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8 | Reinigung und Wartung
8.9 Wartungsplan
Baugruppe
Wartungsarbeiten
Vakuum System
Vorvakuum-
Leistung prüfen
pumpe NeoDry
Pumpe bei Bedarf
austauschen
TMP SplitFlow
Betriebsmittelspeicher
80
tauschen
Lager wechseln und
Betriebsmittelspeicher
tauschen
Ventilblock
Ventile reinigen
Ventildichtungen ersetzen
Ventilblock zerlegen u.
reinigen
Flut- und
Filter erneuern
Spülgasleitung
Elektrik
Lüfter-
Lüfter Chassis und TMP
Baugruppen
ausblasen
Luftfilter-Kit prüfen und bei
Bedarf austauschen
Unterbaugruppen und Zubehör
Schnüffel-
Filter erneuern
leitung SL3000
Prüfleck
Rekalibrieren /
Austauschen
Legende zum
Wartungsplan
130 / 160
Betriebsstunden / Jahre
1500
1/4
X
3
X
3
X
- Alle 1000 Stunden Schnüffelbetrieb
3
durchführen
X
- In Abhängigkeit des Verfalldatums
2
durchführen
• I Kunde oder Höhere Stufe
• II Kunde mit Einweisung oder Höhere Stufe
• III INFICON Servicetechniker
• X Wartungsarbeiten nach Betriebsstunden oder Zeitdauer
• X
Wartung nach Betriebsstunden, nicht nach Zeitdauer
1
• X
Wartung nach Zeitdauer, nicht nach Betriebsstunden
2
• X
Von Umwelteinflüssen, Einsatzbedingungen, Verschmutzung und
3
Anwendungsprozess abhängig
4000
8000
16000 24000
1
2
3
X
X
X
X
X
X
3
3
X
3
X
X
X
3
X
X
X
3
X
X
3
X
X
X
3
1
1
X
X
X
1
1
1
X
X
X
1
1
1
UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
Servic
Ersatzteil-
e-stufe
nummer
4
X
II
X
III
200009420
3
200009420R
II
200003801
X
III
2
X
III
X
III
200007630
X
III
3
X
II
200000683
1
200001095
X
II
1
X
I
200007656
1
I
200001116
20003500
III
14030
INFICON
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