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PI H-811.I2 Benutzerhandbuch

Hexapod mikroroboter
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MS235D
H-811 Hexapod Mikroroboter
Benutzerhandbuch
Version: 3.0.0
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland
Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de
Datum: 19.08.2024
Dieses Dokument beschreibt folgende Produkte:
H-811.I2
Miniatur-Hexapod-Mikroroboter, bürstenloser
DC-Motor, 5 kg Belastbarkeit, 20 mm/s
maximale Geschwindigkeit
H-811.I2V
Miniatur-Hexapod-Mikroroboter, bürstenloser
DC-Motor, vakuumkompatibel bis 10
Belastbarkeit, 10 mm/s Geschwindigkeit
H-811.F2
Miniatur-Hexapod-Mikroroboter für optische
Justage, magnetische Wechselplatte,
bürstenloser DC-Motor, 5 kg Belastbarkeit, 20
mm/s maximale Geschwindigkeit
H-811.S2
Miniatur-Hexapod-Mikroroboter für
hochdynamische Anwendungen, Direktantrieb,
2,5 kg Belastbarkeit, 25 mm/s maximale
Geschwindigkeit
hPa, 5 kg
-6

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Verwandte Anleitungen für PI H-811.I2

Inhaltszusammenfassung für PI H-811.I2

  • Seite 1 Geschwindigkeit H-811.S2  Miniatur-Hexapod-Mikroroboter für hochdynamische Anwendungen, Direktantrieb, 2,5 kg Belastbarkeit, 25 mm/s maximale Geschwindigkeit Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de...
  • Seite 2 Hinweise zu Markennamen und Warenzeichen Dritter: BiSS ist ein Warenzeichen der iC-Haus GmbH. © 2024 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Deutschland. Die Texte, Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschützt. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG behält insoweit sämtliche Rechte vor.
  • Seite 3 Inhalt Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ............1 Symbole und Kennzeichnungen ................. 1 Abbildungen ....................... 2 Mitgeltende Dokumente .................... 2 Handbücher herunterladen ..................2 Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung ................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ................. 5 Organisatorische Maßnahmen ................... 5 Maßnahmen bei der Handhabung vakuumtauglicher Produkte .......
  • Seite 4 Inbetriebnahme Allgemeine Hinweise zur Inbetriebnahme ............... 33 Hexapod-System in Betrieb nehmen ................ 34 Optional: Hexapod mit separatem 12-V-Netzteil betreiben ........35 Wartung Wartungsfahrt durchführen ..................39 Hexapod reinigen ..................... 39 Hexapod für den Transport verpacken ..............40 Störungsbehebung Kundendienst Technische Daten 10.1 Spezifikationen ......................
  • Seite 5 1 Über dieses Dokument Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthält die erforderlichen Informationen für die bestimmungsgemäße Verwendung des H-811. Grundsätzliches Wissen zu geregelten Systemen, zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten Sicherheitsmaßnahmen wird vorausgesetzt. Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet: VORSICHT Gefährliche Situation...
  • Seite 6 Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tatsächlichen Gegebenheiten abweichen. Auch fotografische Abbildungen können abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar. Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Gerät / Programm Dokument-...
  • Seite 7 1 Über dieses Dokument 4. Wählen Sie Downloads. Die Handbücher werden unter Dokumentation angezeigt. Softwarehandbücher werden unter Allgemeine Software-Dokumentation angezeigt. 5. Wählen Sie für das gewünschte Handbuch HINZUFÜGEN und dann ANFORDERN. 6. Füllen Sie das Anfrageformular aus und wählen Sie ANFRAGE SENDEN. Der Download-Link wird an die eingegebene E-Mail-Adresse gesendet.
  • Seite 9 Verschiebung von Lasten in sechs Achsen bei verschiedenen Geschwindigkeiten vorgesehen. Die bestimmungsgemäße Verwendung des Hexapods ist nur in Verbindung mit einem geeigneten Controller von PI möglich (S. 16), der alle Bewegungen des Hexapods koordiniert. Allgemeine Sicherheitshinweise Der H-811 ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut.
  • Seite 10 Maßnahmen bei der Handhabung vakuumtauglicher Produkte Beim Umgang mit dem Vakuummodell des Hexapods muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden. Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Danach wird der Hexapod noch einmal per Wischreinigung gesäubert und doppelt in vakuumtaugliche...
  • Seite 11 Wechselplatte; bürstenloser DC-Motor; 5 kg Belastbarkeit; 20 mm/s maximale Geschwindigkeit; 0,5 m Kabellänge Miniatur-Hexapod-Mikroroboter; bürstenloser DC-Motor; H-811.I2V vakuumkompatibel bis 10-6 hPa; 5 kg Belastbarkeit; 10 mm/s Geschwindigkeit; 2 m Kabellänge (vakuumseitig); Durchführungen Produktansicht Abbildung 1: Elemente des H-811.I2 und H-811.S2 H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 12 3 Produktbeschreibung Abbildung 2: Elemente des H-811.I2V Bewegungsplattform Bein Grundplatte Datenübertragungskabel Stromversorgungskabel Abbildung 3: Elemente des H-811.F2 Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 13 3.3.3 Steuerung Der Hexapod ist für den Betrieb mit einem geeigneten Controller von PI (S. 16) vorgesehen. Mit dem Controller können Bewegungen für einzelne Achsen, für Kombinationen von Achsen oder für alle sechs Achsen gleichzeitig in einem einzigen Bewegungsbefehl kommandiert werden.
  • Seite 14 3 Produktbeschreibung Für einen Hexapod mit absolut messenden Sensoren ist keine Referenzierungsfahrt erforderlich. Weitere Informationen finden Sie im Benutzerhandbuch des Controllers. 3.3.4 Bewegung Die Plattform bewegt sich entlang der Translationsachsen und um die Rotationsachsen. Die Translationsachsen werden mit X, Y und Z bezeichnet. Die Rotationsachsen können folgende Bezeichnungen haben: Verwendung Rotation um X...
  • Seite 15 3 Produktbeschreibung Abbildung 4: Koordinatensystem eines Hexapods. Das Koordinatensystem ist zur besseren Übersicht oberhalb der Plattform dargestellt. Translation Translationen werden im raumfesten Koordinatensystem beschrieben. Die Translationsachsen X, Y und Z treffen sich im Ursprung des Koordinatensystems (0,0,0). Weitere Informationen finden Sie im Glossar (S. 91). Rotation Rotationen erfolgen um die Rotationsachsen U, V und W.
  • Seite 16 3 Produktbeschreibung INFORMATION Die Maßzeichnung (S. 63) enthält Folgendes: Ausrichtung des werkseitigen Koordinatensystems  Lage des werkseitigen Drehpunkts  Beispiel: Aufeinanderfolgende Rotationen Für eine übersichtlichere Darstellung sind die Abbildungen wie folgt angepasst: Runde Plattform durch T-förmige Plattform ersetzt  Koordinatensystem versetzt dargestellt ...
  • Seite 17 3 Produktbeschreibung 2. Die V-Achse wird zur Position –10 kommandiert. Die Rotation erfolgt um die bei der vorangegangenen Rotation verkippte Rotationsachse V. Die Rotation um die V-Achse verkippt die Rotationsachsen U und W. Plattform in Referenzposition Plattformposition: U = 10, V = –10 (U und V parallel zur Plattformebene) 3.
  • Seite 18 Standard-Controller gespeichert (z. B. Geometriedaten und Regelungsparameter). Die Konfigurationsdaten für kundenspezifische Hexapoden sind nur dann auf dem Controller gespeichert, wenn Hexapod und Controller zusammen ausgeliefert werden, oder wenn PI vor der Auslieferung des Controllers entsprechend informiert wurde. Weitere Informationen und Anwendungshinweise finden Sie in der Dokumentation des Controllers.
  • Seite 19 2 Unterlegscheiben Form A-4,3 DIN 7090  2 Sicherungsscheiben Schnorr Ø 4 mm N0110  000070600 Nur Modelle H-811.I2, .F2, .S2: Zubehör zum Montieren des Steckerhalters für das Datenübertragungskabel: 2 Zylinderschrauben M6x30 ISO 4762  1 Sechskantschlüssel 5,0 DIN 911 ...
  • Seite 20 Verfügbar für die Hexapod-Mechaniken H-811.F2 und H-811.I2 in Kombination mit einem C-887 Hexapod-Controller, der über einen hochauflösenden Analogeingang verfügt. Die Installation erfolgt durch einen PI-Servicetechniker in einer Remote-Sitzung. Der Kontakt wird von PI nach dem Kauf hergestellt. Geeignete Controller Modell Bezeichnung 6-Achs-Controller für Hexapoden, TCP/IP, RS-232, Tischgerät, inkl.
  • Seite 21 3 Produktbeschreibung Modell Bezeichnung Ansteuerung von zwei Zusatzachsen, EtherCAT-Schnittstelle 6-Achs-Controller für Hexapoden, TCP/IP, RS-232, Tischgerät, inkl. C-887.531 Ansteuerung von zwei Zusatzachsen, EtherCAT-Schnittstelle, Analogeingänge C-887.532 6-Achs-Controller für Hexapoden, TCP/IP, RS-232, Tischgerät, inkl. Ansteuerung von zwei Zusatzachsen, EtherCAT-Schnittstelle, Motion Stop C-887.533 6-Achs-Controller für Hexapoden, TCP/IP, RS-232, Tischgerät, inkl. Ansteuerung von zwei Zusatzachsen, EtherCAT-Schnittstelle, Motion Stop, Analogeingänge Wenden Sie sich für Bestellungen an den Kundendienst (S.
  • Seite 23 INFORMATION Beim Umgang mit dem Vakuummodell des Hexapods muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden. Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Danach wird der Hexapod noch einmal per Wischreinigung gesäubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschweißt.
  • Seite 25 5 Installation Installation Allgemeine Hinweise zur Installation Der Hexapod kann in beliebiger Orientierung montiert werden. HINWEIS Unzulässige mechanische Belastung und Kollisionen! Unzulässige mechanische Belastung und Kollisionen zwischen Hexapod, zu bewegender Last und Umgebung können den Hexapod beschädigen.  Halten Sie den Hexapod nur an der Grundplatte. ...
  • Seite 26 5 Installation HINWEIS Kabelbruch durch zu stark verbogenes oder gequetschtes Kabel! Kabelbruch führt zum Ausfall des Hexapods.  Stellen Sie in Ihrer Anwendung Folgendes für die fest am Hexapod installierten Kabel sicher: − Auf die Kabel wird keine Zugbelastung ausgeübt. −...
  • Seite 27 5 Installation Zu bewegende Last: Masse und Position des Massenschwerpunkts auf der  Bewegungsplattform An der Bewegungsplattform angreifende Kräfte und Momente  Von der Bewegungsplattform im Betrieb anzufahrende Posen (Translations- und  Rotationskoordinaten) Hexapod erden INFORMATION  Wenn in Ihrer Anwendung Vibrationen auftreten, sichern Sie die Schraubverbindung für den Schutzleiter zusätzlich auf geeignete Weise (z.
  • Seite 28 5 Installation Abbildung 5: Steckerhalter auf Unterlage befestigen Voraussetzung  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 21). Werkzeug und Zubehör Mitgelieferter Steckerhalter inklusive Montagezubehör:  − Zwei Schrauben M6x30 − Sechskantschlüssel 5,0 Datenübertragungskabel mit Steckerhalter befestigen 1.
  • Seite 29 5 Installation 3. Befestigen Sie den Steckerhalter mit den mitgelieferten Schrauben auf der Unterlage. Die freie Seite des Steckerhalters ist für den Anschluss eines geeigneten Datenübertragungskabels vorgesehen. Weitere Informationen siehe "Hexapod an Controller anschließen" (S. 28). Hexapod auf Unterlage befestigen HINWEIS Unzulässige mechanische Belastung! Unzulässige mechanische Belastung kann den Hexapod beschädigen.
  • Seite 30 5 Installation b) Setzen Sie den Hexapod so auf die Unterlage, dass die Passstifte in die entsprechenden Passbohrungen in der Grundplatte des Hexapods eingefügt werden. 3. Befestigen Sie den Hexapod an den drei Montagebohrungen in der Grundplatte mit den mitgelieferten Schrauben. Last auf Hexapod befestigen HINWEIS Unzulässige mechanische Belastung und Kollisionen!
  • Seite 31 5 Installation Abbildung 6: Nur Modell H-811.F2: Montageplatte Heller Pfeil: Montageplatte anheben, um sie zu entfernen Dunkler Pfeil: Montageplatte durch vorsichtiges Aufsetzen an der Bewegungsplattform anbringen Voraussetzungen  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 21). ...
  • Seite 32 Führungen in der Oberseite der Bewegungsplattform platziert sind (siehe Abbildung). Hexapod an Controller anschließen Kabel mit Länge 0,5 m (H-811.I2, .F2, .S2) oder 2 m (H-811.I2V) sind fest am Hexapod installiert. Anschlusskabel sind nicht im Lieferumfang enthalten und müssen separat bestellt (S. 14) werden.
  • Seite 33 5 Installation Voraussetzungen  Der Controller ist ausgeschaltet, d.h. der Ein-/Ausschalter befindet sich in der Stellung  Sie haben das fest am Hexapod installierte Datenübertragungskabel mit dem mitgelieferten Steckerhalter auf der Unterlage befestigt (S. 23). Werkzeug und Zubehör Datenübertragungskabel und Stromversorgungskabel, separat (S. 14) erhältlich ...
  • Seite 34 5 Installation  Bauen Sie die Vakuumdurchführung für die Datenübertragung (4668) so ein, dass sich die Buchse HD D-Sub 78(f) in der Vakuumkammer befindet. Abbildung 8: Vakuumdurchführung für die Stromversorgung des Hexapods (C887B0002), Abmessungen in mm  Bauen Sie die Vakuumdurchführung für die Stromversorgung (C887B0002) so ein, dass sich der 2-polige LEMO-Anschluss in der Vakuumkammer befindet.
  • Seite 35 5 Installation Standardverkabelung Abbildung 9: Anschlussschema Einbaustecker / Stecker, männlich Buchse / Kupplung, weiblich Controller Siehe "Geeignete Controller (S. 16)" Hexapod H-811.x2 Netzteil aus dem Lieferumfang des Controllers, Ausgang 24 V DC Datenübertragungskabel Stromversorgungskabel H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 36 5 Installation Verkabelung für Vakuum Abbildung 10: Anschlussschema Kabelsatz für vakuumtauglichen Hexapod Einbaustecker / Stecker, männlich Buchse / Kupplung, weiblich Controller Siehe "Geeignete Controller (S. 16)" Hexapod H-811.I2V Netzteil aus dem Lieferumfang des Controllers, Ausgang 24 V DC Vakuumkammer Datenübertragungskabel Stromversorgungskabel Vakuumdurchführung für Datenübertragung Vakuumdurchführung für Stromversorgung...
  • Seite 37 6 Inbetriebnahme Inbetriebnahme Allgemeine Hinweise zur Inbetriebnahme VORSICHT Quetschgefahr durch bewegte Teile! Zwischen den bewegten Teilen des Hexapods und einem feststehenden Teil oder Hindernis besteht die Gefahr von leichten Verletzungen durch Quetschung.  Halten Sie Ihre Finger von Bereichen fern, in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden können.
  • Seite 38 6 Inbetriebnahme HINWEIS Schäden durch ungewollte Positionsänderungen! Die Selbsthemmung der Hexapod-Beine ist sehr gering. Obwohl sich der Hexapod an einer zulässigen Pose befindet, kann die installierte Last deshalb eine ungewollte Positionsänderung des Hexapods auslösen, wenn der Servomodus oder der Controller ausgeschaltet ist und zusätzlich eine der folgenden Bedingungen erfüllt ist: Der Hexapod ist nicht mit horizontal orientierter Grundplatte montiert, sondern in einer ...
  • Seite 39 6 Inbetriebnahme Optional: Hexapod mit separatem 12-V-Netzteil betreiben In statischen Anwendungen, die erhöhte Positionsstabilität erfordern, kann der Hexapod durch ein separates 12-V-Netzteil versorgt werden. INFORMATION Wenn Ihr Controller mit der Buchse E-Stop ausgestattet ist (Modelle C-887.522, .523, .532 und .533): Die Deaktivierung des 24-V-Ausgangs am Controller durch die Buchse E-Stop bleibt wirkungslos, wenn der Hexapod mit einem separaten Netzteil versorgt wird.
  • Seite 40 6 Inbetriebnahme SVO X 0 CCL 1 advanced SPA 1 0x19004000 0 WPA 101 1 0x19004000 SPA 1 0x5a 50000 2 0x5a 50000 3 0x5a 50000 4 0x5a 50000 5 0x5a 50000 6 0x5a 50000 WPA 101 1 0x5a 2 0x5a 3 0x5a 4 0x5a 5 0x5a 6 0x5a e) Schließen Sie PITerminal.
  • Seite 41 6 Inbetriebnahme 4. Stellen Sie die Kommunikation zwischen dem Controller und dem PC mit dem Programm PITerminal über die TCP/IP-Schnittstelle oder die RS-232-Schnittstelle her. 5. Um die Einstellungen des Controllers dauerhaft an die 24-V-Versorgung des Hexapods anzupassen, senden Sie die folgenden Befehle: SVO X 0 CCL 1 advanced SPA 1 0x19004000 1...
  • Seite 43 Zustandes und der Leistung Ihres Systems. Kundentraining: Stellt sicher, dass das System über die gesamte Lebensdauer optimal  läuft. Wenden Sie sich an Ihre PI Vertretung, wenn Sie mehr über die umfassenden Servicevorteile erfahren möchten. HINWEIS Schäden durch falsche Wartung! Der Hexapod kann durch falsche Wartung dejustiert werden.
  • Seite 44 7 Wartung Hexapod reinigen Nur wenn der Hexapod nicht im Vakuum eingesetzt wird:  Wenn notwendig, reinigen Sie die Oberflächen des Hexapods mit einem Tuch, das leicht mit einem milden Reinigungs- oder Desinfektionsmittel angefeuchtet wurde. Wenn der Hexapod im Vakuum eingesetzt wird: ...
  • Seite 45 7 Wartung d) Lösen Sie alle Verbindungen zwischen den fest am Hexapod installierten Kabeln und dem verwendeten Kabelsatz, und entfernen Sie die Kabel aus allen Befestigungen (z. B. Steckerhalter (S. 23)). e) Entfernen Sie den Hexapod von der Unterlage. Hexapod verpacken ...
  • Seite 47 8 Störungsbehebung Störungsbehebung Störung: Unerwartetes Verhalten des Hexapods Mögliche Ursachen Maßnahmen zur Behebung  Überprüfen Sie Datenübertragungs- und Kabel defekt  Stromversorgungskabel.  Pin verbogen  Ersetzen Sie die Kabel durch Kabel gleichen Typs und testen Steck- oder  Sie die Funktion des Hexapods. Lötverbindung gelöst ...
  • Seite 48 8 Störungsbehebung Störung: Ablaufgenauigkeit ist schlecht Mögliche Ursachen Maßnahmen zur Behebung verändert durch zunehmende Leichtgängigkeit Störung: Hexapod bewegt sich nicht Mögliche Ursachen Maßnahmen zur Behebung  Führen Sie einen Beintest durch (siehe Benutzerhandbuch Fremdkörper ist in die  des Controllers). Antriebsspindel geraten Führen Sie den Beintest in der Referenzposition durch, Motor defekt...
  • Seite 49 8 Störungsbehebung Störung: Hexapod bewegt sich nicht Mögliche Ursachen Maßnahmen zur Behebung 2. Senden Sie den Befehl ERR? und prüfen Sie den zurückgemeldeten Fehlercode. Details zu möglichen Fehlercodes und deren Ursachen siehe "Schutzfunktionen des C-887" im Benutzerhandbuch des Controllers C- 887.5xx.
  • Seite 50 8 Störungsbehebung Störung: Hexapod bewegt sich nicht Mögliche Ursachen Maßnahmen zur Behebung den Fehlercode 233 oder 211 enthält, fehlt im Controller die Konfigurationsdatei für den Hexapod. Kontaktieren Sie unseren Kundendienst, um eine geeignete Konfigurationsdatei zu erhalten. Für die Installation der neuen Konfigurationsdatei siehe "Firmware und Konfigurationsdateien aktualisieren".
  • Seite 51 9 Kundendienst Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI Vertretung oder schreiben Sie uns eine E-Mail (mailto:service@pi.de).  Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an: − Produkt- und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers (sofern vorhanden) −...
  • Seite 53 10 Technische Daten Technische Daten Änderungen vorbehalten. Die aktuellen Produktspezifikationen finden Sie auf der Seite des Produkts unter www.pi.de (https://www.physikinstrumente.de/de/). 10.1 Spezifikationen 10.1.1 Datentabelle H-811.I2 Bewegen H-811.I2 Toleranz Aktive Achsen X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ Stellweg in X ±...
  • Seite 54 10 Technische Daten Positionieren H-811.I2 Toleranz Kleinste Schrittweite in θX 2,5 µrad typ. Kleinste Schrittweite in θY 2,5 µrad typ. Kleinste Schrittweite in θZ 5 µrad typ. Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in X ± 0,15 µm typ. Unidirektionale Wiederholgenauigkeit in Y ± 0,15 µm typ.
  • Seite 55 10 Technische Daten Anschlüsse und Umgebung H-811.I2 Toleranz Betriebstemperaturbereich 0 bis 50 °C Anschluss Datenübertragung HD D-Sub 78 (m) Anschluss Versorgungsspannung M12 4-polig (m) Kabellänge 0,5 m Kabel-Außendurchmesser 4,95 mm Versorgungsspannung Minimaler Kabel-Biegeradius bei 25 mm Festinstallation, Versorgungsspannung Kabel-Außendurchmesser 9,5 mm Datenübertragung...
  • Seite 56 10 Technische Daten Bewegen H-811.S2 Toleranz Amplitude-Frequenz-Produkt in Y 10,88 mm·Hz Amplitude-Frequenz-Produkt in Z 4,2 mm·Hz Amplitude-Frequenz-Produkt in θX 6,36 °·Hz Amplitude-Frequenz-Produkt in θY 6,45 °·Hz Amplitude-Frequenz-Produkt in θZ 16,23 °·Hz Amplitude-Frequenz²-Produkt in X 72 mm·Hz² Amplitude-Frequenz²-Produkt in Y 57,3 mm·Hz² Amplitude-Frequenz²-Produkt in Z 24 mm·Hz²...
  • Seite 57 10 Technische Daten Positionieren H-811.S2 Toleranz Integrierter Sensor Inkrementeller Rotationsencoder Antriebseigenschaften H-811.S2 Toleranz Antriebstyp Bürstenloser DC-Motor Mechanische Eigenschaften H-811.S2 Toleranz Steifigkeit in X 0,7 N/µm Steifigkeit in Y 0,7 N/µm Steifigkeit in Z 8 N/µm Maximale Nutzlast, beliebige Ausrichtung 0,9 kg Maximale Nutzlast, horizontale 2,5 kg Ausrichtung...
  • Seite 58 10 Technische Daten H-811.F2 Bewegen H-811.F2 Toleranz Aktive Achsen X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ Stellweg in X ± 17 mm Stellweg in Y ± 16 mm Stellweg in Z ± 6,5 mm Rotationsbereich in θX ±...
  • Seite 59 10 Technische Daten Positionieren H-811.F2 Toleranz θZ Umkehrspiel in X 0,2 µm typ. Umkehrspiel in Y 0,2 µm typ. Umkehrspiel in Z 0,06 µm typ. Umkehrspiel in θX 2 µrad typ. Umkehrspiel in θY 2 µrad typ. Umkehrspiel in θZ 3 µrad typ.
  • Seite 60 10 Technische Daten Anschlüsse und Umgebung H-811.F2 Toleranz Datenübertragung Minimaler Kabel-Biegeradius bei 95 mm Festinstallation, Datenübertragung Empfohlene Controller / Treiber C-887.5x H-811.F2: Scanzeiten: typische Zeitspanne, um den gesamten Bereich zu scannen und sich zur höchsten Intensität zu bewegen H-811.F2: Die angegebenen Werte für maximale Nutzlast und maximale Haltekraft gelten für den Hexapod ohne die magnetische Wechselplatte. Die Fixkabel des H-811 haben jeweils eine Länge von 0,5 m.
  • Seite 61 10 Technische Daten Positionieren H-811.I2V Toleranz Kleinste Schrittweite in X 0,2 µm typ. Kleinste Schrittweite in Y 0,2 µm typ. Kleinste Schrittweite in Z 0,08 µm typ. Kleinste Schrittweite in θX 2,5 µrad typ. Kleinste Schrittweite in θY 2,5 µrad typ.
  • Seite 62 Pivotpunkt auf 0,0,0 gesetzt ist. Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an.
  • Seite 63 10 Technische Daten 10.1.2 Spezifikationen für vakuumtaugliche Modelle Weitere Spezifikationen für das Vakuummodell Antrieb und Sensor Motor Bürstenloser, dreiphasiger Torquemotor vakuumkompatibles Modell mit vergoldeten Steckerkontakten Getriebe Direktantrieb Encoder Optischer Encoder, vakuumtauglich Referenzschalter Optisch, vakuumtauglich Endschalter Optisch, vakuumtauglich Verwendete Materialien Maschinell gefertigte Teile >...
  • Seite 64 10 Technische Daten 10.1.3 Spezifikationen Datenübertragungs- und Stromversorgungskabel Die folgende Tabelle listet die technischen Daten der Datenübertragungs- und Stromversorgungskabel (separat zu bestellen) auf. Datenübertragungs- und Stromversorgungskabel Datenübertra- Stromversorgungskabel, einseitig Stromversorgungskabel, gerade gungskabel abgewinkelter Stecker Stecker Alle Hexapodtypen H-820, H-824, H-825, H-840, H-850 H-810, H-811, H-206 C-815.82D02 C-815.82P02A...
  • Seite 65 10 Technische Daten Allgemein Einheit Maximale Geschwindigkeit Maximale Beschleunigung Maximale Anzahl Biegezyklen 1 Mio. Betriebstemperaturbereich -10 bis +70 °C Stromversorgungskabel, gerade Stecker Einheit Minimaler Biegeradius in einer Schleppkette Minimaler Biegeradius bei der Festinstallation 24,5 Außendurchmesser Stecker M12 m/w Stromversorgungskabel, abgewinkelter Stecker Einheit Kabellänge L 2 / 5 / 7,5 / 10 / 20 m...
  • Seite 66 10 Technische Daten 10.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Verschmutzungsgrad Luftdruck 1100 hPa bis 780 hPa Vakuumkompatible Modelle: 1100 hPa bis 10 Transporttemperatur –25 °C bis +85 °C Lagertemperatur 0 °C bis 70 °C Ausheiztemperatur Nur vakuumkompatible Modelle: 80 °C (176 °F) Luftfeuchte Höchste relative Luftfeuchte 80 % bei Temperaturen bis 31 °C, linear abnehmend bis relative Luftfeuchte 50 % bei...
  • Seite 67 10 Technische Daten 10.4 Abmessungen 10.4.1 Hexapod H-811 Abmessungen in mm. Abbildung 11: H-811.I2, bei Nullposition des Nominalstellwegs H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 68 10 Technische Daten Abbildung 12: H-811.S2, bei Nullposition des Nominalstellwegs Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 69 10 Technische Daten Abbildung 13: H-811.F2, bei Nullposition des Nominalstellwegs H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 70 10 Technische Daten Abbildung 14: H-811.I2V, bei Nullposition des Nominalstellwegs Wenn für Koordinatensystem und Drehpunkt die Werkseinstellungen des Controllers verwendet werden, entspricht die Abbildung des Hexapods der Position X=Y=Z=U=V=W=0. Die (0,0,0)-Koordinaten bezeichnen den Ursprung des Koordinatensystems. Der Drehpunkt für Rotationen liegt im Ursprung des Koordinatensystems, wenn die Werkseinstellungen für Koordinatensystem und Drehpunkt verwendet werden und sich der Hexapod in der Position X=Y=Z=U=V=W=0 befindet.
  • Seite 71 10 Technische Daten 10.4.2 Steckerhalter 000067899 Abmessungen in mm. Abbildung 15: 000067899 Steckerhalter für Zugentlastung H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 72 10 Technische Daten 10.5 Lastkurven Die Lastkurven in den folgenden Abbildungen gelten nur, wenn der Hexapod am Controller angeschlossen und der Servomodus eingeschaltet ist. Abbildung 16: Belastungsgrenzen des H-811.I2 bei horizontaler Montage Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 73 10 Technische Daten Abbildung 17: Belastungsgrenzen des H-811.I2 bei vertikaler Montage H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 74 10 Technische Daten Abbildung 18: Belastungsgrenzen des H-811.I2 bei Montage unter ungünstigstem Winkel Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 75 10 Technische Daten Abbildung 19: Maximal zulässige Krafteinwirkung auf den H-811.I2 bei horizontaler Montage H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 76 10 Technische Daten Abbildung 20: Belastungsgrenzen des H-811.I2V bei horizontaler Montage Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 77 10 Technische Daten Abbildung 21: Belastungsgrenzen des H-811.I2V bei vertikaler Montage H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 78 10 Technische Daten Abbildung 22: Belastungsgrenzen des H-811.I2V bei Montage unter ungünstigstem Winkel Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 79 10 Technische Daten Abbildung 23: Maximal zulässige Krafteinwirkung auf den H-811.I2V bei horizontaler Montage H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 80 10 Technische Daten Abbildung 24: Belastungsgrenzen des H-811.F2 bei horizontaler Montage Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 81 10 Technische Daten Abbildung 25: Belastungsgrenzen des H-811.F2 bei vertikaler Montage H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 82 10 Technische Daten Abbildung 26: Belastungsgrenzen des H-811.F2 bei Montage unter ungünstigstem Winkel Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 83 10 Technische Daten Abbildung 27: Maximal zulässige Krafteinwirkung auf den H-811.F2 bei horizontaler Montage H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 84 10 Technische Daten 10.6 Dynamischer Arbeitsbereich Die Diagramme kennzeichnen den dynamischen Arbeitsbereich des H-811.S2. Dabei gelten die folgenden Voraussetzungen: Eine kompakte Last wird zentrisch montiert.  Die Grundpatte des Hexapods befindet sich in der horizontalen Montagestellung.  Es wird immer eine einachsige Bewegung beschrieben. ...
  • Seite 85 10 Technische Daten Abbildung 29: Dynamischer Arbeitsbereich des H-811.S2, Y, 2,5 kg H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 86 10 Technische Daten Abbildung 30: Dynamischer Arbeitsbereich des H-811.S2, Z, 2,5 kg Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 87 10 Technische Daten Abbildung 31: Dynamischer Arbeitsbereich des H-811.S2, U (ƟX), 2,5 kg H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 88 10 Technische Daten Abbildung 32: Dynamischer Arbeitsbereich des H-811.S2, V (ƟY), 2,5 kg Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 89 10 Technische Daten Abbildung 33: Dynamischer Arbeitsbereich des H-811.S2, W (ƟZ), 2,5 kg H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 90 10 Technische Daten 10.7 Pinbelegung 10.7.1 Anschluss zur Stromversorgung Nicht für Vakuummodelle: Stromversorgung über 4-poligen M12-Stecker Funktion 24 V DC 24 V DC Nur für Vakuummodelle: Stromversorgung über 2-poligen LEMO-Einbaustecker, männlich, Typ ECJ.1B.302.CLD Funktion 24 V DC Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 91 10 Technische Daten 10.7.2 Anschluss zur Datenübertragung Datenübertragung zwischen Hexapod und Controller HD D-Sub 78 Stecker Funktion Alle Signale: TTL Pinbelegung Signal Signal CH1 Sign IN CH1 MAGN IN CH1 Ref OUT CH1 LimP OUT CH1 LimN OUT CH1 A+ OUT CH1 B+ OUT CH1 A- OUT CH1 B- OUT...
  • Seite 92 10 Technische Daten Signal Signal CH4 A+ OUT CH4 B+ OUT CH4 A- OUT CH4 B- OUT CH5 Sign IN CH5 MAGN IN CH5 Ref OUT CH5 LimP OUT CH5 LimN OUT CH5 A+ OUT CH5 B+ OUT CH5 A- OUT CH5 B- OUT CH6 Sign IN CH6 MAGN IN...
  • Seite 93 Instrumente (PI) GmbH & Co. KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines Altgeräts von PI, sofern es nach dem 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: Physik Instrumente (PI) GmbH &...
  • Seite 95 12 Glossar Glossar Benutzerdefinierte Koordinatensysteme Mit dem Controller können eigene Koordinatensysteme definiert und anstelle der werkseitig eingestellten Koordinatensysteme verwendet werden. Die Arbeit mit benutzerdefinierten Koordinatensystemen und das Work-und-Tool-Konzept sind in der Technical Note C887T0007 beschrieben. Arbeitsraum Die Gesamtheit aller Posen, die der Hexapod von der aktuellen Position aus anfahren kann, wird als Arbeitsraum bezeichnet.
  • Seite 96 12 Glossar Pose Die räumliche Lage des Hexapods, d.h. die Kombination seiner Position und Orientierung im dreidimensionalen Raum, wird als "Pose" bezeichnet. Die Pose eines Hexapods wird durch sechs Koordinaten in Bezug auf ein rechtshändiges kartesisches Koordinatensystem definiert: Translationsachsen (auch als "lineare Achsen" bezeichnet): X, Y, Z ...
  • Seite 97 12 Glossar Abbildung 34: Hexapod in Referenzposition. Kabelabgang H-811 Hexapod Mikroroboter MS235D Version: 3.0.0...
  • Seite 98 12 Glossar Abbildung 35: Hexapod, dessen Plattform in X bewegt wurde. Kabelabgang Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...
  • Seite 99 13 Anhang Anhang 13.1 Erläuterungen zum Testprotokoll Der Hexapod wird vor Auslieferung auf Positioniergenauigkeit der Translationsachsen geprüft. Das Testprotokoll ist im Lieferumfang enthalten. Die folgende Abbildung zeigt den verwendeten Testaufbau. Abbildung 36: Testaufbau für die Messung der X- bzw. Y-Achse Laser-Interferometer Spiegel Tisch...
  • Seite 100 13 Anhang 13.2 Europäische Konformitätserklärungen Für den H-811 wurden Konformitätserklärungen gemäß den folgenden europäischen gesetzlichen Anforderungen ausgestellt: EMV-Richtlinie RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. EMV: EN 61326-1 Sicherheit: EN 61010-1 RoHS: EN IEC 63000 Version: 3.0.0 MS235D H-811 Hexapod Mikroroboter...

Diese Anleitung auch für:

H-811.i2vH-811.f2H-811.s2