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5.6 Funktion des Geräts prüfen
UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
HINWEIS
Sachschaden durch zu hohe Netzspannung
Durch zu hohe Netzspannung kann das Gerät beschädigt werden.
► Prüfen Sie vor dem Anschluss des Geräts, ob die Netzspannungsangabe auf dem
Gerät mit der örtlich verfügbaren Netzspannung übereinstimmt.
HINWEIS
Turbomolekularpumpe kann beschädigt werden
Die laufende Turbomolekularpumpe kann durch ruckartige Bewegungen oder
Fremdkörper beschädigt werden.
► Vermeiden Sie ruckartige Bewegungen oder Erschütterungen des Geräts während
des Betriebs und bis 2 Minuten nach dem Ausschalten.
► Vermeiden Sie, dass Fremdkörper in den Einlass des Geräts gelangen.
Schalten Sie das Gerät nicht bei einer Umgebungstemperatur unter 10 °C ein.
ü Ein passender Blindflansch ist verfügbar (falls nicht schon am Einlassflansch
montiert).
ü Ein Helium-Prüfleck ist verfügbar (optional).
1
Packen Sie das Gerät aus, sichten Sie den Lieferumfang und untersuchen Sie
auf sichtbare Schäden.
2
Prüfen Sie, ob der Einlass blindgeflanscht ist. Sollte dies nicht der Fall sein,
flanschen Sie einen Blindflansch mit O-Ring-Dichtung am Einlass auf der
Oberseite des Geräts an.
3
Schließen Sie das Gerät an die Netzspannung an.
4
Schalten Sie das Dichtheitsprüfgerät über den Netzschalter ein.
ð Nach dem Einschalten werden auf dem Touchscreen Statusinformationen zur
Geschwindigkeit der Turbomolekularpumpe, dem Vorvakuumdruck, der
Emission und der aktiven Kathode angezeigt. Der Startvorgang dauert ca. 3
Minuten und wird mit einem kurzen Signalton abgeschlossen. Nun befindet
sich das Gerät im Zustand "Standby" (Bereitschaft).
5
Drücken Sie die Taste START.
ð Der Einlass wird evakuiert und dann im Messmodus die gemessene Leckrate
angezeigt.
Falls ein Prüfobjekt angeschlossen wäre, könnten Sie damit beginnen, es von
außen mit Helium zu besprühen.
Installation | 5
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