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INFICON
6.5 Dichtheitsprüfung mit I•RISE (geräteabhängig)
UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
Standard bei UL6000 Fab PLUS.
Einleitung
I•RISE führt eine Lecksucher-interne zyklische Druckanstiegsmessung durch.
Eine Lecksuche mit Hilfe der Druckanstiegsmessung macht von der Tatsache
Gebrauch, dass durch Undichtigkeiten eine Gasmenge mit konstanter Rate in ein
hinreichend evakuiertes Gefäß einströmt. In der Vakuumtechnik wird dieses Gefäß
auch als Rezipient bezeichnet. Meist handelt es sich dabei um eine Vakuumkammer.
Der Vorteil zur normalen Helium-Lecksuche besteht darin, dass man die
Gesamtleckrate, also die Summe der Leckagen aller Lecks des Rezipienten ohne
Sprühen messen kann. Es können aber nur relativ große Lecks nachgewiesen
werden.
Für die Druckanstiegsmessung wird typischerweise das pumpenseitige Ventil des
evakuierten Rezipienten geschlossen. Anschließend wird ein Druckanstieg im
Rezipienten üblicherweise in mbar/min oder Torr/min gemessen.
Bei der INFICON-Lösung I•RISE wird der Druckanstieg in einem Volumen innerhalb
des Dichtheitsprüfgeräts und somit außerhalb des Rezipienten gemessen.
Im Vergleich zu einer herkömmlichen Druckanstiegsmessung kann viel schneller und
kontinuierlich gemessen werden. Eine herkömmliche externe Druckanstiegsmessung
wird durch I•RISE ersetzt.
Die Leckrate Q kann durch Multiplikation der angezeigten I•RISE Leckrate mit dem
Rezipienten-Volumen beispielsweise in mbar*l/s ebenfalls ermittelt werden:
Q/(mbar*l/s) = I•RISE (mbar/s) * Volumen/l
I•RISE Messung ermöglichen
ü
Operator- beziehungsweise Supervisor-Rechte, abhängig vom
Änderungsbedarf.
ü Das Gerät ist für die Vakuummessung mit einem Rezipienten, zum Beispiel einer
Vakuumkammer, verbunden.
1
Stellen Sie sicher, dass das Gerät sich im Messmodus ULTRA befindet. Siehe
auch die Anzeige des Messmodus im Messbildschirm.
ð In der Werkseinstellung sind alle Vakuumbereiche aktiviert und schalten
abhängig vom Einlassdruck p1 automatisch um. Siehe auch
"Vakuumdiagramm sichten [} 98]". Der Messbereich ULTRA bedeutet die
höchste Empfindlichkeit bei niedrigen Einlassdrücken.
ð Falls der Lecksucher nicht automatisch in den Messbereich ULTRA schaltet,
überprüfen Sie ob dieser Messbereich nicht deaktiviert wurde, siehe
"Vakuumbereiche aktivieren [} 70]" (Operator- oder Supervisor-Rechte).
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