INFICON UL6000 Fab Originalbetriebsanleitung Seite 115

INFICON
Typ Meldung
W459 Hochlauf der
Vorvakuumpumpe dauert zu
lange
W460 Keine Kommunikation mit
dem TMP2-Wandler
E461 Unbehandelte
Fehlermeldung der TMP2
E462 Temperatur der TMP2-
Pumpe zu hoch
E463 Temperaturfehler der
Vorvakuumpumpe
E464 Stromaufnahme der
Vorvakuumpumpe zu hoch
E465 Falsche Flussrichtung in der
Vorvakuumpumpe
UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
Mögliche
Fehlerquellen
Abgas-Anschluss
verschlossen
Vorvakuumpumpe
defekt
TMP2-Kabel defekt
oder nicht
angeschlossen
TMP2-Wandler defekt
MSB defekt
TMP2-Wandler defekt
TMP2 defekt
Die
Umgebungstemperatur
ist zu hoch
Lüfter blockiert oder
defekt
TMP2 defekt
Die
Umgebungstemperatur
ist zu hoch
Lüfter blockiert oder
defekt
Die
Umgebungstemperatur
ist zu niedrig
Temperatursensor der
Vorvakuumpumpe ist
defekt
Abgas-Anschluss
verschlossen
Hochbelasteter Betrieb
Gasfluss in das Gerät
durch Überdruck am
Abgas-Anschluss
Warn- und Fehlermeldungen | 7
Störungsbeseitigung
• Stellen Sie sicher dass der
Abgasschlauch korrekt angeschlossen ist
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Reduzieren Sie die Temperatur in der
Umgebung, in der das Gerät steht
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Reduzieren Sie die Temperatur in der
Umgebung, in der das Gerät steht
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Erhöhen Sie die Temperatur in der
Umgebung, in der das Gerät steht
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Stellen Sie sicher dass der
Abgasschlauch korrekt angeschlossen ist
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Beseitigen Sie den Überdruck am
Abgasanschluss
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