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INFICON UL6000 Fab Originalbetriebsanleitung
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INFICON UL6000 Fab Originalbetriebsanleitung

Helium-dichtheitsprüfgerät mit ultratest sensor-technologie
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Original-Betriebsanleitung
UL6000 Fab™
UL6000 Fab PLUS™
Helium-Dichtheitsprüfgerät mit ULTRATEST
Katalognummern
550-520, 550-530
Ab Software-Version
1.62 (Gerätebedienung)
™
Sensor-Technologie
iinc75de1-02-(2207)

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Verwandte Anleitungen für INFICON UL6000 Fab

Inhaltszusammenfassung für INFICON UL6000 Fab

  • Seite 1 Original-Betriebsanleitung UL6000 Fab™ UL6000 Fab PLUS™ ™ Helium-Dichtheitsprüfgerät mit ULTRATEST Sensor-Technologie Katalognummern 550-520, 550-530 Ab Software-Version 1.62 (Gerätebedienung) iinc75de1-02-(2207)
  • Seite 2 INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Köln, Deutschland...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    INFICON Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis 1 Über diese Anleitung .............................  8 1.1 Zielgruppen ..............................  8 1.2 Warnhinweise............................ 8 1.3 Begriffsdefinitionen...........................  8 2 Sicherheit .............................. 11 2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung .......................  11 2.2 Pflichten des Bedieners .........................  13 2.3 Anforderungen an den Betreiber...................... 13 2.4 Gefahren ..............................
  • Seite 4 Inhaltsverzeichnis INFICON 5 Installation .............................. 41 5.1 Aufstellen ...............................  41 5.2 Mitgeliefertes Zubehör anschließen .......................  45 5.3 Halterung für Schnüffelleitung SL3000 befestigen (Zubehör, optional) .......... 49 5.4 Rezipienten/Prüfköper am Einlassflansch anschließen .................  50 5.5 An das Stromnetz anschließen ...................... 50 5.6 Funktion des Geräts prüfen........................
  • Seite 5 INFICON Inhaltsverzeichnis 6.3.3 Schwellenwerte einstellen...................... 69 6.3.4 Vakuumbereiche aktivieren...................... 70 6.3.5 Drehzahl der Vorvakuumpumpe beeinflussen ................ 70 6.3.6 TMP2-Modus ein- oder ausschalten ...................  70 6.3.7 HYDRO•S ...........................  71 6.3.7.1 HYDRO•S einstellen ...................... 71 6.3.7.2 HYDRO•S benutzen ...................... 71 6.3.8 Maschinenfaktor einstellen ...................... 72 6.3.9 Externes Prüfleck einstellen......................
  • Seite 6 Inhaltsverzeichnis INFICON 6.8.6 Informationen zu Energiedaten aufrufen.................. 91 6.8.7 Informationen zu HYDRO•S aufrufen .................. 92 6.8.8 Informationen zur SL3000 Schnüffelleitung aufrufen.............. 92 6.9 Protokolle ...............................  92 6.9.1 Fehler- und Warnungsprotokoll aufrufen .................. 92 6.9.2 Kalibrierprotokoll aufrufen ...................... 92 6.9.3 Ergebnisprotokoll aufrufen ...................... 92 6.9.4 Wartungsprotokoll aufrufen......................
  • Seite 7 INFICON Inhaltsverzeichnis 9 Außerbetriebnahme ...........................  132 9.1 Gerät entsorgen ...........................  132 9.2 Gerät zur Wartung, Reparatur oder Entsorgung einsenden .............. 132 10 Zubehör und Schnittstellen........................ 134 10.1 Zubehör und Ersatzteile ........................ 134 10.2 I/O-Modul .............................  138 10.2.1 Verbindung zwischen Gerät und I/O-Modul herstellen .............  138 10.2.2 Analoge Ausgänge konfigurieren....................

  • Seite 8: Über Diese Anleitung

    1 | Über diese Anleitung INFICON 1 Über diese Anleitung Dieses Dokument gilt für die auf der Titelseite angegebene Softwareversion. Im Dokument werden unter Umständen Produktnamen erwähnt, die lediglich zu Identifizierungszwecken angegeben werden und Eigentum der entsprechenden Rechteinhaber sind. 1.1 Zielgruppen Diese Betriebsanleitung richtet sich an Betreiber des Geräts und an technisch...
  • Seite 9 INFICON Über diese Anleitung | 1 Automatische Abstimmung / Masseneinstellung Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale Leckratenanzeige erreicht wird. Um mit dem Ionendetektor einen maximalen Ionenstrom zu detektieren, passt der Steuerrechner die Spannung zur Ionenbeschleunigung innerhalb des ausgewählten Massenbereichs entsprechend an.
  • Seite 10 1 | Über diese Anleitung INFICON MASSIVE Nach Auswahl des Vakuumbereichs “MASSIVE“ können Groblecks bereits ab Atmosphärendruck gemessen werden. ULTRA ULTRA bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe für den Messbereich mit der höchsten Empfindlichkeit bei niedrigen Einlassdrücken. ULTRATEST™ Sensor-Technologie Hochsensibles Massenspektrometer für die Atommassen 2, 3 und 4.

  • Seite 11: Sicherheit

    • Überschreiten zulässiger Umgebungsbedingungen für Prüflecks • Einsatz in radioaktiven Bereichen • Änderung des Geräts durch zusätzliche Anbauten, die die Standfestigkeit verändern. Ausgenommen ist Inficon Zubehör. • Verwendung von Zubehör- oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Betriebsanleitung aufgeführt sind • Betrieb des Geräts in verschmutzer Umgebungsluft, in der leitfähige Partikel wie Kohlefasern zu internen Kurzschlüssen führen können.
  • Seite 12 2 | Sicherheit INFICON • Verwendung des Geräts in explosionsfähigen Atmosphären • Absuchen von netzspannungsführenden Leitungen oder Objekten mit einer Schnüffelleitung • Schlagartiges Belüften von Vakuumsystemen • Nutzung des Geräts als Transportwagen für Gegenstände oder Personen • Verwendung des optional erhältlichen Flaschenhalters als Transportmittel für Gegenstände oder Personen...

  • Seite 13: Pflichten Des Bedieners

    INFICON Sicherheit | 2 2.2 Pflichten des Bedieners • Lesen, beachten und befolgen Sie die Informationen in dieser Anleitung und in den vom Eigentümer erstellten Arbeitsanweisungen. Dies betrifft insbesondere die Sicherheits- und Warnhinweise. • Beachten Sie bei allen Arbeiten immer die vollständigen Bedienungsanleitungen.
  • Seite 14 2 | Sicherheit INFICON Gefahr für Träger von Unterhalb der Arbeitsfläche ist in der Nähe des Handgriffs ein Lautsprecher Implantaten wie untergebracht. Sein Magnetfeld kann eine Beeinflussung von Implantaten (z.B. Herzschrittmachern Herzschrittmachern oder Defibrillatoren) bewirken. Ein Herzschrittmacher kann in den Testmodus geschaltet werden und Unwohlsein verursachen.

  • Seite 15: Lieferumfang, Transport, Lagerung

    INFICON Lieferumfang, Transport, Lagerung | 3 3 Lieferumfang, Transport, Lagerung Lieferumfang Artikel Anzahl UL6000 Fab oder UL6000 Fab PLUS Netzanschlussleitung (länderspezifisch) Auspuffschlauchadapter KF-Flansch DN25 Zugentlastung Netzleitung (Rohr- und Halterungsschelle) Schrauben M6x12 Sicherungsscheibe Schlüssel T30 Haken für Netzkabel Adapter DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF...
  • Seite 16 3 | Lieferumfang, Transport, Lagerung INFICON WARNUNG Verletzungsgefahr durch unsachgemäßen Transport einer Gasflasche auf dem mobilen Dichtheitsprüfgerät ► Befolgen Sie bei der Montage des Flaschenhalters am Dichtheitsprüfgerät die Reihenfolge der Handlungsschritte, wie sie in der separaten Montageanleitung beschrieben sind. ► Montieren Sie den Fußteil des Flaschenhalters bündig mit der Gasflasche.
  • Seite 17 INFICON Lieferumfang, Transport, Lagerung | 3 WARNUNG Verletzungsgefahr durch fallendes oder kippendes Gerät Bei unsachgemäßem Transport kann das ausgepackte Gerät herunterfallen oder umkippen und schwere Verletzungen verursachen. ► Der fahrbare Lecksucher ist zum Transport auf einer ebenen Fläche ausgelegt. Er ist zum Tragen oder zum Hochheben durch einen Kran nicht geeignet.
  • Seite 18 3 | Lieferumfang, Transport, Lagerung INFICON HINWEIS Beschädigung des Dichtheitsprüfgeräts durch Flurfördermittel Auf der Unterseite des Geräts befinden sich Befestigungsclipse der Lüfter. Flurfördermittel wie Gabelstapler können diese Clipse beschädigen. ► Falls Sie das Gerät nicht am Griff bis zum Zielort schieben können, empfehlen wir die Verwendung der originalen Transportkiste.

  • Seite 19: Beschreibung

    INFICON Beschreibung | 4 4 Beschreibung 4.1 Funktion Das Gerät ist ein Dichtheitsprüfgerät zum Erkennen und Messen von Lecks in Prüfobjekten. Das Gerät ist für die Dichtheitsprüfung nach der Vakuummethode und der Schnüffelmethode geeignet. Es verwendet die ULTRATEST Sensor- Technologie.

  • Seite 20: Betriebsart "Schnüffeln

    4 | Beschreibung INFICON Sehen Sie dazu auch 2 Extern Kalibrieren [} 80] 4.2.2 Betriebsart "Schnüffeln" Um Prüfobjekte unter Überdruck mit einer Schnüffelsonde absuchen zu können, können Sie die Schnüffelleitung SL200 oder die Schnüffelleitung SL3000 anschließen. SL200 Der Vakuumanschluss der Schnüffelleitung SL200 wird an der Oberseite des Geräts an den Einlassflansch angeschlossen.
  • Seite 21 INFICON Beschreibung | 4 Standby über Taste am Schnüffelhandgriff beenden Kalibrieren über Taste am Schnüffelhandgriff bestätigen UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207) 21 / 160...

  • Seite 22: Geräteaufbau

    4 | Beschreibung INFICON 4.3 Geräteaufbau 4.3.1 Gesamtgerät Abb. 1: Ansicht von vorne 22 / 160 UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
  • Seite 23 INFICON Beschreibung | 4 Abb. 2: Ansicht von vorne mit geöffneter Klappe. UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207) 23 / 160...
  • Seite 24 4 | Beschreibung INFICON Abb. 3: Ansicht von hinten. Die Abbildung zeigt mitgeliefertes und optionales Zubehör. 24 / 160 UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)

  • Seite 25: Bedieneinheit

    INFICON Beschreibung | 4 4.3.2 Bedieneinheit Abb. 4: Bedieneinheit - Ansicht von vorne Die Bedieneinheit besteht aus einem Touchscreen und einem Bedienfeld mit den Tasten START, STOP und ZERO (Untergrundunterdrückung) auf dem Gehäuse. Siehe auch “Aufbau des Touchscreens [} 29]“ und “Taste START [} 26]“.

  • Seite 26: Taste Start

    4 | Beschreibung INFICON 1 HDMI-Schnittstelle • Zum Anschluss an die HDMI-Schnittstelle eines Touch-Monitors, maximale Leitungslänge 3 m. Siehe auch “Externen Monitor verwenden [} 97]“. 2 / 3 USB 2.0 Schnittstellen • Zum Anschluss des USB-Kabels eines Touch-Monitors, maximale Leitungslänge 3 m.

  • Seite 27: Taste Zero

    INFICON Beschreibung | 4 • Auf dem Touchscreen oder auf dem Bedienfeld bedienbar. • Über die Taste STOP auf dem Bedienfeld können Sie nicht nur Messungen stoppen, sondern auch belüften. Funktion Touchscreen Bedienfeld Stop Taste STOP Belüften Drücken Sie die Taste STOP erneut und halten Sie sie für ca.

  • Seite 28: Bedeutung Der Tasten-Leds

    4 | Beschreibung INFICON Die Funktion ZERO sollte erst aktiviert werden, wenn das Leckratensignal stabil ist und kein Leck gemessen wird. Siehe auch “Funktion ZERO einstellen und verwenden [} 73]“. 4.3.2.4 Bedeutung der Tasten-LEDs LED Taste START LED Taste STOP Bedeutung...

  • Seite 29: Aufbau Des Touchscreens

    INFICON Beschreibung | 4 Status-LED Bedeutung Grün blinkend Software wird gestartet (unmittelbar nach Einschalten des Geräts) Grün blinkend Bootloader wartet auf Softwareupdate (nach dem Starten eines Softwareupdates des Grundgeräts) Grün Messen Gelb Messen mit nicht quittierter Warnung Fehler 4.3.2.6 Aufbau des Touchscreens Die Anzeige ist ein Touchscreen.
  • Seite 30 4 | Beschreibung INFICON • Dunkelblau: Funktion aktivierbar • Hellblau: Funktion aktiv • Rot: Fehler aktiv (Navigationstaste Diagnose) • Orange: Warnung aktiv (Navigationstaste Diagnose) Einstellungen Betrieb Informationen Diagnose Tab. 1: Navigationstasten Funktionstasten Die Tasten können in drei unterschiedlichen Farben erscheinen: • Grau: Funktion gesperrt •...

  • Seite 31: Vakuumanschlüsse

    INFICON Beschreibung | 4 4.3.3 Vakuumanschlüsse 4.3.3.1 Einlass Der Einlass befindet sich oben auf dem Gerät. Es handelt sich hierbei um einen DN63 Flansch. Verwenden Sie bei Bedarf ein geeignetes Reduzierstück, um den Prüfkörper an den Einlassflansch anzuschließen. Ein Adapter DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF befindet sich im Lieferumfang.

  • Seite 32: Anschluss Spülgas

    4 | Beschreibung INFICON 4.3.3.3 Anschluss Spülgas Auf der Rückseite des Geräts befindet sich der Anschluss für Spülgas, siehe “Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 33]“. Es handelt sich um einen Schnellanschluss für Schläuche mit einem Außendurchmesser von 8 mm. Verwenden Sie zum Spülen ein heliumfreies Gas bei Atmosphärendruck. Die Umgebungsluft kann aufgrund von Sprühen oder Auffüllen von Behältern mit größeren...

  • Seite 33: Anschlüsse Für Zubehör Und Steuersignale

    ACCESSORIES Elektrischer Anschluss der Schnüffelleitung SL200 Anschluss für das Busmodul BM1000 oder das I/O-Modul IO1000, maximale* Leitungslänge des INFICON Datenkabels 30 m REMOTE CONTROL Zum Anschluss der Fernbedienung RC1000 über Kabel, maximale* Leitungslänge 28 m, oder zum direkten Anschluss des Funktransmitters über einen Adapter.

  • Seite 34: Kennzeichnungen Am Gerät

    INFICON 4.3.5 Kennzeichnungen am Gerät Gerät darf nicht im Hausmüll entsorgt werden. 4.4 Technische Daten Mechanische Daten UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Abmessungen (L x B x H) 1050 mm × 472 mm × 1040 mm Masse ca. 144 kg...

  • Seite 35: Physikalische Daten

    INFICON Beschreibung | 4 Physikalische Daten UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Kleinste nachweisbare Leckrate, < 5·10 mbar l/s Vakuumbetrieb Ansprechzeit, blindgeflanscht < 1 s Ansprechzeit, 50 l Volumen ~ 1,4 s Maximaler Einlassdruck (Vakuumbereich Umgebungsdruck MASSIVE) Heliumsaugvermögen (Vakuumbereich > 36 l/s ULTRA, Einlassflansch DN63) Heliumsaugvermögen (Vakuumbereich...

  • Seite 36: Werkseinstellungen

    4 | Beschreibung INFICON UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Verschmutzungsgrad ***) **) Messbedingung für 40°C Umgebungstemperatur: Messmodus ULTRA, Gaslast 35 sccm ***) Nach DIN EN 61010-1: Nur nicht leitfähige Verschmutzung. Gelegentlich kann eine vorübergehende Leitfähigkeit durch Kondensation auftreten. 4.5 Werkseinstellungen Leckratenschwellenwert 1 1×10...
  • Seite 37 INFICON Beschreibung | 4 Digital-Eingang Pin 3 (IO1000) Start Digital-Eingang Pin 4 (IO1000) Stop Digital-Eingang Pin 5 (IO1000) ZERO Digital-Eingang Pin 6 (IO1000) Digital-Eingang Pin 7 (IO1000) Clear Digital-Eingang Pin 8 (IO1000) Purge Digital-Eingang Pin 9 (IO1000) Start/Stop Digital-Eingang Pin 10 (IO1000)
  • Seite 38 4 | Beschreibung INFICON Verstärkertest während Kalibrierung An (nur durch Service änderbar) Überwachung alternierende An (nur durch Service änderbar) Vorverstärkerbereiche Untere Druckgrenze Kapillare SL3000 80 mbar verstopft Obere Druckgrenze Kapillare SL3000 200 mbar gebrochen Druckgrenze MASSIVE -> GROSS 15,0 mbar Druckgrenze GROSS ->...
  • Seite 39 INFICON Beschreibung | 4 Hinweis zum Abgasschlauch-Anschluss Aktiviert Eingestelltes Wartungsintervall Filter Schnüffelspitze 1000 h Luftfilter 2500 h Eingestellter Nutzer Name Supervisor 1111 Sprache English Eingestellter Diagrammtyp Liniendiagramm Liniendiagramm Skalierung Logarithmisch Dekaden Automatische Skalierung Untere Diagrammgrenze 1×10 Zeitachse 30 s Balkendiagramm...
  • Seite 40 4 | Beschreibung INFICON Zeitachse 240 s Untere Diagrammgrenze 1E-5 Volumen Testobjekt 10 L I•RISE Einheit Pa/min I•RISE Berechtigung User Leckrate Schwellenwert I•RISE 6E-2 Pa/min @ 10 L 40 / 160 UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)

  • Seite 41: Installation

    INFICON Installation | 5 5 Installation 5.1 Aufstellen GEFAHR Gefahr durch Stromschlag Wenn der Lecksucher bewegt wird und dadurch die Netzleitung gespannt wird, kann die beidseitig angeschlossene Netzleitung beschädigt oder die Wandsteckdose herausgerissen werden. In das Gerät eindringende Feuchtigkeit kann zu Personenschäden durch Stromschlag und zu Sachschäden durch Kurzschlüsse führen.
  • Seite 42 5 | Installation INFICON WARNUNG Feuergefahr durch Überlastung, Kurzschluss und Überhitzung ► Beachten Sie die zulässigen Umgebungsbedingungen. ► Sorgen Sie für ausreichende Belüftung insbesondere an den Lüftungsöffnungen: Freier Raum vorne, hinten und seitlich wenigstens 10 cm. ► Blockieren Sie den Lüftereinlass im Zubehörfach nicht.
  • Seite 43 INFICON Installation | 5 VORSICHT Quetschgefahr für Extremitäten Füße können überrollt und gequetscht werden. Finger können eingeklemmt und gequetscht werden. ► Halten Sie Füße und Hände von den Rollen fern. ► Lösen Sie Radbremsen nicht mit den Fingern, sondern nur mit dem Fuß oder einem Werkzeug.
  • Seite 44 5 | Installation INFICON Vermeidung von Messfehlern durch Lecks an Heliumquellen in der Geräteumgebung Wir empfehlen, dass Sie regelmäßig in einem Bereich von 10 m um das Gerät herum alle größeren Heliumquellen auf größere Lecks untersuchen. Setzen Sie dazu eine Schnüffelleitung ein.

  • Seite 45: Mitgeliefertes Zubehör Anschließen

    INFICON Installation | 5 5.2 Mitgeliefertes Zubehör anschließen “Haken für Netzleitung und Schnüffelleitung“ montieren Lieferumfang (Anzahl): Haken (4x), Schrauben M6 x 12 (4x), Sicherungsscheiben S6 (4x) Werkzeug (mitgeliefert): Schlüssel T30 (Torx) • Um die Netzleitung und bei Bedarf auch eine Schnüffelleitung am Gerät fixieren zu können, montieren Sie die Haken wie abgebildet am Gerät.
  • Seite 46 5 | Installation INFICON Abb. 8: Haken am Gerät oder am optionalen Flaschenhalter 46 / 160 UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)

  • Seite 47: "Zugentlastung Netzleitung" Montieren

    INFICON Installation | 5 “Zugentlastung Netzleitung“ montieren Lieferumfang (Anzahl): Zugentlastung (1x), Schraube M6 x 12 (1x), Sicherungsscheibe S6 (1x) Werkzeug (mitgeliefert): Schlüssel T30 (Torx) • Um Stolpergefahr zu vermeiden, montieren Sie die “Zugentlastung Netzleitung“ am Gerät. Dadurch wird die Netzleitung vom Gerät zum Boden geführt.

  • Seite 48: Auspuffschlauchadapter Am Gerät Montieren

    5 | Installation INFICON Auspuffschlauchadapter am Gerät montieren • Um Gase über einen Auspuffschlauch DN25 auszuleiten, montieren Sie den Auspuffschlauchadapter KF-Flansch DN25 aus dem Lieferumfang in der Auspufföffnung auf der Rückseite des Geräts. • Verwenden Sie bei der Montage des Auspuffschlauch-Adapters Schutzhandschuhe zur Vermeidung von Schnittverletzungen.

  • Seite 49: Halterung Für Schnüffelleitung Sl3000 Befestigen (Zubehör, Optional)

    INFICON Installation | 5 5.3 Halterung für Schnüffelleitung SL3000 befestigen (Zubehör, optional) WARNUNG Verletzungsgefahr durch Schnüffelspitze Beim Stolpern, beispielsweise über Leitungen, kann die Schnüffelspitze insbesondere bei Augenkontakt schwere Verletzungen verursachen. ► Um Verletzungen durch die Schnüffelspitze auszuschließen, richten Sie die Schnüffelspitze in der Halterung so aus, dass Sie vom Bediener weg zeigt.

  • Seite 50: Rezipienten/Prüfköper Am Einlassflansch Anschließen

    "Hospital-Grade"-Netzkabel verwendet werden. ► Wenn das Kabel beschädigt ist, muss es durch ein originales "Hospital-Grade"- Ersatzteil ersetzt werden (INFICON p/n 200000587). ► Beachten Sie, dass "Hospital-Grade"-Netzkabel mit dem gleichen Schriftzug und einem grünen Punkt gekennzeichnet sind wie der NEMA 5-15-Netzstecker.

  • Seite 51: Funktion Des Geräts Prüfen

    INFICON Installation | 5 HINWEIS Sachschaden durch zu hohe Netzspannung Durch zu hohe Netzspannung kann das Gerät beschädigt werden. ► Prüfen Sie vor dem Anschluss des Geräts, ob die Netzspannungsangabe auf dem Gerät mit der örtlich verfügbaren Netzspannung übereinstimmt. 5.6 Funktion des Geräts prüfen HINWEIS Turbomolekularpumpe kann beschädigt werden...
  • Seite 52 5 | Installation INFICON Falls Sie möglicherweise vorhandene Untergrundsignale (Heliumuntergrund im Prüfobjekt) unterdrücken möchten, drücken Sie die Taste ZERO. Um die Untergrundunterdrückung rückgängig zu machen, drücken Sie die Taste ZERO auf dem Bedienfeld für 2 … 3 Sekunden, siehe “Taste ZERO [} 27]“.

  • Seite 53: Betrieb

    INFICON Betrieb | 6 6 Betrieb 6.1 Einschalten HINWEIS Beschädigung der Vorpumpe durch kalte Umgebungstemperatur Bei einer Umgebungstemperatur unter 10 °C zeigt das Gerät nach dem Einschalten auf dem Display eine Warnung an. Es ist möglich, das Gerät durch Bestätigung dieser Meldung trotzdem in Betrieb zu nehmen.

  • Seite 54: Grundlegende Einstellungen

    6 | Betrieb INFICON 6.2 Grundlegende Einstellungen 6.2.1 Sprache der Benutzeroberflächen einstellen Die Sprache stellen Sie in den Benutzereinstellungen ein, siehe “Benutzerprofil auswählen, bearbeiten, anlegen [} 55]“. 6.2.2 Datum, Uhrzeit und Zeitzone einstellen ü Supervisor-Rechte > Einrichten > Allgemein > Datum und Uhrzeit Stellen Sie ein.

  • Seite 55: Benutzerprofil Auswählen, Bearbeiten, Anlegen

    INFICON Betrieb | 6 6.2.3.2 Benutzerprofil auswählen, bearbeiten, anlegen ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Benutzerkonten > Benutzerkonten verwalten ð Bereits angelegte Benutzer und zugeordnete Gruppen werden in Listenform angezeigt. Sie haben folgende Möglichkeiten: Um ein neues Benutzerprofil anzulegen, wählen Sie im unteren Bereich des Fensters.

  • Seite 56: Persönliche Einstellungen Ändern

    6 | Betrieb INFICON Um dem Benutzer die benötigten Berechtigungen zuzuweisen, wählen Sie eine Gruppe aus. Über wählen Sie zwischen den Gruppen User, Operator und Supervisor. Siehe “Übersicht über Berechtigungsgruppen [} 54]“. Weisen Sie im Feld “Sprache“ dem Benutzer über eine Sprache zu.

  • Seite 57: Automatische Anmeldung Einschalten

    INFICON Betrieb | 6 ð Nach einem Neustart des Geräts werden die aktuellen Einstellungen berücksichtigt. 6.2.5 Automatische Anmeldung einschalten Sie können festlegen, ob ein Nutzer Ihrer Wahl nach Einschalten des Geräts ohne das Anmeldefenster automatisch angemeldet wird. ü Supervisor-Rechte ü Der gewünschte Benutzer wurde bereits angelegt. Siehe “Benutzerprofil auswählen, bearbeiten, anlegen [} 55]“.

  • Seite 58: Darstellung Des Liniendiagramms Ändern

    6 | Betrieb INFICON 6.2.6.1 Darstellung des Liniendiagramms ändern Supervisor ULTRA Abb. 10: Darstellung als Liniendiagramm ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Anzeige > Liniendiagramm Wählen Sie im Feld “Skalierung“ zwischen “Linear“ und “Logarithmisch“. Wählen Sie zwischen den darstellbaren “Dekaden“. Um die obere und untere Grenze an die Leckrate dynamisch anzupassen, aktivieren Sie die Option “Auto-Skalierung“.

  • Seite 59: Darstellung Des Balkendiagramms Ändern

    INFICON Betrieb | 6 6.2.6.2 Darstellung des Balkendiagramms ändern Abb. 11: Darstellung als Balkendiagramm ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Anzeige > Balkendiagramm Wählen Sie im Feld “Skalierung“ zwischen “Linear“ und “Logarithmisch“. Wählen Sie zwischen den darstellbaren “Dekaden“. Um die obere und untere Grenze an die Leckrate dynamisch anzupassen, aktivieren Sie die Option “Auto-Skalierung“.

  • Seite 60: Darstellung Des Kreisdiagramms Ändern

    6 | Betrieb INFICON 6.2.6.3 Darstellung des Kreisdiagramms ändern Abb. 12: Darstellung als Kreisdiagramm ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Anzeige > Kreisdiagramm Falls Sie die Anzahl der dargestellten Dekaden im Kreisdiagramm fest einstellen möchten, wählen Sie unter “Dekaden“ die Anzahl der dargestellten Dekaden.

  • Seite 61: Einheiten Ändern

    INFICON Betrieb | 6 ð Der interne Untergrund wird von Restgas erzeugt, welches noch nicht abgepumpt wurde. Sehr saubere Systeme weisen einen Untergrund im Bereich von 1x10 mbar l/s auf. Unter normalen Bedingungen besteht ein Untergrund von 1x10 mbar l/s oder 1x10 mbar l/s.
  • Seite 62 6 | Betrieb INFICON VORSICHT Schädigung des Gehörs durch laute Töne Der Alarmpegel des Geräts kann 85dB(A) überschreiten. ► Stellen Sie eine Lautstärke bis maximal “5“ ein. ► Verwenden Sie bei eingestellten Lautstärken über “5“ einen geeigneten Gehörschutz. ü Operator- oder Supervisor-Rechte >...

  • Seite 63: Schutzeinstellungen Ändern

    INFICON Betrieb | 6 Falls Sie bei einigen Anwendungen den Alarm für einige Zeit nach der Betätigung der Taste START unterdrücken wollen, stellen Sie die “Audioalarm Verzögerung“ ein. Beispiel: Zeitraum während des Abpumpens eines Prüfkammersystems. ð Nach Betätigung der Taste START wird das akustische Signal aktiviert, sobald die Leckrate unter Schwellenwert 1 fällt oder die...

  • Seite 64: Wartungsintervall "Filter Schnüffelspitze" Oder "Luftfilter" Einstellen

    6 | Betrieb INFICON ð Durch diese Einstellung wird festgelegt, wann eine Grobleck-Warnmeldung erfolgen soll. Die Werkseinstellung beträgt 600 s. Falls der Einlassdruck p1 innerhalb dieser Zeitspanne nicht unter 100 mbar sinkt, erfolgt eine Fehlermeldung. Dieser Menüpunkt ist insbesondere bei Serienprüfungen mit immer gleichen Prüfbedingungen hilfreich.

  • Seite 65: Wartungsaufforderungen Ein- Oder Ausschalten

    INFICON Betrieb | 6 ð Tragen Sie für den “Luftfilter“ einen Wert Ihrer Wahl in Stunden ein oder drücken Sie auf die nebenstehende Taste “Standardwert“ (2500 Stunden). Speichern Sie Nach Durchführung einer Wartung sollten Sie den gewünschten Zeitraum bis zur nächsten Wartung erneut einstellen.

  • Seite 66: Bedienmöglichkeiten Erweitern Oder Einschränken

    6 | Betrieb INFICON • Die Laufzeit des Geräts ist größer als 30 Minuten und die Temperaturabweichung gegenüber letzter Kalibrierung ist größer als 5 Kelvin. • In der aktuell gewählten Betriebsart wurde innerhalb der letzten 24 Stunden noch nicht kalibriert.

  • Seite 67: Favoriten Nutzen

    INFICON Betrieb | 6 ü Supervisor-Rechte > Einrichten > Messung > Sonstiges Ändern Sie bei Bedarf die Einstellung des Feldes “Internes Prüfleck nach dem Hochlauf messen“. ð Option aktiviert: Messung aktiviert ð Option deaktiviert: Keine Messung (Werkseinstellung) Speichern Sie 6.2.15 Favoriten nutzen Um die Zeit für das Durchsuchen von Menüs für häufig verwendete Funktionen...
  • Seite 68 6 | Betrieb INFICON > Einrichten > Allgemein > Benachrichtigungen Ändern Sie bei Bedarf die Einstellung des Feldes “Hinweis zum Abgasschlauch-Anschluss“. ð Option aktiviert: Hinweis wird angezeigt (Werkseinstellung) ð Option deaktiviert: Kein Hinweis Speichern Sie 68 / 160 UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)

  • Seite 69: Einstellungen Für Die Messungen

    INFICON Betrieb | 6 6.3 Einstellungen für die Messungen 6.3.1 Betriebsart wählen ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Betriebsart Wählen Sie zwischen “Vakuum“, “Schnüffeln / SL200“ und “Schnüffeln / SL3000“. Speichern Sie 6.3.2 Gas wählen GEFAHR Gefahr einer Wasserstoffexplosion Wasserstoff kann in Kombination mit Sauerstoff explodieren. Für die zulässige Zusammensetzung von käuflichen Gasgemischen verweisen wir auf die...

  • Seite 70: Vakuumbereiche Aktivieren

    6 | Betrieb INFICON > Schwellenwerte Stellen Sie ein. Speichern Sie 6.3.4 Vakuumbereiche aktivieren Vakuumbereiche Sie können die Vakuumbereiche MASSIVE, GROSS, FINE und ULTRA für Ihre Messungen aktivieren. Alle 4 Bereiche können gleichzeitig aktiviert sein. Falls mehrere Bereiche aktiviert sind, schalten sie abhängig vom Einlassdruck p1 automatisch um. So kann mit verschiedenen Empfindlichkeiten gemessen werden.

  • Seite 71: Hydro•S

    INFICON Betrieb | 6 6.3.7 HYDRO•S Falls Sie im Vakuumbetrieb große Prüfobjekte untersuchen, können Sie durch den Einsatz von HYDRO•S die Zeit bis zur Messbereitschaft reduzieren, siehe auch Betriebsart "Vakuum" [} 19]. 6.3.7.1 HYDRO•S einstellen Die Verfügbarkeit von HYDRO•S hängt neben der hier beschriebenen Grundeinstellung von weiteren Voraussetzungen wie der gewählten Betriebsart und...

  • Seite 72: Maschinenfaktor Einstellen

    6 | Betrieb INFICON ► HYDRO•S schaltet sich automatisch ein. ð HYDRO•S schaltet sich in einem Messzyklus (Stop/Start) nur einmal ein. ð Sie können HYDRO•S über immer ein- und ausschalten, auch dann, wenn die Automatikfunktion aktiviert ist. ð Manuelles Schalten von HYDRO•S deaktiviert die Automatik bis zum nächsten Messzyklus (Stop/Start).

  • Seite 73: Druckgrenzen Ändern

    INFICON Betrieb | 6 2 Extern Kalibrieren [} 80] 6.3.10 Druckgrenzen ändern Druckgrenzen für den Vakuummodus. Die Druckgrenzen beziehen sich auf den Drucksensor “p1“, den Einlassdruck der Turbomolekularpumpe 1. Siehe auch “Vakuumdiagramm sichten [} 98]“. Mit dieser Funktion können die werksseitig eingestellten Umschaltpunkte zwischen den Vakuumbereichen MASSIVE, GROSS, FINE und ULTRA verändert werden.
  • Seite 74 6 | Betrieb INFICON Bei jeder Dichtheitsprüfung gibt es ein “Untergrundsignal“ (siehe “Begriffsdefinitionen [} 8]“), das die Suche bzw. Messung von Leckagen stört. • Um das Untergrundsignal auszublenden, aktivieren Sie die Funktion ZERO. • Sie können ZERO auch benutzen, um eine aktuell angezeigte Leckage auszublenden, die Sie bei der weiteren Suche nach anderen, ggf.

  • Seite 75: Belüften, Spülen, Regenerieren

    INFICON Betrieb | 6 Betriebsart Wenn Sie die Taste ZERO drücken, wird der aktuell angezeigte Leckratenwert auf die “Vakuum“, untere Anzeigegrenze gesetzt. “HYDRO•S“ Hinweis: Die Taste ZERO sollte nicht bei stark fallendem Untergrund gedrückt eingeschaltet, werden, da sonst ein im Vergleich zur Untergrundänderung kleines Leckratensignal Einstellung “I•ZERO...

  • Seite 76: Leckratenfilter Ändern

    6 | Betrieb INFICON WARNUNG Erstickungsgefahr durch Stickstoff oder Argon als Spülgas Die Verwendung von Stickstoff oder Argon als Spülgas kann bei hohen Konzentrationen in der Raumluft zum Ersticken führen. ► Treffen Sie Vorkehrungen, um hohe Konzentrationen dieser Gase in geschlossenen Räumen zu vermeiden.

  • Seite 77: Untergrundunterdrückung Ändern

    INFICON Betrieb | 6 Die Abkürzung I•CAL steht für Intelligent “Calculation Algorithm for Leakrates“. Dieser stellt sicher, dass die Signale in optimierten Zeitintervallen gemittelt werden, und zwar basierend auf dem jeweiligen Leckratenbereich. I•CAL eliminiert zudem Störungsspitzen, welche in keinem Zusammenhang mit den Leckratensignalen stehen und liefert ungewöhnlich kurze Reaktionszeiten auch bei geringen Leckratensignalen.

  • Seite 78: Untergrund Des Einlassbereichs Bestimmen

    6 | Betrieb INFICON Untergrundanzeige in Standby sichtbar zu machen, aktivieren Sie die entsprechende Funktion, siehe “Allgemeine Anzeige-Einstellungen ändern [} 60]“. ð Einlassbereich Zusätzlich zur Subtraktion des internen Untergrunds wird bei jeder Messung durch Drücken von START auch der Untergrund des Einlassbereichs abgezogen.

  • Seite 79: Drucküberwachung Der Schnüffelleitung Ändern

    INFICON Betrieb | 6 ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Einrichten > Messung > Schnüffeln > SL3000 Schnüffelleitung Wählen Sie die “Schnüffelleitung LED Alarmkonfiguration“. ð Zur Auswahl stehen “Heller“, “Aus“ oder “Blinken“. Wählen Sie die “Schnüffelleitung LED Helligkeit“. ð Zur Auswahl stehen Aus/1 … 6.

  • Seite 80: Intern Kalibrieren

    6 | Betrieb INFICON Sie können die Kalibrierung anhand des geräteinternen Prüflecks durchführen oder ein externes Prüfleck verwenden. Eine Kalibrierung sollte typischerweise einmal täglich durchgeführt werden oder wenn Zweifel an der Messfähigkeit des Geräts bestehen. ► Bei der Verwendung von Wasserstoff oder Helium-3 ( He) als Prüfgas ist eine...

  • Seite 81: Kalibrierung Überprüfen

    INFICON Betrieb | 6 6.3.17.3 Kalibrierung überprüfen Sie können die Kalibrierung auch ohne Änderung des Kalibrierfaktors überprüfen. So erfahren Sie, ob eine erneute Kalibrierung nötig ist. ü User-Rechte ü Das Gerät befindet sich im Zustand “Standby“ oder “Messen“. Drücken Sie auf Wählen Sie “Proof“.

  • Seite 82: Messen

    6 | Betrieb INFICON 6.4 Messen ü Der Einlassflansch auf der Oberseite des Geräts ist für die anstehende Messung vorbereitet. Dort ist in der Regel Ihr Prüfkörper oder die Schnüffelleitung SL200 angeschlossen. Siehe auch “Rezipienten/Prüfköper am Einlassflansch anschließen [} 50]“. ü Alternativ ist die Schnüffelleitung SL3000 ist auf der Rückseite des Geräts angeschlossen (optional).

  • Seite 83: Dichtheitsprüfung Mit I•Rise (Geräteabhängig)

    Rezipienten geschlossen. Anschließend wird ein Druckanstieg im Rezipienten üblicherweise in mbar/min oder Torr/min gemessen. Bei der INFICON-Lösung I•RISE wird der Druckanstieg in einem Volumen innerhalb des Dichtheitsprüfgeräts und somit außerhalb des Rezipienten gemessen. Im Vergleich zu einer herkömmlichen Druckanstiegsmessung kann viel schneller und kontinuierlich gemessen werden.
  • Seite 84 6 | Betrieb INFICON Stellen Sie sicher, dass die Turbomolekularpumpe 2 hochgelaufen ist. ð Die Turbomolekularpumpe 2 kann ein- oder ausgeschaltet werden, siehe “TMP2-Modus ein- oder ausschalten [} 70]“ (Supervisor-Rechte). ð Wenn die I•RISE Messung möglich ist, wechselt auf dem Messbildschirm die Farbe des I•RISE Symbols...

  • Seite 85: Helium-Umgebungskonzentration Messen

    INFICON Betrieb | 6 ð Durch Klicken auf die Einheit oder die Volumenanzeige können Sie direkt zu den I•RISE Einstellungen gelangen. ð Durch Klicken auf die Markierung des Schwellenwerts können Sie direkt zur Einstellung des I•RISE Schwellenwerts gelangen. ð Durch Klicken auf die Achsenbeschriftungen können Sie direkt zu den Einstellungen zur Darstellung des I•RISE Diagramms gelangen.

  • Seite 86: Messdaten

    6 | Betrieb INFICON ü Am “Anschluss Spülgas“ sind keine langen Schläuche angeschlossen. Dort gelangt die Luft ins Gerät, deren Heliumkonzentration gemessen wird. Siehe auch “Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 33]“. ü Das Gerät befindet sich im Zustand “Standby“. Drücken Sie auf Wählen Sie “I•CHECK“.

  • Seite 87: Messzyklen Anzeigen

    INFICON Betrieb | 6 Wählen Sie unter “Exportformat“ zwischen “CSV en“, “CSV de“ und “JSON“. ð Standard ist “CSV en“. Bei “CSV en“ ist das Spaltentrennzeichen ein Komma. Bei “CSV de“ ist das Spaltentrennzeichen ein Semikolon. “JSON“ ist ein sprachunabhängiges Datenformat.

  • Seite 88: Messdaten Über Netzwerk Exportieren

    6 | Betrieb INFICON Um auf dem Chart den dargestellten Zeitraum in der Detailansicht zu verändern, wischen Sie auf dem Display nach rechts oder links. Um die Zeitachse zu ändern, drücken Sie zum Vergrößern des Zeitabschnitts oder zum Verkleinern auf .

  • Seite 89: Messdaten-Datenbank: Informationen

    INFICON Betrieb | 6 > Netzwerk finden. Bei Zugriff über WLAN verwenden Sie die URL, die Sie unter > Einrichten > Netzwerk > WLAN finden. Beispiel 1: http://192.168.11.124:3000/md?f=csv_en&c=4&d=mr Liefert Messwerte und Metadaten des Messzyklus mit der ID 4 im Format “csv_en“.

  • Seite 90: Informationen

    6 | Betrieb INFICON ü Supervisor-Rechte ► > Messdaten > Datenbankinformation ð Angezeigt wird: “Aktuelle Datenbankgröße“ in [Byte] “Messwerte“: Anzahl der in der Datenbank enthaltenen Messwerte “Max. Datenbankgröße“: Anzahl an Messwerten, die in der Datenbank gespeichert werden kann “Füllstand“ “Ältester Datensatz“: Zeitstempel des ältesten Messwerts “Jüngster Datensatz“: Zeitstempel des neuesten Messwerts...

  • Seite 91: Informationen Über Das Gerät Aufrufen

    INFICON Betrieb | 6 6.8.4 Informationen über das Gerät aufrufen Es werden diverse Informationen zum Gerät angezeigt: Software- und Seriennummern, Netzwerkinformationen und Betriebsstunden. ► > Gerät > Identifikation ► > Gerät > Netzwerk ► > Gerät > Betriebsstunden ► > Gerät > MSB 6.8.5 Informationen über Baugruppen aufrufen...

  • Seite 92: Informationen Zu Hydro•S Aufrufen

    6 | Betrieb INFICON ð In diesem Fenster wird der zweite Teil der Informationen zur Spannung angezeigt. ► > Energie > Leistung ► > Energie > Strom 6.8.7 Informationen zu HYDRO•S aufrufen Es werden die internen Parameter zu HYDRO•S angezeigt.

  • Seite 93: Einstellungen Des Geräts

    INFICON Betrieb | 6 Falls mehr als 20 Einträge anfallen, werden die jeweils ältesten Einträge überschrieben. 6.10 Einstellungen des Geräts 6.10.1 Einzelne Parameter sichten und anpassen Sie können sich einen schnellen Überblick über die aktuellen Einstellungen des Geräts verschaffen und bei Bedarf Änderungen vornehmen.

  • Seite 94: Parametersätze Exportieren Oder Importieren

    6 | Betrieb INFICON , um sich weitere Details zu den einzelnen Parametern anzeigen zu lassen. Von der aktuellen Geräteeinstellung abweichende Parameter sind durch einen orangen Punkt gekennzeichnet. Eine fehlende Einstellung ist durch einen roten Punkt gekennzeichnet (beispielsweise nach einem Update der Software). Wir empfehlen, nach einer Sichtung der fehlenden Einstellung einen neuen Parametersatz anzulegen und den alten Parametersatz zu löschen.

  • Seite 95: Software Aktualisieren

    INFICON Betrieb | 6 ð Einzelne Parameter eines Parametersatzes auf einem USB-Stick dürfen vor dem Import nicht verändert werden. Nach einer Veränderung können sie nicht mehr in das Gerät übertragen werden. 6.11 Software aktualisieren Das Gerät beinhaltet zwei verschiedene Software-Versionen: Eine für die Benutzeroberfläche und eine für das Grundgerät.

  • Seite 96: Im Expertenmodus Software Aktualisieren

    6 | Betrieb INFICON HINWEIS Datenverlust durch Verbindungsabbruch ► Schalten Sie das Gerät nicht aus und entfernen Sie nicht den USB-Speicherstick, während die Software aktualisiert wird. ü Supervisor-Rechte Kopieren Sie die Datei in das Hauptverzeichnis eines FAT32-formatierten USB- Speichersticks. Verbinden Sie den USB-Speicherstick mit dem USB-Anschluss des Geräts.

  • Seite 97: Zusatzfunktion Freischalten

    INFICON Betrieb | 6 6.11.4 Zusatzfunktion freischalten Sofern Ihr Dichtheitsprüfgerät die Möglichkeit bietet, können Sie eine oder mehrere Zusatzfunktionen erwerben und mittels eines Freischaltcodes aktivieren. ü Sie haben beim Hersteller unter Angabe der Seriennummer Ihres Dichtheitsprüfgeräts eine verfügbare Zusatzfunktion bestellt.

  • Seite 98: Auf Internen Monitor Zurückschalten

    6 | Betrieb INFICON 6.12.1 Auf internen Monitor zurückschalten HINWEIS Externen Monitor trennen ► Falls das Gerät eingeschaltet ist, stellen Sie vor dem Trennen der Anschlüsse eines externen Monitors im Menü auf den internen Monitor um. Sie können bei eingeschaltetem Gerät jederzeit auf den internen Monitor umschalten.

  • Seite 99: Auf Werkseinstellungen Zurücksetzen

    INFICON Betrieb | 6 6.14 Auf Werkseinstellungen zurücksetzen Sie können das Gerät auf die Werkseinstellungen zurücksetzen. Verlust von Einstellungen und Messdaten Nach einem Rücksetzen auf Werkseinstellungen befinden sich im Speicher des Geräts nur die Werkseinstellungen des Herstellers. Die Software des Geräts wird durch das Rücksetzen auf Werkseinstellungen nicht zurückgesetzt.

  • Seite 100: Gerät Ausschalten

    6 | Betrieb INFICON 6.16 Gerät ausschalten HINWEIS Turbomolekularpumpen können beschädigt werden Die laufenden Turbomolekularpumpen können durch ruckartige Bewegungen oder Fremdkörper beschädigt werden. ► Bevor sie das Gerät ausschalten, belüften Sie den Einlass, um sicherzustellen, dass die TMP2 (Booster-Pumpe) abgebremst wird.

  • Seite 101: Warn- Und Fehlermeldungen

    INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 7 Warn- und Fehlermeldungen Während des Betriebs zeigt die Anzeige Informationen an, die Sie bei der Bedienung des Geräts unterstützen. Neben Messwerten werden aktuelle Gerätezustände, Bedienungshinweise sowie Warnungen und Fehlermeldungen angezeigt. Das Gerät ist mit umfangreichen Selbstdiagnosefunktionen ausgestattet. Wenn von der Elektronik ein fehlerhafter Zustand erkannt wird, zeigt das Gerät dies so weit wie...

  • Seite 102: Warn- Und Fehlermeldungen Ul3000/Ul6000

    7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON 7.1 Warn- und Fehlermeldungen UL3000/UL6000 Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W102 Zeitüberschreitung bei Das EEPROM auf dem • Wenden Sie sich an den Kundendienst Kommunikation mit VI-Board ist defekt oder EEPROM auf VI-Board nicht vorhanden...
  • Seite 103 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W110 Echtzeituhr wurde Die Echtzeituhr wurde • Geben Sie das korrekte Datum und die zurückgesetzt! Bitte Datum nicht gestellt korrekte Uhrzeit ein und Uhrzeit eingeben • Prüfen Sie, dass die Meldung beim erneuten Einschalten nicht mehr auftritt Jumper für Akku auf...
  • Seite 104 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W125 I/O-Modul nicht mehr Verbindung zum I/O- • Prüfen Sie die Verbindung zum IO-Modul angeschlossen Modul unterbrochen • Tauschen Sie das Verbindungskabel zum IO-Modul I/O-Modul defekt • Ersetzen Sie das IO-Modul Anschluss für das I/O-...
  • Seite 105 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W153 Gerätebedienungs-Software Es existiert eine • Wenden Sie sich an den Kundendienst, ist veraltet aktuellere um eine aktuelle Gerätebedienungs- Gerätebedienungs- Software zu erhalten Software. Für einen störungsfreien Betrieb ist es empfehlenswert, die Gerätebedienungs-...
  • Seite 106 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W206 24V Versorgungsspannung Funktionsstörung der • Wenden Sie sich an den Kundendienst der Gerätebedienung Gerätebedienung außerhalb des Bereichs Kurzschluss oder • Wenden Sie sich an den Kundendienst Überlast in der 24V- Versorgung der Gerätebedienung...
  • Seite 107 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W221 Interne Spannung 24V_RC Die Fernbedienung ist • Verwenden Sie eine andere außerhalb des Bereichs defekt Fernbedienung, wenn möglich Das an den Anschluss • Verwenden Sie ein anderes Kabel, wenn REMOTE CONTROL möglich...
  • Seite 108 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W241 Spannung -15V außerhalb Kurzschluss am • Wenden Sie sich an den Kundendienst des Bereichs Vorverstärker VI-Board oder MSB • Wenden Sie sich an den Kundendienst defekt E242 Spannung +15V oder -15V Kurzschluss am •...
  • Seite 109 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W303 Suppressorspannung zu MSB defekt • Wenden Sie sich an den Kundendienst hoch W304 Spannung Anode-Kathode Kurzschluss zwischen • Wenden Sie sich an den Kundendienst zu niedrig Anode und Kathode VI-Board oder MSB •...
  • Seite 110 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W342 Kathoden nicht Beide Kathoden defekt • Wenden Sie sich an den Kundendienst angeschlossen während des Selbsttests Stecker der • Wenden Sie sich an den Kundendienst Ionenquelle nicht angeschlossen W350...
  • Seite 111 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W374 Untergrund in Stand-By Massenspektrometer • Prüfen Sie die Dichtheit der Verbindung außerhalb des Bereichs verseucht zwischen dem Lecksuchgerät und dem Prüfobjekt • Reduzieren Sie die Verseuchung in der Umgebung, in der das Gerät steht •...
  • Seite 112 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen E410 TMP Temperatur zu hoch • Schalten Sie das Gerät aus und lassen Umgebungstemperatur Sie es abkühlen ist zu hoch • Reduzieren Sie die Temperatur in der Umgebung, in der das Gerät steht Luftfilter verschmutzt •...
  • Seite 113 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen E450 Temperatur des TMP2- • Reduzieren Sie die Temperatur in der Wandler zu hoch Umgebungstemperatur Umgebung, in der das Gerät steht ist zu hoch Lüfter blockiert oder • Wenden Sie sich an den Kundendienst...
  • Seite 114 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen E454 Fehler der Die Vorvakuumpumpe • Stellen sie sicher, dass Sie das Vorvakuumpumpe: im Dichtheitsprüfgerät mitgelieferte Netzkabel verwenden Unterspannung hat eine zu geringe • Lassen Sie ihre Netzspannungs- Netzeingangsspannung Installation durch eine Elektrofachkraft überprüfen.
  • Seite 115 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W459 Hochlauf der Abgas-Anschluss • Stellen Sie sicher dass der Vorvakuumpumpe dauert zu verschlossen Abgasschlauch korrekt angeschlossen ist lange Vorvakuumpumpe • Wenden Sie sich an den Kundendienst defekt W460 Keine Kommunikation mit TMP2-Kabel defekt •...
  • Seite 116 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen E466 Hochlauffehler der Abgas-Anschluss • Stellen Sie sicher dass der Vorvakuumpumpe / verschlossen Abgasschlauch korrekt angeschlossen ist Drehzahl zu gering Vorvakuumpumpe • Wenden Sie sich an den Kundendienst defekt E467 Überlastschutz der...
  • Seite 117 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen E521 Druckanstieg, Druckanstieg am • Wenden Sie sich an den Kundendienst Anodenspannung Drucksensor p2 und eingebrochen Anodenspannung eingebrochen W522 Druckanstieg, Druckanstieg am • Wenden Sie sich an den Kundendienst Emissionstrom...
  • Seite 118 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W559 Leckrate zu hoch! Es wurde Grobleck am Prüfling • Prüfen Sie die Dichtheit der Verbindung in Stand-By geschaltet um oder am Anschluss an zwischen dem Lecksuchgerät und dem Verseuchung zu vermeiden! das Prüfobjekt...
  • Seite 119 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W619 Die I•BOOST Leckrate fiel Die 'I•BOOST • Führen Sie das Verfahren zur schneller als erwartet (30 s Zeitkonstante' für das Bestimmung der 'I•BOOST Zeitkonstante' Meldung) angeschlossene erneut durch Vakuumsystem wurde...
  • Seite 120 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen W640 Auto Leak Test: Zu viele Leckrate • Prüfen und ändern Sie ggf. den Leckrate aufeinanderfolgende Tests Schwellenwert 1 passt Schwellenwert 1 fehlgeschlagen nicht zum Prüfobjekt Testkammer undicht • Verwenden Sie eine andere Testkammer, wenn möglich...
  • Seite 121 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Störungsbeseitigung Fehlerquellen E711 Max. MSB Temperatur • Reduzieren Sie die Temperatur in der überschritten Umgebungstemperatur Umgebung, in der das Gerät steht ist zu hoch Luftfilter verschmutzt • Reinigen Sie die Lüftungsschlitze oder ersetzen Sie die Filterplatten Lüfter blockiert oder...

  • Seite 122: Reinigung Und Wartung

    8 | Reinigung und Wartung INFICON 8 Reinigung und Wartung Alle hier beschriebenen Reinigungs- und Wartungsarbeiten dürfen nur ohne das Öffnen des Geräts durchgeführt werden! GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Im Inneren des Geräts liegen hohe Spannungen an. Beim Berühren von Teilen, an denen elektrische Spannung anliegt, besteht Lebensgefahr.

  • Seite 123: Filtermatte Auf Geräteunterseite Wechseln

    INFICON Reinigung und Wartung | 8 Nehmen Sie den gebrauchten Luftfilter aus dem Kunststoffgitter und setzen Sie einen neuen ein. Setzen Sie das Kunststoffgitter mit dem neuen Luftfilter wieder ein. 8.3 Filtermatte auf Geräteunterseite wechseln Filtermatte Geräteunterseite Benötigtes Werkzeug Schraubendreher Kontrollieren Sie die Filtermatte in regelmäßigen Abständen und wechseln Sie sie bei...

  • Seite 124: Filter Der Schnüffelleitung Sl200 Wechseln

    8 | Reinigung und Wartung INFICON Lösen Sie die Schrauben, die die Filtermatte auf dem Blech fixieren. Ersetzen Sie die Filtermatte. Schrauben Sie neue Filtermatte fest, setzen das Blech wieder ein und drehen die Rändelschraube fest. 8.4 Filter der Schnüffelleitung SL200 wechseln Aufbau der Schnüffelspitze...
  • Seite 125 INFICON Reinigung und Wartung | 8 3 Kapillarfilter (Metall mit Dichtung; 6 Dichtung Option) Eine Verstopfung der Schnüffelspitze kann folgende Ursachen haben: Kapillarfilter verstopft -> Filzscheiben oder Kapillarfilter ersetzen Sinterfilter verstopft -> Sinterfilter prüfen oder ersetzen Kapillare in Schnüffelspitze verstopft -> Schnüffelspitze ersetzen Schnüffelspitze beschädigt ->...

  • Seite 126: Filter Der Schnüffelleitung Sl3000 Wechseln

    8 | Reinigung und Wartung INFICON Falls bei Ihnen die Anzeige von Wartungsaufforderungen eingeschaltet ist, stellen Sie das Wartungsintervall auf den gewünschten neuen Zeitraum ein. Siehe auch “Wartungsaufforderungen ein- oder ausschalten [} 65]“ und “Wartungsintervall "Filter Schnüffelspitze" oder "Luftfilter" einstellen [} 64]“.
  • Seite 127 INFICON Reinigung und Wartung | 8 Abb. 17: Filtereinsätze aus dem Kapillarfilter drücken Entsorgen Sie die alten Einsätze und reinigen Sie das Metallgitter. Schieben Sie das Metallgitter und danach zwei neue Einsätze von vorne in den Filter. Achten Sie darauf, dass Gitter und Einsätze nicht verkanten.

  • Seite 128: Gasflasche Montieren Oder Wechseln

    8 | Reinigung und Wartung INFICON Schrauben Sie die Schnüffelspitze wieder fest. Schalten Sie das Dichtheitsprüfgerät ein. Verschließen Sie mit einem Finger die Schnüffelspitze. Sie sollten den Unterdruck spüren können. Wenn nicht, liegt eine Undichtigkeit vor und Sie müssen Schnüffelspitze und Handgriff kontrollieren.

  • Seite 129: Gerät Warten Oder Reparieren Lassen

    Wartungsarbeiten im Innern des Geräts sollten nur durch den Hersteller durchgeführt werden. Wir empfehlen, das Gerät alle 4000 Stunden oder jährlich warten zu lassen. Sie können Ihr Gerät zu INFICON einsenden, um es warten oder reparieren zu lassen. Zu weiteren Einzelheiten siehe “Gerät zur Wartung, Reparatur oder Entsorgung einsenden [} 132]“.

  • Seite 130: Wartungsplan

    Legende zum • I Kunde oder Höhere Stufe Wartungsplan • II Kunde mit Einweisung oder Höhere Stufe • III INFICON Servicetechniker • X Wartungsarbeiten nach Betriebsstunden oder Zeitdauer • X Wartung nach Betriebsstunden, nicht nach Zeitdauer • X Wartung nach Zeitdauer, nicht nach Betriebsstunden •...
  • Seite 131 INFICON Reinigung und Wartung | 8 Zur Vorvakuumpumpe Kashiyama NeoDry Beim Pumpen von sauberen Gasen wie trockener Luft und Edelgasen beträgt der empfohlene Zeitplan für eine vorbeugende Wartung 3 Jahre. Beim Pumpen von kondensierbaren Gasen wie Wasserdampf und gasgemischten Lösungsmitteln sowie aggressiven oder ätzenden Gasen kann es erforderlich werden, das Wartungsintervall auf ein Jahr zu verkürzen.

  • Seite 132: Außerbetriebnahme

    9 | Außerbetriebnahme INFICON 9 Außerbetriebnahme 9.1 Gerät entsorgen Das Gerät kann vom Betreiber entsorgt oder zum Hersteller gesendet werden. Das Gerät besteht aus Materialien, die wiederverwendet werden können. Um Abfall zu vermeiden und die Umwelt zu schonen, sollten Sie von dieser Möglichkeit Gebrauch machen.
  • Seite 133 INFICON Außerbetriebnahme | 9 UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207) 133 / 160...

  • Seite 134: Zubehör Und Schnittstellen

    10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON 10 Zubehör und Schnittstellen 10.1 Zubehör und Ersatzteile Die nachfolgend aufgeführten Teile können zusätzlich bestellt werden: Bus-Modul BM1000 PROFIBUS 560-315 BM1000 PROFINET IO 560-316 BM1000 DeviceNet 560-317 BM1000 EtherNet/IP 560-318 I/O-Modul IO1000 Modul 560-310...
  • Seite 135 INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 Weiteres Zubehör für die SL3000 Filterfilze Standardfilter SL3xx, 50St. 200001116 Kapillarfilter in Metallausführung(1 Stck.) 12217 Standard-Filter zu SL 300, Satz 5 St.(Kapillarfilter Kunststoff) 20003501 Internes Filter zu SL3xx, Satz 5 St.(Sinter-Filter mit O-Ring) 20003500 Wasserschutzspitze (1 Stck.)
  • Seite 136 10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Fernbedienung RC1000C und RC1000WL Mit der Fernbedienung RC1000C bedienen Sie das Dichtheitsprüfgerät über ein Kabel mit einer Länge von bis zu 28 m. Mit der drahtlosen Fernbedienung RC1000WL bedienen Sie das Dichtheitsprüfgerät aus einer Entfernung von bis zu 100 m.

  • Seite 137: Drahtlose Fernbedienung Vom Dichtheitsprüfgerät Aus Suchen

    INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 Drahtlose Fernbedienung vom Dichtheitsprüfgerät aus suchen Falls Sie die drahtlose Fernbedienung RC1000WL verlegt haben, können Sie vom Dichtheitsprüfgerät aus akustische Signale dieser Fernbedienung auslösen. > Einrichten > Zubehör > RC1000 Wählen Sie im Feld “Paging-Anfrage“ die Einstellung “Ein“.

  • Seite 138: I/O-Modul

    10.2 I/O-Modul 10.2.1 Verbindung zwischen Gerät und I/O-Modul herstellen ü Supervisor-Rechte Schließen Sie das INFICON I/O-Modul über ein Datenkabel an der LD-Buchse auf der Rückseite des Geräts an, siehe “Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 33]“. > Einrichten > Zubehör > Geräteauswahl Wählen Sie “IO-Modul“.
  • Seite 139 INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 Druck p1 / Druck p2 1 ... 10 V; 0,5 V / Dekade; logarithmisch 1 V = 1 x 10 mbar Leckrate Mantisse 1 ... 10 V; linear; in Nur sinnvoll, wenn der andere Analog-Ausgang mit gewählter Einheit...

  • Seite 140: Digitale Eingänge Konfigurieren

    10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Leckrate log. 0 ... 10 V; logarithmisch; Die obere Grenze (= 10 V) und die Skalierung (V / Dekaden) werden über die Parameter “Oberes Limit in gewählter Einheit Exponent“ und “Analog-Ausgang Skalierung “ eingestellt.

  • Seite 141: Digitale Ausgänge Konfigurieren

    INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 Wählen Sie den gewünschten Modus. ð Es stehen der Modus “Standard“ oder der Modus “Invers“ zur Auswahl. Zum Modus “Invers“: In der folgenden tabellarischen Übersicht müsste in der Spalte “Übergang“ die durch einen Pfeil dargestellte Richtung des Übergangs umgekehrt werden.
  • Seite 142 10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Speichern Sie Funktion Zustand: Beschreibung Off (open) geöffnet: immer geöffnet Ready for operation geschlossen: Emission eingeschaltet, Kalibriervorgang inaktiv, kein Fehler geöffnet: Emission ausgeschaltet oder Kalibriervorgang aktiv oder Fehler Emission on geschlossen: Emission eingeschaltet geöffnet:...

  • Seite 143: I/O-Modul-Protokoll Einrichten

    INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 Funktion Zustand: Beschreibung Setpoint 1 geschlossen: Gemessene Leckrate überschreitet Schwellenwert 1 geöffnet: Gemessene Leckrate unterschreitet Schwellenwert 1 Setpoint 2 geschlossen: Gemessene Leckrate überschreitet Schwellenwert 2 geöffnet: Gemessene Leckrate unterschreitet Schwellenwert 2 Setpoint 3 geschlossen: Gemessene Leckrate überschreitet...

  • Seite 144: Bus-Modul

    Um die Verbindung zwischen Dichtheitsprüfgerät und Bus-Modul herzustellen, gehen Sie folgendermaßen vor: Schalten Sie das Dichtheitsprüfgerät aus. Schließen Sie das INFICON Bus-Modul über ein Datenkabel an der LD-Buchse des Geräts an, siehe "Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 33]". Schalten Sie das Dichtheitsprüfgerät ein.

  • Seite 145: Netzwerk

    INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 10.4 Netzwerk 10.4.1 Dichtheitsprüfgerät über Webbrowser bedienen (LAN) HINWEIS Betriebssystem kann über USB oder Ethernet angegriffen werden Das im Lecksucher verwendete Linux-Betriebssystem wird nicht automatisch aktualisiert und kann deshalb Sicherheitslücken enthalten. Über die Ethernet- und die USB-Schnittstellen des Lecksuchers können diese Sicherheitslücken möglicherweise...

  • Seite 146: Lan-Anbindung Im Pc Oder Tablet Einstellen

    10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON 10.4.1.2 LAN-Anbindung im PC oder Tablet einstellen LAN-Anbindung - Schnellstart Falls Sie die hier vorgestellten Arbeitsschritte einmal durchgeführt haben, reicht im Wiederholungsfall bei vielen Geräten die Eingabe der IP-Adresse. ü Der PC ist mit dem gleichen Netzwerk verbunden wie das Lecksuchgerät.

  • Seite 147: Dichtheitsprüfgerät Über Webbrowser Bedienen (Wlan)

    INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 10.4.2 Dichtheitsprüfgerät über Webbrowser bedienen (WLAN) HINWEIS Betriebssystem kann über USB oder Ethernet angegriffen werden Das im Lecksucher verwendete Linux-Betriebssystem wird nicht automatisch aktualisiert und kann deshalb Sicherheitslücken enthalten. Über die Ethernet- und die USB-Schnittstellen des Lecksuchers können diese Sicherheitslücken möglicherweise...

  • Seite 148: Wlan-Anbindung Im Pc Oder Tablet Einstellen

    10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Um einzustellen, dass das Gerät die WLAN-Anbindung unterstützen soll, aktivieren Sie die Option “WLAN aktivieren“. Tragen Sie im Feld “WLAN Name (SSID)“ den gewünschten Netzwerknamen und im Feld “WLAN Netzwerkschlüssel“ den gewünschten Netzwerkschlüssel ein.

  • Seite 149: Client Zugriff Zulassen

    INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 ð Auf dem PC oder Tablet steht Ihnen die gleiche Funktionalität wie auf dem Touchscreen des Dichtheitsprüfgeräts zur Verfügung. 10.4.2.3 Client Zugriff zulassen ü Supervisor-Rechte > Einrichten > Netzwerk > Client Zugriff Um eine Bedienung des Dichtheitsprüfgeräts durch PC oder Tablet zuzulassen, aktivieren Sie die Option “Client Zugriff“.

  • Seite 150: Anhang

    11 | Anhang INFICON 11 Anhang 11.1 Menüpfade 11.1.1 Diagnose > Bestätigte Warnungen > Fehler und Warnungen > Messdaten > Datenaufzeichnung > Messdaten > Datenbankinformation > Messdaten > Messdaten Export > Messdaten > Messzyklen > Protokolle > Ergebnisprotokoll > Protokolle > Fehler und Warnungen >...
  • Seite 151 INFICON Anhang | 11 > Benutzerkonten > Favoriten > Betriebsart > Einrichten > Allgemein > Benachrichtigungen > Einrichten > Allgemein > Datum und Uhrzeit > Einrichten > Allgemein > Einheiten Einstellungen > Einrichten > Allgemein > Zurücksetzen > Einrichten > Datenaufzeichnung >...

  • Seite 152: Informationen

    11 | Anhang INFICON > Schwellenwerte 11.1.3 Informationen > Baugruppen > Ionenquelle > Baugruppen > TMP > Baugruppen > TMP2 > Baugruppen > Vorvakuumpumpe > Baugruppen > Vorverstärker > Energie > Leistung > Energie > Spannung (1) > Energie > Spannung (2) >...

  • Seite 153: Ce-Konformitätserklärung

    INFICON Anhang | 11 11.2 CE-Konformitätserklärung UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207) 153 / 160...
  • Seite 154 11 | Anhang INFICON 154 / 160 UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)

  • Seite 155: Rohs

    INFICON Anhang | 11 11.3 RoHS UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207) 155 / 160...

  • Seite 156: Stichwortverzeichnis

    Stichwortverzeichnis INFICON Stichwortverzeichnis Freischalten  97 Funktionsbeschreibung  19 Argon abpumpen Druckgrenzen zwischen Vakuumbereichen  73 Audioeinstellungen ändern  61 Gas wählen  69 Auspuff  31, 48 Ausschalten  100 Automatische Anmeldung ausschalten  56 Hinweis zum Abgasschlauch-Anschluss  68 einschalten  57 HYDRO•S benutzen  71 Definition  19 einstellen  71...
  • Seite 157 INFICON Stichwortverzeichnis Messdaten Technische Daten  34 Exportformat  87 Termperaturwerte anzeigen  90 über Netzwerk exportieren  88 TMP2 Modus  70 Monitor umschalten  26, 97, 98 Touch-Monitor  26 Touchscreen  29 Symbole  29 Operator  54 Untergrundleckrate anzeigen  60 Untergrundsignal  10 Parametersatz Untergrundunterdrückung  9, 77 laden  94...
  • Seite 158 Stichwortverzeichnis INFICON 158 / 160 UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)

Diese Anleitung auch für:

Ul6000 fab plus550-520550-530

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