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UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
Automatische Abstimmung / Masseneinstellung
Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale
Leckratenanzeige erreicht wird. Um mit dem Ionendetektor einen maximalen
Ionenstrom zu detektieren, passt der Steuerrechner die Spannung zur
Ionenbeschleunigung innerhalb des ausgewählten Massenbereichs entsprechend an.
Bei jeder Kalibrierung erfolgt eine automatische Abstimmung.
Betriebsart
Der Lecksucher unterscheidet zwischen den Betriebsarten "Vakuum" und
"Schnüffeln". Bei der Betriebsart "Vakuum" strömt das Prüfgas in der Regel in das
Prüfobjekt hinein. Der Druck im Prüfobjekt ist kleiner als der Umgebungsdruck.
Bei der Betriebsart "Schnüffeln" strömt das Prüfgas aus dem Prüfobjekt heraus und
wird mit einem Schnüffelhandgriff abgesaugt. Der Druck im Prüfobjekt ist größer als
der Umgebungsdruck.
FINE
FINE bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe für mittlere
Einlassdrücke. Dieser wird auch für die Betriebsart "Schnüffeln" verwendet.
Formiergas
Formiergas ist ein Sammelbegriff für Gasgemische aus Stickstoff und Wasserstoff.
GROSS
GROSS bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe mit der niedrigsten
Empfindlichkeit. Dieser lässt hohe Einlassdrücke zu.
Interner Heliumuntergrund
Das Messsystem des Dichtheitsprüfgeräts enthält immer eine gewisse Restmenge
Helium. Dieses erzeugt einen internen Messsignal-Anteil (Untergrundsignal), der von
Anfang an die Anzeige von Lecks überlagert und so bei der Lecksuche stört.
Um dieses Untergrundsignal auszublenden, ist die interne "Untergrundunterdrückung"
per Werkseinstellung aktiviert. Bei Drücken der Taste START wird das aktuell
bestimmte interne Messsignal als Heliumuntergrund gewertet und vom Messsignal
abgezogen. Falls der Lecksucher sich noch keine 20 Sekunden im Zustand "Standby"
oder "Belüftet" befunden hat, wird der zuletzt verwendete interne Heliumuntergrund
abgezogen.
Kleinste nachweisbare Leckrate
Die kleinste nachweisbare Leckrate, die der Lecksucher unter idealen Bedingungen
erfassen kann.
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