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PI H-850.H2A Benutzerhandbuch

Hexapod mikroroboter
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MS202D
H-850 Hexapod Mikroroboter
Benutzerhandbuch
Version: 2.6.0
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland
Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de
Datum: 16.08.2024
Dieses Dokument beschreibt folgende Hexapod-
Mikroroboter:
H-850.H2A
H-850.H2V
H-850.G2A
H-850.G2V
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Verwandte Anleitungen für PI H-850.H2A

Inhaltszusammenfassung für PI H-850.H2A

  • Seite 1 Datum: 16.08.2024 Dieses Dokument beschreibt folgende Hexapod- Mikroroboter: H-850.H2A  H-850.H2V  H-850.G2A  H-850.G2V  Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de...
  • Seite 2 Hinweise zu Markennamen und Warenzeichen Dritter: BiSS ist ein Warenzeichen der iC-Haus GmbH. © 2024 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Deutschland. Die Texte, Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschützt. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG behält insoweit sämtliche Rechte vor.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Inhalt Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ............1 Symbole und Kennzeichnungen ................. 1 Abbildungen ....................... 2 Mitgeltende Dokumente .................... 2 Handbücher herunterladen ..................2 Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung ................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ................. 5 Organisatorische Maßnahmen ................... 5 Maßnahmen bei der Handhabung vakuumtauglicher Produkte .......
  • Seite 4 Optional: Koordinatenwürfel entfernen ..............26 Hexapod an Controller anschließen ................. 26 Inbetriebnahme Allgemeine Hinweise zur Inbetriebnahme ............... 31 Hexapod-System in Betrieb nehmen ................ 32 Vakuumtaugliche Modelle ausheizen ..............33 Wartung Wartungsfahrt durchführen ..................35 Hexapod reinigen ..................... 35 Hexapod für den Transport verpacken ..............36 7.3.1 Hexapod deinstallieren ................

  • Seite 5: Über Dieses Dokument

    1 Über dieses Dokument Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthält die erforderlichen Informationen für die bestimmungsgemäße Verwendung des H-850. Grundsätzliches Wissen zu geregelten Systemen, zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten Sicherheitsmaßnahmen wird vorausgesetzt. Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet: VORSICHT Gefährliche Situation...

  • Seite 6: Abbildungen

    Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tatsächlichen Gegebenheiten abweichen. Auch fotografische Abbildungen können abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar. Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Gerät / Programm Dokument-...
  • Seite 7 1 Über dieses Dokument 4. Wählen Sie Downloads. Die Handbücher werden unter Dokumentation angezeigt. Softwarehandbücher werden unter Allgemeine Software-Dokumentation angezeigt. 5. Wählen Sie für das gewünschte Handbuch HINZUFÜGEN und dann ANFORDERN. 6. Füllen Sie das Anfrageformular aus und wählen Sie ANFRAGE SENDEN. Der Download-Link wird an die eingegebene E-Mail-Adresse gesendet.

  • Seite 9: Sicherheit

    Verschiebung von Lasten in sechs Achsen bei verschiedenen Geschwindigkeiten vorgesehen. Die bestimmungsgemäße Verwendung des Hexapods ist nur in Verbindung mit einem geeigneten Controller von PI möglich (S. 15), der alle Bewegungen des Hexapods koordiniert. Allgemeine Sicherheitshinweise Der H-850 ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut.

  • Seite 10: Personalqualifikation

    Maßnahmen bei der Handhabung vakuumtauglicher Produkte Beim Umgang mit dem Vakuummodell des Hexapods muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden. Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Danach wird der Hexapod noch einmal per Wischreinigung gesäubert und doppelt in vakuumtaugliche...

  • Seite 11: Produktbeschreibung

    3 Produktbeschreibung Produktbeschreibung Modellübersicht Modell Bezeichnung H-850.H2A Präziser Hexapod-Mikroroboter, bürstenloser DC-Getriebemotor, Absolutencoder, 250 kg Belastbarkeit, 0,5 mm/s Geschwindigkeit. Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt werden. Präziser Hexapod-Mikroroboter, DC-Getriebemotor, Rotationsencoder, 80 H-850.H2V kg Belastbarkeit, 0,15 mm/s Geschwindigkeit, vakuumkompatibel bis 10 hPa, Kabelsatz 2 m vakuumseitig, Durchführung.

  • Seite 12: Produktansicht

    3 Produktbeschreibung Produktansicht Abbildung 1: Produktansicht, hier: H-850.G2A Einbaustecker für Datenübertragungskabel Einbaustecker für Stromversorgungskabel Bewegungsplattform Bein Koordinatenwürfel Grundplatte Technische Ausstattung 3.3.1 Beine Der Hexapod hat sechs längenveränderliche Beine. Jedes Bein führt lineare Bewegungen durch. Jeder Satz von Einstellungen der sechs Beine definiert eine Position der Bewegungsplattform in sechs Freiheitsgraden (drei Translationsachsen und drei Rotationsachsen).

  • Seite 13: Referenzschalter Und Endschalter

    3.3.3 Steuerung Der Hexapod ist für den Betrieb mit einem geeigneten Controller von PI (S. 15) vorgesehen. Mit dem Controller können Bewegungen für einzelne Achsen, für Kombinationen von Achsen oder für alle sechs Achsen gleichzeitig in einem einzigen Bewegungsbefehl kommandiert werden.
  • Seite 14 3 Produktbeschreibung Verwendung Rotation um X Rotation um Y Rotation um Z Messprotokoll des Hexapods, Abbildungen des Koordinatensystems A (rot X) B (rot Y) C (rot Z) Mit dem Controller können eigene Koordinatensysteme definiert und anstelle des werkseitig voreingestellten Koordinatensystems verwendet werden. Werkseitige und benutzerdefinierte Koordinatensysteme sind immer rechtshändige Systeme.
  • Seite 15 3 Produktbeschreibung Rotation Rotationen erfolgen um die Rotationsachsen U, V und W. Die Rotationsachsen treffen sich im Drehpunkt (auch „Pivotpunkt“). Die Rotationsachsen und damit auch der Drehpunkt bewegen sich immer zusammen mit der Plattform des Hexapods (siehe auch das untenstehende Beispiel zu aufeinanderfolgenden Rotationen).
  • Seite 16 3 Produktbeschreibung 2. Die V-Achse wird zur Position –10 kommandiert. Die Rotation erfolgt um die bei der vorangegangenen Rotation verkippte Rotationsachse V. Die Rotation um die V-Achse verkippt die Rotationsachsen U und W. Plattform in Referenzposition Plattformposition: U = 10, V = –10 (U und V parallel zur Plattformebene) 3.

  • Seite 17: Id-Chip

    Standard-Controller gespeichert (z. B. Geometriedaten und Regelungsparameter). Die Konfigurationsdaten für kundenspezifische Hexapoden sind nur dann auf dem Controller gespeichert, wenn Hexapod und Controller zusammen ausgeliefert werden, oder wenn PI vor der Auslieferung des Controllers entsprechend informiert wurde. Weitere Informationen und Anwendungshinweise finden Sie in der Dokumentation des Controllers.

  • Seite 18: Optionales Zubehör

    3 Produktbeschreibung Bestellnummer Komponenten 000036450 Zubehör zum Anschluss an das Erdungssystem: 1 Flachkopfschraube mit Kreuzschlitz M4x8 ISO 7045  2 Unterlegscheiben Form A-4,3 DIN 7090  2 Sicherungsscheiben Schnorr Ø 4 mm N0110  Beachten Sie, dass die Anschlusskabel zur Verbindung des H-850 mit der Elektronik separat bestellt werden müssen.

  • Seite 19: Geeignete Controller

    3 Produktbeschreibung Geeignete Controller Modell Bezeichnung C-887.52 6-Achs-Controller für Hexapoden, TCP/IP, RS-232, Tischgerät, inkl. Ansteuerung von zwei Zusatzachsen C-887.521 6-Achs-Controller für Hexapoden, TCP/IP, RS-232, Tischgerät, inkl. Ansteuerung von zwei Zusatzachsen, Analogeingänge C-887.522 6-Achs-Controller für Hexapoden, TCP/IP, RS-232, Tischgerät, inkl. Ansteuerung von zwei Zusatzachsen, Motion Stop 6-Achs-Controller für Hexapoden, TCP/IP, RS-232, Tischgerät, inkl.

  • Seite 21: Auspacken

    INFORMATION Beim Umgang mit dem Vakuummodell des Hexapods muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden. Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Danach wird der Hexapod noch einmal per Wischreinigung gesäubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschweißt.

  • Seite 22: Transportsicherung Entfernen

    4 Auspacken Transportsicherung entfernen 4.2.1 Transportsicherung der Modelle H-850.x2V entfernen Abbildung 3: Bestandteile der Transportsicherung Hexapod mit installierter Transportsicherung Transportsicherung mit Befestigungsschrauben Werkzeug und Zubehör Sechskantschlüssel 5,0 aus dem mitgelieferten Schraubensatz (S. 13).  Transportsicherung entfernen 1. Lösen Sie mit dem Sechskantschlüssel die 4 Schrauben (M6x20), mit denen die Transportsicherung seitlich an der Grundplatte befestigt ist.

  • Seite 23: Transportsicherung Der Modelle H-850.X2A Entfernen

    4 Auspacken 4.2.2 Transportsicherung der Modelle H-850.x2A entfernen Abbildung 4: Bestandteile der Transportsicherung Deckel Schraube M6x16 Mutter M8 Strebe Werkzeug und Zubehör Gabelschlüssel SW 10  Gabelschlüssel SW 13  Transportsicherung entfernen 1. Lösen Sie die 4 Muttern M8, mit denen der Deckel der Transportsicherung an den Streben befestigt ist.
  • Seite 24 4 Auspacken 6. Entfernen Sie die 4 Streben der Transportsicherung aus der Grundplatte des Hexapods, indem Sie sie herausdrehen (Gewinde M8). 7. Bewahren Sie die Transportsicherung inklusive aller Schrauben, Unterlegscheiben und Muttern für den Fall auf, dass das Produkt später transportiert werden muss. Version: 2.6.0 MS202D H-850 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 25: Installation

    5 Installation Installation Allgemeine Hinweise zur Installation Der Hexapod kann in beliebiger Orientierung montiert werden. HINWEIS Unzulässige mechanische Belastung und Kollisionen! Unzulässige mechanische Belastung und Kollisionen zwischen Hexapod, zu bewegender Last und Umgebung können den Hexapod beschädigen.  Halten Sie den Hexapod nur an der Grundplatte. ...

  • Seite 26: Zulässige Posen Ermitteln

    5 Installation HINWEIS Schäden oder Fehlfunktion durch Abziehen von Steckern! Für Hexapod-Modelle mit absolut messenden Encodern gilt: Das Abziehen der Stecker für die Hexapod-Beine von der Grundplatte des Hexapods kann die absolut messenden Encoder beschädigen oder funktionsunfähig machen. Dies gilt sowohl im betriebsbereiten Zustand als auch im stromlosen Zustand des Hexapods.

  • Seite 27: Hexapod Erden

    5 Installation Von der Bewegungsplattform im Betrieb anzufahrende Posen (Translations- und  Rotationskoordinaten) Hexapod erden INFORMATION  Wenn in Ihrer Anwendung Vibrationen auftreten, sichern Sie die Schraubverbindung für den Schutzleiter zusätzlich auf geeignete Weise (z. B. mit leitfähigem Flüssigklebstoff) gegen selbstständiges Losdrehen. Der Hexapod ist nicht über das Stromversorgungskabel geerdet.

  • Seite 28: Voraussetzung

    5 Installation Voraussetzung  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 21). Werkzeug und Zubehör Sechskantschlüssel 5,0 und sechs der mitgelieferten Schrauben (S. 13) M6x30.  Optional: Zwei Passstifte zur einfachen Ausrichtung des Hexapods, geeignet für ...

  • Seite 29: Voraussetzungen

    5 Installation HINWEIS Zu lange Schrauben! Zu tief eingebrachte Schrauben können den Hexapod beschädigen.  Beachten Sie bei der Wahl der Schraubenlänge die Dicke der Bewegungsplattform bzw. die Tiefe der Montagebohrungen (S. 57) zusammen mit der zu montierenden Last.  Verwenden Sie nur Schrauben, die nach dem Einschrauben nicht unter der Bewegungsplattform herausragen.

  • Seite 30: Optional: Koordinatenwürfel Entfernen

    5 Installation Optional: Koordinatenwürfel entfernen Sie können den Koordinatenwürfel von der Grundplatte des Hexapods entfernen. Werkzeug und Zubehör Sechskant-Schraubendreher SW 2,0  Koordinatenwürfel entfernen Abbildung 5: Koordinatenwürfel entfernen 1. Lösen Sie den Gewindestift M4x8. 2. Ziehen Sie den Koordinatenwürfel nach oben von der Grundplatte weg. Hexapod an Controller anschließen Voraussetzungen ...
  • Seite 31 5 Installation Wenn notwendig: Vakuumdurchführungen installieren Abbildung 6: Vakuumdurchführung für die Datenübertragung (4668), Abmessungen in mm 4 Bohrungen Ø6 x 45° für M3 Senkkopfschraube H-850 Hexapod Mikroroboter MS202D Version: 2.6.0...
  • Seite 32 5 Installation  Bauen Sie die Vakuumdurchführung für die Datenübertragung (4668) so ein, dass sich die Buchse HD D-Sub 78(f) in der Vakuumkammer befindet. Abbildung 7: Vakuumdurchführung für die Stromversorgung des Hexapods (C887B0002), Abmessungen in mm  Bauen Sie die Vakuumdurchführung für die Stromversorgung (C887B0002) so ein, dass sich der 2-polige LEMO-Anschluss in der Vakuumkammer befindet.

  • Seite 33: Standardverkabelung

    5 Installation Standardverkabelung Abbildung 8: Anschlussschema Einbaustecker / Stecker, männlich Buchse / Kupplung, weiblich Controller Siehe "Geeignete Controller (S. 15)" Hexapod H-850.H2A, .G2A Netzteil aus dem Lieferumfang des Controllers, Ausgang 24 V DC Datenübertragungskabel Stromversorgungskabel H-850 Hexapod Mikroroboter MS202D Version: 2.6.0...
  • Seite 34 5 Installation Verkabelung für Vakuum Abbildung 9: Anschlussschema Kabelsatz für vakuumtauglichen Hexapod Einbaustecker / Stecker, männlich Buchse / Kupplung, weiblich Controller Siehe "Geeignete Controller (S. 15)" Hexapod H-850.H2V, .G2V Netzteil aus dem Lieferumfang des Controllers, Ausgang 24 V DC Vakuumkammer Datenübertragungskabel* Stromversorgungskabel* Vakuumdurchführung für Datenübertragung**...

  • Seite 35: Inbetriebnahme

    6 Inbetriebnahme Inbetriebnahme Allgemeine Hinweise zur Inbetriebnahme VORSICHT Quetschgefahr durch bewegte Teile! Zwischen den bewegten Teilen des Hexapods und einem feststehenden Teil oder Hindernis besteht die Gefahr von leichten Verletzungen durch Quetschung.  Halten Sie Ihre Finger von Bereichen fern, in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden können.

  • Seite 36: Hexapod-System In Betrieb Nehmen

    6 Inbetriebnahme HINWEIS Schäden durch nicht entfernte Transportsicherung! Wenn die Transportsicherung (S. 17) des Hexapods nicht entfernt wurde und eine Bewegung kommandiert wird, können Schäden am Hexapod entstehen.  Entfernen Sie die Transportsicherung, bevor Sie das Hexapod-System in Betrieb nehmen. Hexapod-System in Betrieb nehmen Voraussetzungen ...

  • Seite 37: Vakuumtaugliche Modelle Ausheizen

    6 Inbetriebnahme Vakuumtaugliche Modelle ausheizen HINWEIS Ausfall des Hexapods! Beim Ausheiz- und Abkühlvorgang des Hexapods kann sich das Schmiermittel im Antriebsstrang ungleichmäßig verteilen. Die ungleichmäßige Verteilung des Schmiermittels kann zum Ausfall des Hexapods führen. Durch Wartungsfahrten, die während des Ausheiz- und Abkühlvorgangs über den gesamten Stellweg der Hexapodbeine durchgeführt werden, verteilt sich das Schmiermittel wieder gleichmäßig.

  • Seite 39: Wartung

    Zustandes und der Leistung Ihres Systems. Kundentraining: Stellt sicher, dass das System über die gesamte Lebensdauer optimal  läuft. Wenden Sie sich an Ihre PI Vertretung, wenn Sie mehr über die umfassenden Servicevorteile erfahren möchten. HINWEIS Schäden durch falsche Wartung! Der Hexapod kann durch falsche Wartung dejustiert werden.

  • Seite 40: Hexapod Für Den Transport Verpacken

    7 Wartung Hexapod reinigen Nur wenn der Hexapod nicht im Vakuum eingesetzt wird:  Wenn notwendig, reinigen Sie die Oberflächen des Hexapods mit einem Tuch, das leicht mit einem milden Reinigungs- oder Desinfektionsmittel angefeuchtet wurde. Wenn der Hexapod im Vakuum eingesetzt wird: ...

  • Seite 41: Transportsicherung Der Modelle H-850.X2V Anbringen

    7 Wartung 7.3.2 Transportsicherung der Modelle H-850.x2V anbringen Werkzeug Gabelschlüssel SW 10  Gabelschlüssel SW 13  geeigneter Schraubendreher  Abbildung 10: Transportsicherung an der Bewegungsplattform 1 - Transportsicherung 2 - Bewegungsplattform 3 - Unterlegscheibe aus Kunststoff Transportsicherung anbringen 1. Positionieren Sie die Transportsicherung (1) so auf dem Hexapod, dass die Bohrungen in den Streben der Transportsicherung über den entsprechenden Bohrungen in der Bewegungsplattform (2) und der Grundplatte des Hexapods liegen (siehe Abbildungen in "Transportsicherung der Modelle H-850.x2V entfernen"...

  • Seite 42: Transportsicherung Der Modelle H-850.X2A Anbringen

    7 Wartung 4. Befestigen Sie die Transportsicherung mit 4 Schrauben (M6x20) seitlich an der Grundplatte (siehe Abbildung). 7.3.3 Transportsicherung der Modelle H-850.x2A anbringen Werkzeug Gabelschlüssel SW 10  Gabelschlüssel SW 13  geeigneter Schraubendreher  Transportsicherung anbringen 1. Schrauben Sie die Streben der Transportsicherung ein: a) Schrauben Sie die Streben mit dem kürzeren Gewinde in die Hexapod-Grundplatte gemäß...
  • Seite 43 7 Wartung b) Ziehen Sie die Streben handfest an. 2. Bringen Sie die Muttern und Unterlegscheiben an: a) Schrauben Sie auf jede Strebe eine Mutter M8 bis zum Ende des Gewindes. b) Legen Sie auf jede Mutter eine Unterlegscheibe 8,4. H-850 Hexapod Mikroroboter MS202D Version: 2.6.0...
  • Seite 44 7 Wartung 3. Befestigen Sie den Deckel an der Bewegungsplattform: a) Legen Sie den Deckel so auf die Bewegungsplattform, dass die Enden der 4 Streben durch die entsprechenden Bohrungen im Deckel ragen. b) Befestigen Sie den Deckel mit vier Schrauben M6x16, auf die Sie zuvor jeweils eine Unterlegscheibe 6,4 geschoben haben, an der Bewegungsplattform.

  • Seite 45: Hexapod Verpacken

    7 Wartung 5. Sichern Sie den Deckel durch Kontern der Muttern: a) Kontern Sie für jede Strebe die Mutter über dem Deckel mit der Mutter, die unter dem Deckel sitzt. b) Stecken Sie Gewindeschutzkappen auf die Enden der Streben. Damit ist die Installation beendet. 7.3.4 Hexapod verpacken ...

  • Seite 47: Störungsbehebung

    8 Störungsbehebung Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Unerwartetes  Überprüfen Sie Datenübertragungs- und Kabel defekt  Verhalten des Stromversorgungskabel. Pin verbogen  Hexapods.  Ersetzen Sie die Kabel durch Kabel Steck- oder  gleichen Typs und testen Sie die Funktion Lötverbindung gelöst des Hexapods.
  • Seite 48 8 Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Sensor defekt nicht in maximaler oder minimaler  Auslenkung der Plattform in Z auftritt. Gelenk gebrochen   Wenden Sie sich an unseren Kundendienst oder blockiert (S. 47). Last zu groß  Der Hexapod ...
  • Seite 49 8 Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Beschaltung der externer Hardware, z. B. mit dem Buchse E-Stop Kurzschlussstecker C887B0038. Details verhindert Auslösen siehe "Buchse E-Stop verwenden" im von Bewegungen Benutzerhandbuch des Controllers C- 887.5xx.  Überprüfen Sie das Power-Good-Signal und den Aktivierungszustand des 24-V- Ausgangs für den Hexapod (24 V Out 7 A).
  • Seite 50 8 Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Konfigurationsdatei siehe "Firmware und Konfigurationsdateien aktualisieren".  Senden Sie den Befehl VER?, um die auf dem ID-Chip gespeicherten Angaben für Hexapod-Typ, Seriennummer und Herstelldatum zu prüfen. Beispiel für die Antwort: IDChip: H-811.F-2 SN123456789 20/1/2016Senden Sie den Befehl CST?. Die Antwort zeigt an, auf welchen Hexapod der Controller abgestimmt ist.

  • Seite 51: Kundendienst

    9 Kundendienst Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI Vertretung oder schreiben Sie uns eine E-Mail (mailto:service@pi.de).  Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an: − Produkt- und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers (sofern vorhanden) −...

  • Seite 53: Technische Daten

    10 Technische Daten Technische Daten Änderungen vorbehalten. Die aktuellen Produktspezifikationen finden Sie auf der Seite des Produkts unter www.pi.de (https://www.physikinstrumente.de/de/). 10.1 Spezifikationen 10.1.1 Datentabelle H-850.X2A Bewegen H-850.G2A H-850.H2A Toleranz X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ...
  • Seite 54 10 Technische Daten Positionieren H-850.G2A H-850.H2A Toleranz Kleinste Schrittweite in Z 0,5 µm 0,2 µm typ. Kleinste Schrittweite in θX 7,5 µrad 3 µrad typ. Kleinste Schrittweite in θY 7,5 µrad 3 µrad typ. Kleinste Schrittweite in θZ 15 µrad 5 µrad...
  • Seite 55 10 Technische Daten Mechanische Eigenschaften H-850.G2A H-850.H2A Toleranz Gesamtmasse 17 kg 17 kg Material Aluminium Aluminium Anschlüsse und Umgebung H-850.G2A H-850.H2A Toleranz Betriebstemperaturbereich -10 bis 50 °C -10 bis 50 °C Anschluss Datenübertragung HD D-Sub 78 (m) HD D-Sub 78 (m)
  • Seite 56 10 Technische Daten Positionieren H-850.G2V H-850.H2V Toleranz Kleinste Schrittweite in X 1 µm 0,3 µm typ. Kleinste Schrittweite in Y 1 µm 0,3 µm typ. Kleinste Schrittweite in Z 0,5 µm 0,2 µm typ. Kleinste Schrittweite in θX 7,5 µrad 3 µrad typ.
  • Seite 57 Pivotpunkt auf 0,0,0 gesetzt ist. Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an.

  • Seite 58: Spezifikationen Datenübertragungs- Und Stromversorgungskabel

    10 Technische Daten 10.1.2 Spezifikationen Datenübertragungs- und Stromversorgungskabel Die folgende Tabelle listet die technischen Daten der Datenübertragungs- und Stromversorgungskabel (separat zu bestellen) auf. Datenübertragungs- und Stromversorgungskabel Datenübertra- Stromversorgungskabel, einseitig Stromversorgungskabel, gerade gungskabel abgewinkelter Stecker Stecker Alle Hexapodtypen H-820, H-824, H-825, H-840, H-850 H-810, H-811, H-206 C-815.82D02 C-815.82P02A...
  • Seite 59 10 Technische Daten Allgemein Einheit Kabellänge L 2 / 3 / 5 / 7,5 / 10 / 20 Maximale Geschwindigkeit Maximale Beschleunigung Maximale Anzahl Biegezyklen 1 Mio. Betriebstemperaturbereich -10 bis +70 °C Stromversorgungskabel, gerade Stecker Einheit Minimaler Biegeradius in einer Schleppkette Minimaler Biegeradius bei der Festinstallation 24,5 Außendurchmesser...

  • Seite 60: Bemessungsdaten

    10 Technische Daten Datenübertragungs- und Stromversorgungskabel für Vakuum Datenübertragungskabel Stromversorgungskabel, abgewinkelter Stecker K040B0254 K060B0132 Allgemein Einheit Kabellänge L Betriebstemperaturbereich -10 bis +80 °C Datenübertragungskabel Einheit Minimaler Biegeradius bei der Festinstallation Außendurchmesser Stecker HD D-Sub78 m/f Stromversorgungskabel, abgewinkelter Stecker Einheit Minimaler Biegeradius bei der Festinstallation Außendurchmesser Stecker LEMO 2-polig m/f...

  • Seite 61: Umgebungsbedingungen Und Klassifizierungen

    10 Technische Daten 10.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Verschmutzungsgrad Luftdruck 1100 hPa bis 780 hPa Vakuumkompatible Modelle: 1100 hPa bis 10 Transporttemperatur –25 °C bis +85 °C Lagertemperatur 0 °C bis 70 °C Ausheiztemperatur Nur vakuumkompatible Modelle: 80 °C (176 °F) Höchste relative Luftfeuchte 80 % bei Temperaturen bis Luftfeuchte 31 °C, linear abnehmend bis relative Luftfeuchte 50 % bei...
  • Seite 62 10 Technische Daten Abbildung 11: H-850.x2A, bei Nullposition des Nominalstellweges Version: 2.6.0 MS202D H-850 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 63: Lastkurven

    10 Technische Daten 10.5 Lastkurven Die Lastkurven in den folgenden Abbildungen gelten nur, wenn der Hexapod am Controller angeschlossen und der Servomodus eingeschaltet ist. Abbildung 12: Belastungsgrenzen des H-850.G2A bei horizontaler Montage Abbildung 13: Belastungsgrenzen des H-850.G2A bei vertikaler Montage H-850 Hexapod Mikroroboter MS202D Version: 2.6.0...
  • Seite 64 10 Technische Daten Abbildung 14: Belastungsgrenzen des H-850.G2A bei Montage unter ungünstigstem Winkel Abbildung 15: Maximal zulässige Krafteinwirkung auf den H-850.G2A bei horizontaler Montage Version: 2.6.0 MS202D H-850 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 65 10 Technische Daten Abbildung 16: Belastungsgrenzen des H-850.H2A bei horizontaler Montage Abbildung 17: Belastungsgrenzen des H-850.H2A bei vertikaler Montage H-850 Hexapod Mikroroboter MS202D Version: 2.6.0...
  • Seite 66 10 Technische Daten Abbildung 18: Belastungsgrenzen des H-850.H2A bei Montage unter ungünstigstem Winkel Abbildung 19: Maximal zulässige Krafteinwirkung auf den H-850.H2A bei horizontaler Montage Version: 2.6.0 MS202D H-850 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 67 10 Technische Daten Abbildung 20: Belastungsgrenzen des H-850.H2V bei horizontaler Montage Abbildung 21: Belastungsgrenzen des H-850.H2V bei vertikaler Montage H-850 Hexapod Mikroroboter MS202D Version: 2.6.0...

  • Seite 68: Pinbelegung

    10 Technische Daten Abbildung 22: Belastungsgrenzen des H-850.H2V bei Montage unter ungünstigstem Winkel 10.6 Pinbelegung 10.6.1 Anschluss zur Stromversorgung Nicht für Vakuummodelle: Stromversorgung über 4-poligen M12-Einbaustecker Funktion 24 V DC 24 V DC Version: 2.6.0 MS202D H-850 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 69: Funktion

    10 Technische Daten Nur für Vakuummodelle: Stromversorgung über 2-poligen LEMO-Einbaustecker, männlich, Typ ECJ.1B.302.CLD Funktion 24 V DC 10.6.2 Anschluss zur Datenübertragung Datenübertragung zwischen Hexapod und Controller HD D-Sub 78 Einbaustecker Funktion Alle Signale: TTL Pinbelegung Signal Signal CH1 Sign IN CH1 MAGN IN CH1 Ref OUT CH1 LimP OUT...
  • Seite 70 10 Technische Daten Signal Signal CH3 Sign IN CH3 MAGN IN CH3 Ref OUT CH3 LimP OUT CH3 LimN OUT CH3 A+ OUT CH3 B+ OUT CH3 A- OUT CH3 B- OUT CH4 Sign IN CH4 MAGN IN CH4 Ref OUT CH4 LimP OUT CH4 LimN OUT CH4 A+ OUT...

  • Seite 71: Altgerät Entsorgen

    Instrumente (PI) GmbH & Co. KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines Altgeräts von PI, sofern es nach dem 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: Physik Instrumente (PI) GmbH &...

  • Seite 73: Glossar

    12 Glossar Glossar Benutzerdefinierte Koordinatensysteme Mit dem Controller können eigene Koordinatensysteme definiert und anstelle der werkseitig eingestellten Koordinatensysteme verwendet werden. Die Arbeit mit benutzerdefinierten Koordinatensystemen und das Work-und-Tool-Konzept sind in der Technical Note C887T0007 beschrieben. Arbeitsraum Die Gesamtheit aller Posen, die der Hexapod von der aktuellen Position aus anfahren kann, wird als Arbeitsraum bezeichnet.

  • Seite 74: Werkseitig Voreingestelltes Koordinatensystem

    12 Glossar Pose Die räumliche Lage des Hexapods, d.h. die Kombination seiner Position und Orientierung im dreidimensionalen Raum, wird als "Pose" bezeichnet. Die Pose eines Hexapods wird durch sechs Koordinaten in Bezug auf ein rechtshändiges kartesisches Koordinatensystem definiert: Translationsachsen (auch als "lineare Achsen" bezeichnet): X, Y, Z ...
  • Seite 75 12 Glossar Abbildung 23: Hexapod in Referenzposition. Kabelabgang H-850 Hexapod Mikroroboter MS202D Version: 2.6.0...
  • Seite 76 12 Glossar Abbildung 24: Hexapod, dessen Plattform in X bewegt wurde. Kabelabgang Version: 2.6.0 MS202D H-850 Hexapod Mikroroboter...

  • Seite 77: 13 Anhang

    13 Anhang Anhang 13.1 Erläuterungen zum Testprotokoll Der Hexapod wird vor Auslieferung auf Positioniergenauigkeit der Translationsachsen geprüft. Das Testprotokoll ist im Lieferumfang enthalten. Die folgende Abbildung zeigt den verwendeten Testaufbau. Abbildung 25: Testaufbau für die Messung der X- bzw. Y-Achse Laser-Interferometer Spiegel Tisch...

  • Seite 78: Europäische Konformitätserklärungen

    13 Anhang 13.2 Europäische Konformitätserklärungen Für den H-850 wurden Konformitätserklärungen gemäß den folgenden europäischen gesetzlichen Anforderungen ausgestellt: EMV-Richtlinie RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. EMV: EN 61326-1 Sicherheit: EN 61010-1 RoHS: EN IEC 63000 Version: 2.6.0 MS202D H-850 Hexapod Mikroroboter...

Diese Anleitung auch für:

H-850.h2vH-850.g2aH-850.g2v

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