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6.3.10 Druckgrenzen ändern
6.3.11 Funktion ZERO einstellen und verwenden
Warum soll ich ZERO
verwenden?
UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
2 Extern Kalibrieren [} 80]
Druckgrenzen für den Vakuummodus.
Die Druckgrenzen beziehen sich auf den Drucksensor "p1", den Einlassdruck der
Turbomolekularpumpe 1. Siehe auch "Vakuumdiagramm sichten [} 98]".
Mit dieser Funktion können die werksseitig eingestellten Umschaltpunkte zwischen
den Vakuumbereichen MASSIVE, GROSS, FINE und ULTRA verändert werden. Dies
kann erforderlich sein, wenn mit dem Gerät andere Gase als Luft, wie zum Beispiel
Argon, abgepumpt werden. Die Ursache hierfür ist die Gasartabhängigkeit der
internen Pirani-Druckmessröhren.
Durch Veränderung der voreingestellten Umschaltpunkte kann dies ausgeglichen
werden. Das Drucksignal der gasartabhängigen Einlassdruckanzeige (Pirani) kann
nach der Anpassung der Ablaufsteuerung des Geräts andere Umschaltwerte liefern.
ü
Supervisor-Rechte
1
> Einrichten > Messung > Druckgrenzen
ð Sie können die eingestellten Druckgrenzen ändern. Dies betrifft:
MASSIVE -> GROSS
GROSS -> FINE
FINE -> ULTRA
2
Um die Werkseinstellungen für Luft nach einer Änderung durch einen
Tastendruck wiederherzustellen, drücken Sie auf die Taste "Luft Standard".
ð Alle Werkseinstellungen für Luft werden eingestellt.
ð Bei Bedarf können Sie die Druckgrenzen einzeln einstellen. Siehe auch
"Werkseinstellungen".
3
Um die Werte für Argon durch einen Tastendruck einzustellen, drücken Sie auf
die Taste "Argon Standard".
ð Dann werden folgende von den Werkseinstellungen für Luft abweichende
Einstellungen verwendet:
MASSIVE -> GROSS: 4 mbar
GROSS -> FINE: 1 mbar
FINE -> ULTRA: 0,2 mbar
ð Bei Bedarf können Sie die Druckgrenzen einzeln einstellen.
4
Speichern Sie
Um kleine Leckagen deutlicher messen zu können, sollte die Funktion ZERO
verwendet werden.
.
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