V. Die Rotation um die V-Achse verkippt die Rotationsachsen U und W. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 21 1. Die W-Achse wird zur Position 10 kommandiert. Die Rotation erfolgt um die bei den vorangegangenen Rotationen verkippte Rotationsachse W. Die W-Achse ist immer senkrecht zur Plattformebene. Die Rotation um die W-Achse verkippt die Rotationsachsen U und V. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 22: Id-Chip

    Standard-Controller gespeichert (z. B. Geometriedaten und Regelungsparameter). Die Konfigurationsdaten für kundenspezifische Hexapoden sind nur dann auf dem Controller gespeichert, wenn Hexapod und Controller zusammen ausgeliefert werden, oder wenn PI vor der Auslieferung des Controllers entsprechend informiert wurde. Weitere Informationen und Anwendungshinweise finden Sie in der Dokumentation des Controllers.

  • Seite 23: Auspacken

    INFORMATION Beim Umgang mit der Vakuumversion des Hexapods muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden. Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Danach wird der Hexapod noch einmal per Wischreinigung gesäubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschweißt.
  • Seite 24 4. Nehmen Sie den Schaumstoffeinsatz mit dem Hexapod vorsichtig aus dem inneren Karton. 5. Kippen Sie den Schaumstoffeinsatz mit dem Hexapod an der Längsseite um 90° und legen Sie ihn auf einer Unterlage ab. 6. Entfernen Sie den Klemmbügel an der Unterseite des Schaumstoffeinsatzes. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 25 10. Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste. Bei falsch gelieferten oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an PI. 11. Überprüfen Sie den Hexapod auf Anzeichen von Schäden. Bei Anzeichen von Schäden wenden Sie sich sofort an PI.

  • Seite 27: Installation

     Sorgen Sie für eine unterbrechungsfreie Stromversorgung, um eine ungewollte Deaktivierung des Hexapod-Systems und daraus resultierende ungewollte Positionsänderungen des Hexapods zu vermeiden.  Stellen Sie sicher, dass im Arbeitsraum des Hexapods keine Kollisionen zwischen Hexapod, zu bewegender Last und Umgebung möglich sind. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 28: Zulässige Belastung Und Arbeitsraum Ermitteln

    Details zur Freischaltung und Konfiguration von PIVeriMove siehe Technical Note C887T0002 (im Lieferumfang der Software). Zulässige Belastung und Arbeitsraum ermitteln Werkzeug und Zubehör PC mit Windows Betriebssystem, auf dem das Simulationsprogramm PI Hexapod  Simulation Tool installiert ist. Weitere Informationen finden Sie in der Technical Note A000T0068.

  • Seite 29: Hexapod Erden

    2. Schließen Sie die Bewegungsplattform an das Erdungssystem an: Verwenden Sie zum Anschließen eine der Montagebohrungen in der − Bewegungsplattform (S. 74). oder Wenn die Bewegungsplattform und die Last leitend miteinander verbunden sind, − schließen Sie die Last an das Erdungssystem an. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 30: Datenübertragungskabel Mit Steckerhalter Befestigen

    Abbildung 6: Steckerhalter auf Unterlage befestigen Voraussetzung  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 23). Werkzeug und Zubehör Mitgelieferter Steckerhalter inklusive Montagezubehör:  − Zwei Schrauben M6x30 − Sechskantschlüssel 5,0 Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 31: Hexapod Auf Unterlage Befestigen

    Ungeeignete Montage kann die Grundplatte verspannen. Ein Verspannen der Grundplatte verringert die Genauigkeit.  Montieren Sie den Hexapod auf ebener Grundfläche. Die empfohlene Ebenheit der Grundfläche beträgt 20 µm. Voraussetzung  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 23). H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 32: Last Auf Hexapod Befestigen

    Grenzwert einhält.  Vermeiden Sie bei der Installation hohe Kräfte und Momente auf die Bewegungsplattform.  Stellen Sie sicher, dass im Arbeitsraum des Hexapods keine Kollisionen zwischen Hexapod, zu bewegender Last und Umgebung möglich sind. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 33  Befestigen Sie den Hexapod und die Last nur an den dafür vorgesehenen Montagevorrichtungen (Bohrungen). INFORMATION Nur Modell H-811.F2: Die zu justierende Last kann auf der Montageplatte oder direkt auf der Bewegungsplattform befestigt werden. Empfohlen wird das Befestigen auf der Montageplatte.

  • Seite 34: Voraussetzungen

    Optional: zwei Passstifte zur einfachen Ausrichtung der Last auf dem Hexapod, geeignet  für Bohrungen mit Ø 3 mm F7, nicht im Lieferumfang Nur Modell H-811.F2: Wenn Sie mehrere zu justierende Lasten in schnellem Wechsel  befestigen wollen: Je eine zusätzliche Montageplatte pro Aufbau, erhältlich als optionales Zubehör (S.

  • Seite 35: Hexapod An Controller Anschließen

    (siehe Abbildung). Hexapod an Controller anschließen Kabel mit Länge 0,5 m (H-811.I2, .F2, .S2) oder 2 m (H-811.I2V) sind fest am Hexapod installiert. Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt (S. 9) werden. Im Lieferumfang eines vakuumtauglichen Hexapods sind zusätzlich Vakuumdurchführungen enthalten (S.
  • Seite 36 Voraussetzungen  Der Controller ist ausgeschaltet, d.h. der Ein-/Ausschalter befindet sich in der Stellung .  Hexapod H-811.I2, .F2, .S2: Sie haben das fest am Hexapod installierte Datenübertragungskabel mit dem mitgelieferten Steckerhalter auf der Unterlage befestigt (S. 26). Werkzeug und Zubehör Datenübertragungskabel und Stromversorgungskabel, separat (S.
  • Seite 37 5 Installation Wenn notwendig: Vakuumdurchführungen installieren Abbildung 8: Vakuumdurchführung für die Datenübertragung (4668), Abmessungen in mm 4 Bohrungen Ø6 x 45° für M3 Senkkopfschraube H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 38 Achten Sie auf die Zuordnung, die durch die Beschriftung von Buchsen, Steckern − und Kabeln vorgegeben ist. − Beachten Sie die mechanische Kodierung von Steckern und Buchsen. Wenden Sie keine Gewalt an. − − Sichern Sie die Steckverbindungen mit den integrierten Schrauben gegen unbeabsichtigtes Abziehen. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 39 Buchse / Kupplung, weiblich Controller Siehe „Geeignete Controller“ (S. 8) Hexapod Kabel mit Länge 0,5 m sind fest installiert. Netzteil aus dem Lieferumfang des Controllers, Ausgang 24 V DC Datenübertragungskabel* Stromversorgungskabel* * Muss separat bestellt werden. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 40 Einbaustecker / Stecker, männlich Buchse / Kupplung, weiblich Controller Siehe „Geeignete Controller“ (S. 8) Hexapod H-811.I2V. Kabel mit Länge 2 m sind dauerhaft installiert. Netzteil aus dem Lieferumfang des Controllers, Ausgang 24 V DC Vakuumkammer Datenübertragungskabel 3 m* Stromversorgungskabel 3 m* Vakuumdurchführung für Datenübertragung**...

  • Seite 41: Inbetriebnahme

     Nachdem Sie die Kommunikation über TCP/IP oder RS-232 hergestellt haben, senden Sie den Befehl CST?. Die Antwort zeigt an, auf welchen Hexapod der Controller abgestimmt ist.  Betreiben Sie den Hexapod nur mit einem Controller, dessen Konfigurationsdaten auf den Hexapod abgestimmt sind. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 42: Hexapod-System In Betrieb Nehmen

    Während des Betriebs im Vakuum erwärmt sich der Hexapod.  Führen Sie die entstehende Wärme auf geeignete Weise ab. Hexapod-System in Betrieb nehmen Voraussetzungen  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Inbetriebnahme gelesen und verstanden (S. 37). Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 43: Optional: Hexapod Mit Separatem 12-V-Netzteil Betreiben

    Unterlage befestigt und die Last auf dem Hexapod befestigt.  Das 12-V-Netzteil ist nicht über das Netzkabel an der Steckdose angeschlossen.  Der Controller ist augeschaltet, d.h. der Ein-/Ausschalter befindet sich in der Stellung . H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 44 WPA 101 1 0x5a 2 0x5a 3 0x5a 4 0x5a 5 0x5a 6 0x5a e) Schließen Sie das PITerminal. f) Schalten Sie den Controller aus. 2. Schließen Sie den Hexapod am Controller und am 12-V-Netzteil an. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 45 SPA 1 0x5a 80000 2 0x5a 80000 3 0x5a 80000 4 0x5a 80000 5 0x5a 80000 6 0x5a 80000 WPA 101 1 0x5a 2 0x5a 3 0x5a 4 0x5a 5 0x5a 6 0x5a 6. Schließen Sie das PITerminal. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 46 8. Wenn vorhanden, entfernen Sie die M12-Verschlussschraube vom 24-V-Ausgang des Controllers (24 V Out 7 A). 9. Verbinden Sie den Hexapod mit dem 24-V-Ausgang des Controllers. Weitere Informationen siehe "Hexapod an Controller anschließen" (S. 31). Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 47: Wartung

     Führen Sie in regelmäßigen Abständen eine Wartungsfahrt über den gesamten Stellweg durch (siehe Benutzerhandbuch des Controllers). Je öfter Bewegungen über einen eingeschränkten Stellweg durchgeführt werden, desto kürzer muss der zeitliche Abstand der Wartungsfahrten sein. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 48: Hexapod Für Den Transport Verpacken

    X = Y = Z = U = V = W = 0 2. Deinstallieren Sie das Hexapod-System: a) Entfernen Sie die Last von der Bewegungsplattform des Hexapods. b) Schalten Sie den Controller aus. c) Entfernen Sie das Datenübertragungskabel und das Stromversorgungskabel vom Controller. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 49 Folie. 5. Halten Sie den Hexapod an der Grundplatte und legen Sie ihn seitlich in eine Hälfte des Schaumstoffeinsatzes. Achten Sie dabei auf die korrekte Ausrichtung des Hexapods zu den Aussparungen des Einsatzes. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 50 7 Wartung 6. Setzen Sie die zweite Hälfte des Schaumstoffeinsatzes in korrekter Ausrichtung auf den Hexapod. 7. Schieben Sie den Klemmbügel auf den Schaumstoffeinsatz, um die beiden Hälften zusammenzuhalten. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 51 Legen Sie die Kabel auf die Oberseite des Schaumstoffeinsatzes. Vermeiden Sie das Knicken der Kabel. c) Setzen Sie den Schaumstoffeinsatz mit dem Hexapod vorsichtig in den inneren Karton. 10. Schließen Sie den inneren Karton. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 52: Hexapod Reinigen

     Wenn notwendig, reinigen Sie die Oberflächen des Hexapods mit einem Tuch, das leicht mit einem milden Reinigungs- oder Desinfektionsmittel angefeuchtet wurde. Wenn der Hexapod im Vakuum eingesetzt wird:  Berühren Sie den Hexapod nur mit puderfreien Handschuhen.  Wenn notwendig, säubern Sie den Hexapod per Wischreinigung. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 53: Störungsbehebung

    Gleichgewicht befindet. Die Ablaufgenauigkeit  Führen Sie ein Parametertuning Unpassende  ist schlecht. durch. Regelungsparameter für Anwendung  Wenden Sie sich an unseren Kundendienst (S. 55). Systemverhalten hat sich  verändert durch zunehmende Leichtgängigkeit. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 54 2 (Controller E-Stop Activated):  ♦ = 1 - 24-V-Ausgang des Controllers C-887.5xx ist aktiviert ♦ = 0 - 24-V- Ausgang des Controllers C-887.5xx ist deaktiviert Weitere Informationen siehe Benutzerhandbuch des Controllers C- 887.5xx. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 55 Fehlerfall Servomodus zu prüfen abgeschaltet.  2. Senden Sie den Befehl ERR? und prüfen Sie den zurückgemeldeten Fehlercode. Details zu möglichen Fehlercodes und deren Ursachen siehe "Schutzfunktionen des C-887" im Benutzerhandbuch des Controllers C-887.5xx.. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 56 2 (Controller E-Stop Activated):  = 1 - 24-V-Ausgang des ♦ Controllers C-887.5xx ist aktiviert ♦ = 0 - 24-V- Ausgang des Controllers C-887.5xx ist deaktiviert Weitere Informationen siehe Benutzerhandbuch des Controllers C-887.5xx. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 57  Senden Sie den Befehl VER?, um die auf dem ID-Chip gespeicherten Angaben für Hexapod-Typ, Seriennummer und Herstelldatum zu prüfen. Beispiel für die Antwort: IDChip: H-811.F-2 SN123456789 20/1/2016Senden Sie den Befehl CST?. Die Antwort zeigt an, auf welchen Hexapod der Controller abgestimmt ist.
  • Seite 58 Hexapod bewegt sich nicht." genannt werden. Wenn die Störung Ihres Hexapods nicht in der Tabelle aufgeführt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann, kontaktieren Sie unseren Kundendienst (S. 55). Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 59: Kundendienst

    9 Kundendienst Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI-Vertretung oder schreiben Sie uns eine E-Mail (mailto:service@pi.de).  Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an: − Produkt- und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers (sofern vorhanden) −...

  • Seite 61: Technische Daten

    Geschwindigkeit in X, unbelastet Maximale 10 mm/s Geschwindigkeit in Y, unbelastet Maximale 10 mm/s Geschwindigkeit in Z, unbelastet Maximale 250 mrad/s Winkelgeschwindigkeit in θ , unbelastet Maximale 250 mrad/s Winkelgeschwindigkeit in θ , unbelastet H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 62 ± 2 µrad typ. Wiederholgenauigkeit in θ Unidirektionale ± 3 µrad typ. Wiederholgenauigkeit in θ Kleinste Schrittweite in X 0,2 µm typ. Kleinste Schrittweite in Y 0,2 µm typ. Kleinste Schrittweite in Z 0,08 µm typ. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 63 Grundplatte horizontal Gesamtmasse 2,2 kg Material Edelstahl, Aluminium Anschlüsse und H-811.I2 Toleranz Umgebung Empfohlene Controller / C-887.5x Treiber Kabellänge 0,5 m Betriebstemperaturbe- 0 bis 50 °C reich Minimaler Biegeradius 95 mm bei Festinstallation, Datenübertragungskabel H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 64 Die maximalen Stellwege der einzelnen Koordinaten (X, Y, Z, θX, θY, θZ) sind voneinander abhängig. Die genannten Daten geben den maximalen Stellweg einzelner Achsen an, bei denen alle anderen Achsen und der Pivotpunkt auf Referenzposition stehen. Die Fixkabel des H-811.I2 haben jeweils eine Länge von 0,5 m. Die Fixkabel des H-811.I2 sind nicht schleppkettentauglich.
  • Seite 65 , unbelastet Positionieren H-811.F2 Toleranz Unidirektionale ± 0,15 µm typ. Wiederholgenauigkeit in Unidirektionale ± 0,15 µm typ. Wiederholgenauigkeit in Unidirektionale ± 0,06 µm typ. Wiederholgenauigkeit in Unidirektionale ± 2 µrad typ. Wiederholgenauigkeit in θ H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 66 Steifigkeit in X 0,7 N/µm ±20% Steifigkeit in Y 0,7 N/µm ±20% Steifigkeit in Z 8 N/µm ±20% Maximale Haltekraft, passiv, Grundplatte beliebig Maximale Haltekraft, 12 N passiv, Grundplatte horizontal Maximale Belastbarkeit, 2,5 kg Grundplatte beliebig Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 67 Achsen an, bei denen alle anderen Achsen und der Pivotpunkt auf Referenzposition stehen. Scanzeiten: typische Zeitspanne, um den gesamten Bereich zu scannen und sich zur höchsten Intensität zu bewegen. Die Fixkabel des H-811.F2 haben jeweils eine Länge von 0,5 m. Die Fixkabel des H-811.F2 sind nicht schleppkettentauglich.
  • Seite 68 Y, unbelastet Typische Geschwindigkeit 5 mm/s in Z, unbelastet Typische 120 mrad/s Winkelgeschwindigkeit in θ , unbelastet Typische 120 mrad/s Winkelgeschwindigkeit in θ , unbelastet Typische 120 mrad/s Winkelgeschwindigkeit in θ , unbelastet Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 69 Umkehrspiel in Z 0,15 µm typ. Umkehrspiel in θ 5 µrad typ. Umkehrspiel in θ 5 µrad typ. Umkehrspiel in θ 10 µrad typ. Integrierter Sensor Inkrementeller Rotationsencoder Antriebseigenschaften H-811.S2 Toleranz Antriebstyp Bürstenloser DC-Motor H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 70 0 bis 50 °C reich Minimaler Biegeradius 95 mm bei Festinstallation, Datenübertragungskabel Außendurchmesser, 9,3 mm Datenübertragungskabel Stecker, HD D-Sub78 m Datenübertragungskabel Minimaler Biegeradius 25 mm bei Festinstallation, Stromversorgungskabel Außendurchmesser, 4,95 mm Stromversorgungskabel Stecker, M12 m Stromversorgungskabel Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 71: Spezifikationen Für Vakuumtaugliche Versionen

    Die maximalen Stellwege der einzelnen Koordinaten (X, Y, Z, θX, θY, θZ) sind voneinander abhängig. Die genannten Daten geben den maximalen Stellweg einzelner Achsen an, bei denen alle anderen Achsen und der Pivotpunkt auf Referenzposition stehen. Die Fixkabel des H-811.S2 haben jeweils eine Länge von 0,5 m. Die Fixkabel des H-811.S2 sind nicht schleppkettentauglich.
  • Seite 72 Winkelgeschwindigkeit in θ , unbelastet Typische Geschwindigkeit 5 mm/s in X, unbelastet Typische Geschwindigkeit 5 mm/s in Y, unbelastet Typische Geschwindigkeit 5 mm/s in Z, unbelastet Typische 120 mrad/s Winkelgeschwindigkeit in θ , unbelastet Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 73 Umkehrspiel in X 0,2 µm typ. Umkehrspiel in Y 0,2 µm typ. Umkehrspiel in Z 0,06 µm typ. Umkehrspiel in θ 2 µrad typ. Umkehrspiel in θ 2 µrad typ. Umkehrspiel in θ 4 µrad typ. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 74 Umgebung Vakuumklasse Empfohlene Controller / C-887.5x Treiber Kabellänge Betriebstemperaturbe- 0 bis 50 °C reich Maximale 80 °C Ausheiztemperatur Minimaler Biegeradius 70 mm bei Festinstallation, Datenübertragungskabel Außendurchmesser, 6,6 mm Datenübertragungskabel Stecker, HD D-Sub78 m Datenübertragungskabel Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 75: Bemessungsdaten

    Die maximalen Stellwege der einzelnen Koordinaten (X, Y, Z, θX, θY, θZ) sind voneinander abhängig. Die genannten Daten geben den maximalen Stellweg einzelner Achsen an, bei denen alle anderen Achsen und der Pivotpunkt auf Referenzposition stehen. Die Fixkabel des H-811.I2V sind nicht schleppkettentauglich. Luftseitige Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden.
  • Seite 76 E – gerader Steckverbinder Allgemein Einheit Kabellänge L 2 / 3 / 5 / 7,5 / 10 / 20 Maximale Geschwindigkeit Maximale Beschleunigung Maximale Anzahl 1 Mio. Biegezyklen Betriebstemperatur -10 bis +70 °C bereich Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 77 Minimaler Biegeradius in einer Schleppkette Minimaler Biegeradius bei der Festinstallation Außendurchmesser 7,2 Stecker M12 m/f Datenübertragungs Einheit kabel Minimaler Biegeradius in einer Schleppkette Minimaler Biegeradius bei der Festinstallation Außendurchmesser 10,7 Stecker HD D-Sub78 m/f H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 78: Umgebungsbedingungen Und Klassifizierungen

    Die Abbildung zeigt den Hexapod in der Referenzposition. Die (0,0,0)-Koordinaten bezeichnen den Ursprung des Koordinatensystems. Der Drehpunkt für Rotationen liegt im Ursprung des Koordinatensystems, wenn die Werkseinstellungen für Koordinatensystem und Drehpunkt verwendet werden und sich der Hexapod in der Referenzposition befindet. Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 79 10 Technische Daten Abbildung 12: H-811 Hexapod, Modelle .I2, .I2V, .S2 H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 80 10 Technische Daten Abbildung 13: H-811 Hexapod, Modell .F2 Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 81: Steckerhalter 000067899

    10 Technische Daten 10.3.2 Steckerhalter 000067899 Abmessungen in mm. Abbildung 14: 000067899 Steckerhalter für Zugentlastung H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 82: Lastkurven

    10 Technische Daten 10.4 Lastkurven Abbildung 15: Belastungsgrenzen des H-811.I2 bei horizontaler Montage Abbildung 16: Belastungsgrenzen des H-811.I2 bei vertikaler Montage Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 83 10 Technische Daten Abbildung 17: Belastungsgrenzen des H-811.I2 bei Montage unter ungünstigstem Winkel Abbildung 18: Maximal zulässige Krafteinwirkung auf den H-811.I2 bei horizontaler Montage H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 84 10 Technische Daten Abbildung 19: Belastungsgrenzen des H-811.I2V bei horizontaler Montage Abbildung 20: Belastungsgrenzen des H-811.I2V bei vertikaler Montage Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 85 10 Technische Daten Abbildung 21: Belastungsgrenzen des H-811.I2V bei Montage unter ungünstigstem Winkel Abbildung 22: Maximal zulässige Krafteinwirkung auf den H-811.I2V bei horizontaler Montage H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 86 10 Technische Daten Abbildung 23: Belastungsgrenzen des H-811.F2 bei horizontaler Montage Abbildung 24: Belastungsgrenzen des H-811.F2 bei vertikaler Montage Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 87 10 Technische Daten Abbildung 25: Belastungsgrenzen des H-811.F2 bei Montage unter ungünstigstem Winkel Abbildung 26: Maximal zulässige Krafteinwirkung auf den H-811.F2 bei horizontaler Montage H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 88: Dynamischer Arbeitsbereich Des H-811.S2

    10 Technische Daten 10.5 Dynamischer Arbeitsbereich des H-811.S2 Die Diagramme kennzeichnen den dynamischen Arbeitsbereich des H-811.S2. Dabei gelten die folgenden Voraussetzungen: 1. Eine kompakte Last wird zentrisch montiert. 2. Die Grundpatte des Hexapoden befindet sich in der horizontalen Montagestellung. 3. Es wird immer eine einachsige Bewegung beschrieben.
  • Seite 89 10 Technische Daten Abbildung 28: Dynamischer Arbeitsbereich des H-811.S2, W, 2,5 kg Abbildung 29: Dynamischer Arbeitsbereich des H-811.S2, X und Y, 2,5 kg H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 90: Pinbelegung

    10 Technische Daten Abbildung 30: Dynamischer Arbeitsbereich des H-811.S2, Z, 2,5 kg 10.6 Pinbelegung 10.6.1 Anschluss zur Stromversorgung Nicht für Vakuumversionen: Stromversorgung über 4-poligen M12-Stecker Funktion 24 V DC 24 V DC Nur für Vakuumversionen: Stromversorgung über 2-poligen LEMO-Einbaustecker, männlich, Typ ECJ.1B.302.CLD Version: 2.4.0...

  • Seite 91: Anschluss Zur Datenübertragung

    CH1 B- OUT CH2 Sign IN CH2 MAGN IN CH2 Ref OUT CH2 LimP OUT CH2 LimN OUT CH2 A+ OUT CH2 B+ OUT CH2 A- OUT CH2 B- OUT CH3 Sign IN CH3 MAGN IN H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 92 CH6 MAGN IN CH6 Ref OUT CH6 LimP OUT CH6 LimN OUT CH6 A+ OUT CH6 B+ OUT CH6 A- OUT CH6 B- OUT ID Chip Brake/Enable drive 24 V input Power Good 24 V output Version: 2.4.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 93: Altgerät Entsorgen

    Instrumente (PI) GmbH & Co. KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI-Altgerätes, sofern es nach dem 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Auf der Römerstr.

  • Seite 95: Glossar

    Die Achsen X, Y und Z des kartesischen Koordinatensystems sind raumfest, d.h. das Koordinatensystem bewegt sich nicht mit, wenn sich die Plattform des Hexapods bewegt. Die Achsen X, Y und Z werden auch als Translationsachsen bezeichnet. H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...
  • Seite 96 12 Glossar Der Schnittpunkt der Achsen X, Y und Z des raumfesten kartesischen Koordinatensystems (0,0,0) wird als Ursprung bezeichnet. Die Z-Achse steht senkrecht zur Grundplatte des Hexapods. Die nachfolgenden Abbildungen des Hexapods H-810 als Beispiel verdeutlichen, dass sich das Koordinatensystem bei Bewegungen der Plattform nicht mitbewegt. Abbildung 31: Hexapod in Referenzposition.
  • Seite 97 12 Glossar Abbildung 32: Hexapod, dessen Plattform in X bewegt wurde. Kabelabgang H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 99: 13 Anhang

    Die folgenden Testzyklen werden durchgeführt: Bewegung über den gesamten Stellweg mit mindestens 20 Messpunkten, in mindestens  fünf Zyklen Bewegung über Teilstücke, z. B. ±1 mm in Schritten von z. B. 10 µm  H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 2.4.0...

  • Seite 101: Eu-Konformitätserklärung

    13 Anhang 13.2 EU-Konformitätserklärung Für den H-811 wurde eine EU-Konformitätserklärung gemäß den folgenden europäischen Richtlinien ausgestellt: EMV-Richtlinie RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. EMV: EN 61326-1 Sicherheit: EN 61010-1 RoHS: EN 50581 oder EN IEC 63000...

Diese Anleitung auch für:

H-811.i2H-811.i2vH-811.f2H-811.s2

Inhaltsverzeichnis