Seite 1 Original-Betriebsanleitung UL6000 Fab ™ Helium-Dichtheitsprüfgerät mit ULTRATEST Sensor-Technologie Katalognummer 550-520 Ab Software-Version iina75de1-04-(2109) 1.51 (Gerätebedienung)
Seite 2 INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Köln, Deutschland...
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
INFICON Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis 1 Über diese Anleitung ............................ 8 1.1 Zielgruppen............................... 8 1.2 Warnhinweise ............................ 8 1.3 Begriffsdefinitionen ........................... 8 2 Sicherheit................................ 11 2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung...................... 11 2.2 Pflichten des Bedieners .......................... 13 2.3 Anforderungen an den Betreiber ...................... 13 2.4 Gefahren.............................. 14 3 Lieferumfang, Transport, Lagerung ........................ 15 4 Beschreibung.............................. 18 4.1 Funktion .............................. 18...
Seite 4 Inhaltsverzeichnis INFICON 5.2 Mitgeliefertes Zubehör anschließen...................... 45 5.3 Halterung für Schnüffelleitung SL3000 befestigen (Zubehör, optional) .......... 49 5.4 An das Stromnetz anschließen....................... 50 5.5 Funktion des Geräts prüfen ........................ 50 6 Betrieb ................................ 53 6.1 Einschalten ............................. 53 6.2 Grundlegende Einstellungen ........................ 54 6.2.1 Sprache der Benutzeroberflächen einstellen ................ 54 6.2.2 Datum, Uhrzeit und Zeitzone einstellen ..................
Seite 5 INFICON Inhaltsverzeichnis 6.3.6.1 HYDRO•S einstellen ...................... 70 6.3.6.2 HYDRO•S benutzen...................... 71 6.3.7 Maschinenfaktor einstellen ...................... 72 6.3.8 Externes Prüfleck einstellen...................... 72 6.3.9 Druckgrenzen ändern ......................... 72 6.3.10 Funktion ZERO einstellen und verwenden ................. 73 6.3.11 Belüften, Spülen, Regenerieren.................... 75 6.3.12 Leckratenfilter ändern ......................... 76 6.3.13 Untergrundunterdrückung ändern....................
Seite 6 Inhaltsverzeichnis INFICON 6.8.4 Wartungsprotokoll aufrufen...................... 90 6.9 Einstellungen des Geräts........................ 90 6.9.1 Einzelne Parameter sichten und anpassen ................ 90 6.9.2 Parametersätze speichern und verwalten................... 90 6.9.3 Parametersätze exportieren oder importieren ................ 91 6.10 Software aktualisieren .......................... 92 6.10.1 Software der Benutzeroberfläche aktualisieren ................ 92 6.10.2 Software des Grundgeräts aktualisieren..................
Seite 7 INFICON Inhaltsverzeichnis 10.2.3 Digitale Eingänge konfigurieren .................... 133 10.2.4 Digitale Ausgänge konfigurieren .................... 134 10.2.5 I/O-Modul-Protokoll einrichten .................... 137 10.3 Bus-Modul............................. 138 10.3.1 Verbindung zwischen Gerät und Bus-Modul herstellen ............ 138 10.3.2 Bus-Modul Adresse einstellen .................... 138 10.4 Netzwerk............................... 139 10.4.1 Dichtheitsprüfgerät über Webbrowser bedienen (LAN) ............ 139 10.4.1.1 LAN-Anbindung des Dichtheitsprüfgeräts konfigurieren .......... 139...
Seite 8: Über Diese Anleitung
1 | Über diese Anleitung INFICON 1 Über diese Anleitung Dieses Dokument gilt für die auf der Titelseite angegebene Softwareversion. Im Dokument werden unter Umständen Produktnamen erwähnt, die lediglich zu Identifizierungszwecken angegeben werden und Eigentum der entsprechenden Rechteinhaber sind. 1.1 Zielgruppen Diese Betriebsanleitung richtet sich an Betreiber des Geräts und an technisch...
Seite 9 INFICON Über diese Anleitung | 1 Automatische Abstimmung / Masseneinstellung Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale Leckratenanzeige erreicht wird. Um mit dem Ionendetektor einen maximalen Ionenstrom zu detektieren, passt der Steuerrechner die Spannung zur Ionenbeschleunigung innerhalb des ausgewählten Massenbereichs entsprechend an.
Seite 10 1 | Über diese Anleitung INFICON MASSIVE Nach Auswahl des Vakuumbereichs “MASSIVE“ können Groblecks bereits ab Atmosphärendruck gemessen werden. ULTRA ULTRA bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe für den Messbereich mit der höchsten Empfindlichkeit bei niedrigen Einlassdrücken. ULTRATEST™ Sensor-Technologie Hochsensibles Massenspektrometer für die Atommassen 2, 3 und 4.
Seite 11: Sicherheit
INFICON Sicherheit | 2 2 Sicherheit 2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung Das Gerät ist ein Dichtheitsprüfgerät zum Erkennen und Messen von Lecks in Prüfobjekten. Das Gerät ist für die Dichtheitsprüfung nach der Vakuummethode und der Schnüffelmethode geeignet. • Betreiben Sie das Gerät ausschließlich gemäß dieser Betriebsanleitung.
Seite 12 2 | Sicherheit INFICON • Verwendung des optional erhältlichen Flaschenhalters als Trittstufe • Anschließen von nicht vakuumbeständigen Werkstücken oder Prüfobjekten ohne Splitterschutz • Abpumpen von Gasen, die Halogene wie Fluor oder Chlor enthalten, in hoher Konzentration oder über längere Zeit. Verwendung bei Kältemitteln oder SF6.
Seite 13: Pflichten Des Bedieners
INFICON Sicherheit | 2 2.2 Pflichten des Bedieners • Lesen, beachten und befolgen Sie die Informationen in dieser Anleitung und in den vom Eigentümer erstellten Arbeitsanweisungen. Dies betrifft insbesondere die Sicherheits- und Warnhinweise. • Beachten Sie bei allen Arbeiten immer die vollständigen Bedienungsanweisungen.
Seite 14: Gefahren
2 | Sicherheit INFICON 2.4 Gefahren Das Gerät ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut. Dennoch sind bei unsachgemäßer Verwendung Gefahren für Leib und Leben des Nutzers oder Dritter bzw. Schäden am Gerät und weitere Sachschäden möglich.
Seite 15: Lieferumfang, Transport, Lagerung
INFICON Lieferumfang, Transport, Lagerung | 3 3 Lieferumfang, Transport, Lagerung Lieferumfang Artikel Anzahl UL6000 Fab Netzanschlussleitung (länderspezifisch) Auspuffschlauchadapter KF-Flansch DN25 Zugentlastung Netzleitung (Rohr- und Halterungsschelle) Schrauben M6x12 Sicherungsscheibe Schlüssel T30 Haken für Netzkabel Adapter DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF Betriebsanleitung Auspackanleitung Prüfzeugnis Prüfleck Prüfzeugnis Dichtheitsprüfgerät...
Seite 16 3 | Lieferumfang, Transport, Lagerung INFICON WARNUNG Verletzungsgefahr durch unsachgemäßen Transport einer Gasflasche auf dem mobilen Dichtheitsprüfgerät ► Befolgen Sie bei der Montage des Flaschenhalters am Dichtheitsprüfgerät die Reihenfolge der Handlungsschritte, wie sie in der separaten Montageanleitung beschrieben sind. ► Um die Stabilität des Dichtheitsprüfgeräts nicht zu beeinträchtigen, transportieren Sie nur kleine bis mittelgroße Flaschen (maximal 10 l, maximale Flaschengröße...
Seite 17 INFICON Lieferumfang, Transport, Lagerung | 3 VORSICHT Verletzungsgefahr wegen eingeschränkter Feststellbremsen Ohne einwandfrei funktionierende Festellbremsen kann es zu ungewollten Bewegungen des Geräts und Verletzungen kommen. ► Um die einwandfreie Funktion der Feststellbremsen sicherzustellen, entfernen Sie die Klebstreifen von den Rädern.
Seite 18: Beschreibung
4 | Beschreibung INFICON 4 Beschreibung 4.1 Funktion Das Gerät ist ein Dichtheitsprüfgerät zum Erkennen und Messen von Lecks in Prüfobjekten. Das Gerät ist für die Dichtheitsprüfung nach der Vakuummethode und der Schnüffelmethode geeignet. Es verwendet die ULTRATEST Sensor- Technologie.
Seite 19: Betriebsart "Schnüffeln
INFICON Beschreibung | 4 Die Desorption von Wasserdampf in einer Testkammer erzeugt ein unerwünschtes Untergrundsignal. HYDRO•S trennt und unterdrückt dieses Signal vom Heliumsignal, so dass der Test früher beginnen kann. Nach einem Wechsel in diesen Modus wird eine neue Kalibrierung erforderlich. Im Modus HYDRO•S liegt die untere Nachweisgrenze bei 1 x 10 mbar l/s.
Seite 20 4 | Beschreibung INFICON Vakuum- und Schnüffelleitung gleichzeitig anschließbar Display mit Messwertanzeige Fehler über Tasten am Schnüffelhandgriff bestätigen Standby über Taste am Schnüffelhandgriff beenden Kalibrieren über Taste am Schnüffelhandgriff bestätigen 20 / 154 UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)
Seite 21: Geräteaufbau
INFICON Beschreibung | 4 4.3 Geräteaufbau 4.3.1 Gesamtgerät Abb. 1: Ansicht von vorne UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109) 21 / 154...
Seite 22 4 | Beschreibung INFICON Abb. 2: Ansicht von vorne mit geöffneter Klappe. 22 / 154 UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)
Seite 23 INFICON Beschreibung | 4 Abb. 3: Ansicht von hinten. Die Abbildung zeigt mitgeliefertes und optionales Zubehör. UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109) 23 / 154...
Seite 24: Bedieneinheit
4 | Beschreibung INFICON 4.3.2 Bedieneinheit Abb. 4: Bedieneinheit - Ansicht von vorne Die Bedieneinheit besteht aus einem Touchscreen und einem Bedienfeld mit den Tasten START, STOP und ZERO (Untergrundunterdrückung) auf dem Gehäuse. Siehe auch “Aufbau des Touchscreens [} 28]“ und “Taste START [} 25]“.
Seite 25: Taste Start
INFICON Beschreibung | 4 Abb. 5: Bedieneinheit – Ansicht von hinten 1 HDMI-Schnittstelle • Zum Anschluss an die HDMI-Schnittstelle eines Touch-Monitors, maximale Leitungslänge 3 m. Siehe auch “Externen Monitor verwenden [} 94]“. 2 / 3 USB 2.0 Schnittstellen • Zum Anschluss des USB-Kabels eines Touch-Monitors.
Seite 26: Taste Stop
4 | Beschreibung INFICON • Falls Sie die Taste START während des Messens nochmals drücken, wird die maximale Leckrate (Q ) angezeigt, die seit START aufgetreten ist. Siehe auch “Aufbau des Touchscreens [} 28]“. • Falls Sie die Taste START auf dem Bedienfeld während des Messens weitere Male drücken, wird die Anzeige der maximalen Leckrate aktualisiert.
Seite 27: Bedeutung Der Tasten-Leds
INFICON Beschreibung | 4 Funktion Touchscreen Bedienfeld Untergrundunterdrückung Ein Taste ZERO Untergrundunterdrückung Aus Drücken Sie die Taste ZERO erneut und halten Sie sie ca. 2 Sekunden fest. Die aktuell gemessene Leckrate wird als Untergrundsignal gewertet. Je nach gewählter Betriebsart wird das Untergrundsignal bis zur Anzeigegrenze des jeweiligen Vakuumbereichs ausgeblendet.
Seite 28: Bedeutung Der Status-Led
4 | Beschreibung INFICON LED Taste ZERO Kein Messbetrieb ZERO gesperrt Blau ZERO aus und HYDRO•S aus Grün ZERO an Gelb ZERO aus und HYDRO•S an 4.3.2.5 Bedeutung der Status-LED Die Status-LED befindet sich auf der Rückseite des Geräts innerhalb der Anschlussleiste für Zubehör und Steuersignale, siehe auch “Anschlüsse für Zubehör...
Seite 29 INFICON Beschreibung | 4 Vorherige Seite Messwert Berechtigung Leckrate Nächste Seite Navigationstaste WLAN Benutzername Max. Einstellungen Navigationstaste Leckrate Betrieb Supervisor Messwert Einlassdruck ZERO Schwellenwerte ZERO Umschaltung: Liniendiagramm Balkendiagramm ULTRA Kreisdiagramm ZERO Navigationstaste Kalibrieren Diagnose Lautstärke Navigationstaste HYDRO•S Informationen Messmodus Navigationstasten Die Tasten können in fünf unterschiedlichen Farben erscheinen:...
Seite 30: Vakuumanschlüsse
4 | Beschreibung INFICON Hilfe zur aktuellen Funktion aufrufen Eingabe oder Auswahl bestätigen Laden Speichern Bearbeiten Kopieren Löschen WLAN Seite vor Seite zurück Tab. 2: Funktionstasten Weitere Symbole Berechtigung “User“ Berechtigung “Operator“ Berechtigung “Supervisor“ Uhrzeit sichten oder Uhrzeit einstellen Siehe auch “Übersicht über Berechtigungsgruppen [} 54]“.
Seite 31: Auspuff
INFICON Beschreibung | 4 HINWEIS Falls Sie gegen Staub- oder Schmutzanfall am Einlass des Dichtheitsprüfgeräts einen Filter, beispielsweise einen Zentrierring mit Drahtgeflecht, einsetzen: ► Beachten Sie, dass es auf Filtern durch Kondensation von Wasserdampf zur Bildung von Eis kommen kann. Dies kann zu Sachschäden führen.
Seite 32: Belüftungsanschluss
4 | Beschreibung INFICON Gasversorgungsleitung (d.h. Stickstoff, Frischluft o.ä.) über den Anschluss Spülgas an. Der Druck in dieser Gasleitung darf den Atmosphärendruck um nicht mehr als 100 mbar überschreiten. 4.3.3.4 Belüftungsanschluss Normalerweise werden die Prüfkörper nach Abschluss der Prüfung mit Umgebungsluft belüftet.
Seite 33: Anschlüsse Für Zubehör Und Steuersignale
INFICON Beschreibung | 4 4.3.4 Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale SNIFFER Netzschalter ACCESSORIES Anschluss für Netzkabel Belüftungsanschluss REMOTE CONTROL Anschluss Spülgas SERVICE Abb. 6: Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale SNIFFER Zum Anschluss der Schnüffelleitung SL3000 ACCESSORIES Elektrischer Anschluss der Schnüffelleitung SL200 Anschluss für das Busmodul BM1000 oder das I/O-Modul IO1000, maximale*...
Seite 34: Kennzeichnungen Am Gerät
Bereich der Sicherheitskleinspannung. 4.3.5 Kennzeichnungen am Gerät Gerät darf nicht im Hausmüll entsorgt werden. 4.4 Technische Daten Mechanische Daten UL6000 Fab Abmessungen (L x B x H) 1050 mm × 472 mm × 1040 mm Masse 143 kg...
Seite 35: Physikalische Daten
INFICON Beschreibung | 4 UL6000 Fab Elektronische Schnittstellen USB, Ethernet, HDMI, SNIFFER, ACCESSORIES, LD, REMOTE CONTROL, SERVICE Physikalische Daten UL6000 Fab Kleinste nachweisbare Leckrate, < 5·10 mbar l/s Vakuumbetrieb Ansprechzeit, blindgeflanscht < 1 s Ansprechzeit, 50 l Volumen ~ 1,4 s...
Seite 36: Umgebungsbedingungen
4 | Beschreibung INFICON Umgebungsbedingungen UL6000 Fab Max. Höhe über Meeresspiegel 2000 m Maximale relative Luftfeuchtigkeit 80% bei 30°C, linear abnehmend bis 50% bei 40°C Lagertemperatur 0°C … +50°C Umgebungstemperatur **) +10°C … +40°C Verschmutzungsgrad ***) **) Messbedingung für 40°C Umgebungstemperatur: Messmodus ULTRA, Gaslast 35 sccm ***) Nach DIN EN 61010-1: Nur nicht leitfähige Verschmutzung.
Seite 37 INFICON Beschreibung | 4 Digital-Ausgang Pin 4 (IO1000) Setpoint 2 (invertiert) Digital-Ausgang Pin 5 (IO1000) Measuring Digital-Ausgang Pin 6 (IO1000) ZERO active Digital-Ausgang Pin 7 (IO1000) Ready for operation Digital-Ausgang Pin 8 (IO1000) Calibration active Digital-Eingang Pin 1 (IO1000) VENT...
Seite 38 4 | Beschreibung INFICON Druckeinheit (Anzeige) mbar Leckrateneinheit Vakuumbetrieb (Anzeige) mbar l/s Leckrateneinheit Schnüffelbetrieb (Anzeige) mbar l/s Schnüffelleitung LED Alarmkonfiguration Blinken (nur SL3000) Schnüffelleitung LED Helligkeit (nur SL3000) 5 Schnüffelleitung Summer (nur SL3000) Ton bei Schwellenwert 1 Betriebsart Vakuum Verstärkertest während Kalibrierung An (nur durch Service änderbar)
Seite 39 INFICON Beschreibung | 4 Untergrund in Standby anzeigen Untere Leckraten-Grenze anheben Minimale Lautstärke HYDRO•S Deaktiviert TMP2 Modus Automatisch Sanftes Belüften Deaktiviert Internes Prüfleck nach dem Hochlauf Deaktiviert messen Hinweis zum Abgasschlauch-Anschluss Aktiviert Eingestelltes Wartungsintervall Filter Schnüffelspitze 1000 h Luftfilter 2500 h...
Seite 40 4 | Beschreibung INFICON Name (SSID) UL3xxx Netzwerkschlüssel INFICONUL Aktivieren Methode 40 / 154 UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)
Seite 41: Installation
INFICON Installation | 5 5 Installation 5.1 Aufstellen GEFAHR Gefahr durch Stromschlag Wenn der Lecksucher bewegt wird und dadurch die Netzleitung gespannt wird, kann die beidseitig angeschlossene Netzleitung beschädigt oder die Wandsteckdose herausgerissen werden. In das Gerät eindringende Feuchtigkeit kann zu Personenschäden durch Stromschlag und zu Sachschäden durch Kurzschlüsse führen.
Seite 42 5 | Installation INFICON WARNUNG Feuergefahr durch Überlastung, Kurzschluss und Überhitzung ► Beachten Sie die zulässigen Umgebungsbedingungen. ► Sorgen Sie für ausreichende Belüftung insbesondere an den Lüftungsöffnungen: Freier Raum vorne, hinten und seitlich wenigstens 10 cm. ► Blockieren Sie den Lüftereinlass im Zubehörfach nicht.
Seite 43 INFICON Installation | 5 VORSICHT Quetschgefahr für Extremitäten Füße können überrollt und gequetscht werden. ► Halten Sie Füße von den Rollen fern. ► Ziehen Sie das Gerät nicht. ► Fassen Sie das Gerät nur am vorgesehenen Griff an und schieben Sie es.
Seite 44 5 | Installation INFICON Beachten Sie die Hinweise zum Transport des Geräts, siehe auch “Lieferumfang, Transport, Lagerung [} 15]“. Vorgehensweise • Um Messergebnisse nicht zu verfälschen, sehen Sie einen Standort mit möglichst gleichbleibender Raumtemperatur für das Gerät vor. • Für die einwandfreie Funktion von Rädern und Bremsen entfernen Sie die Klebstreifen von den Rädern.
Seite 45: Mitgeliefertes Zubehör Anschließen
INFICON Installation | 5 5.2 Mitgeliefertes Zubehör anschließen “Haken für Netzleitung und Schnüffelleitung“ montieren Lieferumfang (Anzahl): Haken (4x), Schrauben M6 x 12 (4x), Sicherungsscheiben S6 (4x) Werkzeug (mitgeliefert): Schlüssel T30 (Torx) • Um die Netzleitung und bei Bedarf auch eine Schnüffelleitung am Gerät fixieren zu können, montieren Sie die Haken wie abgebildet am Gerät.
Seite 46 5 | Installation INFICON Abb. 8: Haken am Gerät oder am optionalen Flaschenhalter 46 / 154 UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)
Seite 47: "Zugentlastung Netzleitung" Montieren
INFICON Installation | 5 “Zugentlastung Netzleitung“ montieren Lieferumfang (Anzahl): Zugentlastung (1x), Schraube M6 x 12 (1x), Sicherungsscheibe S6 (1x) Werkzeug (mitgeliefert): Schlüssel T30 (Torx) • Um Stolpergefahr zu vermeiden, montieren Sie die “Zugentlastung Netzleitung“ am Gerät. Dadurch wird die Netzleitung vom Gerät zum Boden geführt.
Seite 48: Auspuffschlauchadapter Am Gerät Montieren
5 | Installation INFICON Auspuffschlauchadapter am Gerät montieren • Um Gase über einen Auspuffschlauch DN25 auszuleiten, montieren Sie den Auspuffschlauchadapter KF-Flansch DN25 aus dem Lieferumfang in der Auspufföffnung auf der Rückseite des Geräts. Um den Auspuffschlauchadapter abzudichten, verwenden Sie Teflonband. Drehen Sie den Adapter im Uhrzeigersinn fest.
Seite 49: Halterung Für Schnüffelleitung Sl3000 Befestigen (Zubehör, Optional)
INFICON Installation | 5 5.3 Halterung für Schnüffelleitung SL3000 befestigen (Zubehör, optional) WARNUNG Verletzungsgefahr durch Schnüffelspitze Beim Stolpern, beispielsweise über Leitungen, kann die Schnüffelspitze insbesondere bei Augenkontakt schwere Verletzungen verursachen. ► Um Verletzungen durch die Schnüffelspitze auszuschließen, richten Sie die Schnüffelspitze in der Halterung so aus, dass Sie vom Bediener weg zeigt.
Seite 50: An Das Stromnetz Anschließen
5 | Installation INFICON 5.4 An das Stromnetz anschließen GEFAHR Gefahr durch Stromschlag Nicht fachgerecht geerdete oder abgesicherte Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Ein Einsatz des Geräts ohne angeschlossenen Schutzleiter ist nicht zulässig. ► Verwenden Sie ausschließlich das mitgelieferte 3-adrige Netzkabel.
Seite 51 INFICON Installation | 5 Prüfen Sie, ob der Einlass blindgeflanscht ist. Sollte dies nicht der Fall sein, flanschen Sie einen Blindflansch mit O-Ring-Dichtung am Einlass auf der Oberseite des Geräts an. Schließen Sie das Gerät an die Netzspannung an. Schalten Sie das Dichtheitsprüfgerät über den Netzschalter ein.
Seite 52 5 | Installation INFICON Drücken Sie die Taste STOP auf dem Gehäuse, bis die Meldung STANDBY / VENTED auf dem Display erscheint. ð Nun befindet sich der Einlass im belüfteten Zustand. Trennen Sie das Helium-Prüfleck vom Einlass und flanschen Sie den Einlass wieder blind.
Seite 53: Betrieb
INFICON Betrieb | 6 6 Betrieb 6.1 Einschalten HINWEIS Beschädigung der Vorpumpe durch kalte Umgebungstemperatur Bei einer Umgebungstemperatur unter 10 °C zeigt das Gerät nach dem Einschalten auf dem Display eine Warnung an. Es ist möglich, das Gerät durch Bestätigung dieser Meldung trotzdem in Betrieb zu nehmen.
Seite 54: Grundlegende Einstellungen
6 | Betrieb INFICON 6.2 Grundlegende Einstellungen 6.2.1 Sprache der Benutzeroberflächen einstellen Die Sprache stellen Sie in den Benutzereinstellungen ein, siehe “Benutzerprofil auswählen, bearbeiten, anlegen [} 55]“. 6.2.2 Datum, Uhrzeit und Zeitzone einstellen ü Supervisor-Rechte > Einrichten > Allgemein > Datum und Uhrzeit Stellen Sie ein.
Seite 55: Benutzerprofil Auswählen, Bearbeiten, Anlegen
INFICON Betrieb | 6 6.2.3.2 Benutzerprofil auswählen, bearbeiten, anlegen ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Benutzerkonten > Benutzerkonten verwalten ð Bereits angelegte Benutzer und zugeordnete Gruppen werden in Listenform angezeigt. Sie haben folgende Möglichkeiten: Um ein neues Benutzerprofil anzulegen, wählen Sie im unteren Bereich des Fensters.
Seite 56: Persönliche Einstellungen Ändern
6 | Betrieb INFICON Um dem Benutzer die benötigten Berechtigungen zuzuweisen, wählen Sie eine Gruppe aus. Über wählen Sie zwischen den Gruppen User, Operator und Supervisor. Siehe “Übersicht über Berechtigungsgruppen [} 54]“. Weisen Sie im Feld “Sprache“ dem Benutzer über eine Sprache zu.
Seite 57: Automatische Anmeldung Einschalten
INFICON Betrieb | 6 ð Nach einem Neustart des Geräts werden die aktuellen Einstellungen berücksichtigt. 6.2.5 Automatische Anmeldung einschalten Sie können festlegen, ob ein Nutzer Ihrer Wahl nach Einschalten des Geräts ohne das Anmeldefenster automatisch angemeldet wird. ü Supervisor-Rechte ü Der gewünschte Benutzer wurde bereits angelegt. Siehe “Benutzerprofil auswählen, bearbeiten, anlegen [} 55]“.
Seite 58: Darstellung Des Liniendiagramms Ändern
6 | Betrieb INFICON 6.2.6.1 Darstellung des Liniendiagramms ändern Supervisor ULTRA Abb. 10: Darstellung als Liniendiagramm ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Anzeige > Liniendiagramm Wählen Sie im Feld “Skalierung“ zwischen “Linear“ und “Logarithmisch“. Wählen Sie zwischen den darstellbaren “Dekaden“. Um die obere und untere Grenze an die Leckrate dynamisch anzupassen, aktivieren Sie die Option “Auto-Skalierung“.
Seite 59: Darstellung Des Balkendiagramms Ändern
INFICON Betrieb | 6 6.2.6.2 Darstellung des Balkendiagramms ändern Abb. 11: Darstellung als Balkendiagramm ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Anzeige > Balkendiagramm Wählen Sie im Feld “Skalierung“ zwischen “Linear“ und “Logarithmisch“. Wählen Sie zwischen den darstellbaren “Dekaden“. Um die obere und untere Grenze an die Leckrate dynamisch anzupassen, aktivieren Sie die Option “Auto-Skalierung“.
Seite 60: Darstellung Des Kreisdiagramms Ändern
6 | Betrieb INFICON 6.2.6.3 Darstellung des Kreisdiagramms ändern Abb. 12: Darstellung als Kreisdiagramm ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Anzeige > Kreisdiagramm Falls Sie die Anzahl der dargestellten Dekaden im Kreisdiagramm fest einstellen möchten, wählen Sie unter “Dekaden“ die Anzahl der dargestellten Dekaden.
Seite 61: Einheiten Ändern
INFICON Betrieb | 6 ð Der interne Untergrund wird von Restgas erzeugt, welches noch nicht abgepumpt wurde. Sehr saubere Systeme weisen einen Untergrund im Bereich von 1x10 mbar l/s auf. Unter normalen Bedingungen besteht ein Untergrund von 1x10 mbar l/s oder 1x10 mbar l/s.
Seite 62 6 | Betrieb INFICON VORSICHT Schädigung des Gehörs durch laute Töne Der Alarmpegel des Geräts kann 85dB(A) überschreiten. ► Stellen Sie eine Lautstärke bis maximal “5“ ein. ► Verwenden Sie bei eingestellten Lautstärken über “5“ einen geeigneten Gehörschutz. ü Operator- oder Supervisor-Rechte >...
Seite 63: Schutzeinstellungen Ändern
INFICON Betrieb | 6 Falls Sie bei einigen Anwendungen den Alarm für einige Zeit nach der Betätigung der Taste START unterdrücken wollen, stellen Sie die “Audioalarm Verzögerung“ ein. Beispiel: Zeitraum während des Abpumpens eines Prüfkammersystems. ð Nach Betätigung der Taste START wird das akustische Signal aktiviert, sobald die Leckrate unter Schwellenwert 1 fällt oder die...
Seite 64: Wartungsintervall "Filter Schnüffelspitze" Oder "Luftfilter" Einstellen
6 | Betrieb INFICON ð Durch diese Einstellung wird festgelegt, wann eine Grobleck-Warnmeldung erfolgen soll. Die Werkseinstellung beträgt 600 s. Falls der Einlassdruck p1 innerhalb dieser Zeitspanne nicht unter 100 mbar sinkt, erfolgt eine Fehlermeldung. Dieser Menüpunkt ist insbesondere bei Serienprüfungen mit immer gleichen Prüfbedingungen hilfreich.
Seite 65: Wartungsaufforderungen Ein- Oder Ausschalten
INFICON Betrieb | 6 ð Tragen Sie für den “Filter Schnüffelspitze“ einen Wert Ihrer Wahl in Stunden ein oder drücken Sie auf die nebenstehende Taste “Standardwert“ (1000 Stunden). ð Tragen Sie für den “Luftfilter“ einen Wert Ihrer Wahl in Stunden ein oder drücken Sie auf die nebenstehende Taste “Standardwert“...
Seite 66: Bedienmöglichkeiten Erweitern Oder Einschränken
6 | Betrieb INFICON • Die Betriebsart wurde über die Gerätebedienung geändert und in der neuen Betriebsart wurde innerhalb der letzten 24 Stunden noch nicht kalibriert. Wenn die Option „Kalibrieraufforderung“ aktiviert ist, erhalten sie weitere Kalibrieraufforderungen in folgenden Fällen: • Die Laufzeit des Geräts ist größer als 30 Minuten und die Temperaturabweichung gegenüber letzter Kalibrierung ist größer als 5 Kelvin.
Seite 67: Internes Prüfleck Nach Dem Hochlauf Messen
INFICON Betrieb | 6 6.2.14 Internes Prüfleck nach dem Hochlauf messen Nach Aktivierung dieser Option wird nach dem Hochlauf automatisch die Funktion “Internes Prüfleck nach dem Hochlauf messen“ ausgeführt. Damit kann überprüft werden, dass das Dichtheitsprüfgerät korrekt funktioniert. Die Funktion ist nur in der Betriebsart Vakuum mit Prüfgas Helium (Masse 4) verfügbar.
Seite 68: Benachrichtigungen Ein- Oder Ausschalten
6 | Betrieb INFICON ð Dadurch wird das Fenster “Verwalten“ geöffnet, indem Sie auf den gewünschten Eintrag tippen. ð Es werden das Icon und das Icon zum Löschen eingeblendet. Nach Drücken des Icons wird die Listenübersicht mit den Menünamen eingeblendet, aus der Sie Ihre Wahl treffen und über abspeichern.
Seite 69: Einstellungen Für Die Messungen
INFICON Betrieb | 6 6.3 Einstellungen für die Messungen 6.3.1 Betriebsart wählen ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Betriebsart Wählen Sie zwischen “Vakuum“, “Schnüffeln / SL200“ und “Schnüffeln / SL3000“. Speichern Sie 6.3.2 Gas wählen GEFAHR Gefahr einer Wasserstoffexplosion Wasserstoff kann in Kombination mit Sauerstoff explodieren. Für die zulässige Zusammensetzung von käuflichen Gasgemischen verweisen wir auf die...
Seite 70: Vakuumbereiche Aktivieren
6 | Betrieb INFICON ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Schwellenwerte Stellen Sie ein. Speichern Sie 6.3.4 Vakuumbereiche aktivieren Vakuumbereiche Sie können die Vakuumbereiche MASSIVE, GROSS, FINE und ULTRA für Ihre Messungen aktivieren. Alle 4 Bereiche können gleichzeitig aktiviert sein. Falls mehrere Bereiche aktiviert sind, schalten sie abhängig vom Einlassdruck p1 automatisch um.
Seite 71: Hydro•S Benutzen
INFICON Betrieb | 6 ü Supervisor-Rechte > Einrichten > Messung > HYDRO•S Treffen Sie Ihre Wahl zwischen: “Deaktiviert“ (Werkseinstellung), falls Sie HYDRO•S nicht verwenden und auch auf manuelle Schaltbarkeit verzichten wollen. “Manuell“, falls Sie HYDRO•S durch Druck auf auf dem Messbildschirm ein- oder ausschalten wollen.
Seite 72: Maschinenfaktor Einstellen
6 | Betrieb INFICON 6.3.7 Maschinenfaktor einstellen Falls Sie in der Betriebsart “Vakuum“ messen und ein externes Pumpsystem parallel verwenden, wären die gemessenen Leckraten im Vergleich mit den Leckraten auf Basis einer internen Kalibrierung zu klein. Falls Sie dies ausgleichen möchten, können Sie die gemessenen Leckraten mit dem passenden Maschinenfaktor multiplizieren und die Ergebnisse anzeigen lassen.
Seite 73: Funktion Zero Einstellen Und Verwenden
INFICON Betrieb | 6 Die Druckgrenzen beziehen sich auf den Drucksensor “p1“, den Einlassdruck der Turbomolekularpumpe 1. Siehe auch “Vakuumdiagramm sichten [} 94]“. Mit dieser Funktion können die werksseitig eingestellten Umschaltpunkte zwischen den Vakuumbereichen MASSIVE, GROSS, FINE und ULTRA verändert werden. Dies kann erforderlich sein, wenn mit dem Gerät andere Gase als Luft, wie zum Beispiel...
Seite 74 6 | Betrieb INFICON • Sie können ZERO auch benutzen, um eine aktuell angezeigte Leckage auszublenden, die Sie bei der weiteren Suche nach anderen, ggf. kleineren Leckagen, stört. Ein aktuell dargestelltes Leck wird durch ZERO ausgeblendet. Durch das Ausführen der Funktion ZERO wird nicht nur das Untergrundsignal ausgeblendet, sondern auch die Darstellung eines aktuellen Lecks.
Seite 75: Belüften, Spülen, Regenerieren
INFICON Betrieb | 6 Betriebsart “Vakuum“, Wenn Sie die Taste ZERO drücken, wird der aktuell angezeigte Leckratenwert auf die “HYDRO•S“ untere Anzeigegrenze gesetzt. eingeschaltet, Hinweis: Die Taste ZERO sollte nicht bei stark fallendem Untergrund gedrückt Einstellung “I•ZERO werden, da sonst ein im Vergleich zur Untergrundänderung kleines Leckratensignal 2.0“...
Seite 76: Leckratenfilter Ändern
6 | Betrieb INFICON WARNUNG Erstickungsgefahr durch Stickstoff oder Argon als Spülgas Die Verwendung von Stickstoff oder Argon als Spülgas kann bei hohen Konzentrationen in der Raumluft zum Ersticken führen. ► Treffen Sie Vorkehrungen, um hohe Konzentrationen dieser Gase in geschlossenen Räumen zu vermeiden.
Seite 77: Untergrundunterdrückung Ändern
INFICON Betrieb | 6 Die Abkürzung I•CAL steht für Intelligent “Calculation Algorithm for Leakrates“. Dieser stellt sicher, dass die Signale in optimierten Zeitintervallen gemittelt werden, und zwar basierend auf dem jeweiligen Leckratenbereich. I•CAL eliminiert zudem Störungsspitzen, welche in keinem Zusammenhang mit den Leckratensignalen stehen und liefert ungewöhnlich kurze Reaktionszeiten auch bei geringen Leckratensignalen.
Seite 78: Untergrund Des Einlassbereichs Bestimmen
6 | Betrieb INFICON Untergrundanzeige in Standby sichtbar zu machen, aktivieren Sie die entsprechende Funktion, siehe “Allgemeine Anzeige-Einstellungen ändern [} 60]“. ð Einlassbereich Zusätzlich zur Subtraktion des internen Untergrunds wird bei jeder Messung durch Drücken von START auch der Untergrund des Einlassbereichs abgezogen.
Seite 79: Sl3000-Einstellungen Für Ton/Licht Ändern
INFICON Betrieb | 6 6.3.14 SL3000-Einstellungen für Ton/Licht ändern Sie können einstellen, wie Sie zusätzlich zur Anzeige auf dem Touchscreen über Messergebnisse informiert werden. Die Einstellungen sind bei Schwellenwert 1 wirksam. ü Operator- oder Supervisor-Rechte > Einrichten > Messung > Schnüffeln > SL3000 Schnüffelleitung Wählen Sie die “Schnüffelleitung LED Alarmkonfiguration“.
Seite 80: Kalibrieren
6 | Betrieb INFICON 6.3.16 Kalibrieren Um Leckraten korrekt messen zu können, muss das Dichtheitsprüfgerät in regelmäßigen Abständen durch eine Kalibrierung genau eingestellt werden. Dabei erfolgt eine automatische Abstimmung des Massenspektrometers. Sie können die Kalibrierung anhand des geräteinternen Prüflecks durchführen oder ein externes Prüfleck verwenden.
Seite 81: Kalibrierung Überprüfen
INFICON Betrieb | 6 Drücken Sie auf Folgen Sie den Anweisungen auf dem Bildschirm. 6.3.16.3 Kalibrierung überprüfen Sie können die Kalibrierung auch ohne Änderung des Kalibrierfaktors überprüfen. So erfahren Sie, ob eine erneute Kalibrierung nötig ist. ü User-Rechte ü Das Gerät befindet sich im Zustand “Standby“ oder “Messen“.
Seite 82: Messen
6 | Betrieb INFICON 6.4 Messen ü Der Einlassflansch auf der Oberseite des Geräts ist für die anstehende Messung vorbereitet. Dort ist in der Regel Ihr Prüfkörper oder die Schnüffelleitung SL200 angeschlossen. ü Alternativ ist die Schnüffelleitung SL3000 ist auf der Rückseite des Geräts angeschlossen (optional).
Seite 83: Helium-Umgebungskonzentration Messen
INFICON Betrieb | 6 6.5 Helium-Umgebungskonzentration messen Der natürliche Anteil von Helium in der Umgebungsluft beträgt ca. 5,2 ppm. Sie können die Umgebungsluft auf einen erhöhten Helium-Anteil (Helium- Verseuchung) untersuchen, um den geeigneten Zeitpunkt für weitere Messungen festzulegen. ü Die Betriebsart “Vakuum“ ist eingestellt.
Seite 84: Messzyklen Anzeigen
6 | Betrieb INFICON Um nach dem Start einer Messung sofort aufzuzeichnen, aktivieren Sie die Option “Aktiv“. Hinweis: Die Datenaufzeichnung erfolgt während der Messungen, d.h. während der Messbildschirm angezeigt wird. Siehe auch “Messzyklen anzeigen [} 84]“. ð Standardmäßig ist diese Option deaktiviert. Um ohne Aktivierung dieser Option eine Aufzeichnung zu starten oder zu stoppen, drücken Sie im...
Seite 85: Messdaten Über Netzwerk Exportieren
INFICON Betrieb | 6 Um Text in den Feldern “Freitext 1“ (Free text 1) und “Freitext 2“ (Free text 2) zu bearbeiten, drücken Sie auf ð Alternativ können Sie “Freitext 1“ und “Freitext 2“ auch vom Fenster “Messzyklen“ aus bearbeiten. Markieren Sie dazu einen Eintrag durch Antippen und drücken Sie auf...
Seite 86 6 | Betrieb INFICON ð Alternativ tragen Sie Ihre Anfrage mit den gewünschten Parametern als URL in Ihren Browser ein. Bei dieser Vorgehensweise stellen Sie nicht nur den gewünschten Zeitraum ein (einen Block von maximal 24 Stunden), sondern Sie können auch Dateiformat und Datenumfang (mit oder ohne Metadaten) wählen.
Seite 87: Messdaten-Datenbank: Informationen
INFICON Betrieb | 6 6.6.4 Messdaten-Datenbank: Informationen Die Maximalgröße der Datenbank entspricht etwa der Anzahl von Messwerten, die bei ständiger Aufzeichnung über den Zeitraum eines Monats erzeugt werden. Dies entspricht einer Datenbankgröße von ca. 1,5 GB. Wenn Speicher für die Aufzeichnung benötigt wird und die maximale Datenbankgröße (in Messwerten) überschritten ist, werden die ältesten Aufzeichnungen automatisch so...
Seite 88: Informationen Zu Angeschlossenem Zubehör Aufrufen
6 | Betrieb INFICON 6.7.3 Informationen zu angeschlossenem Zubehör aufrufen ► > Zubehör > I/O-Modul ð Falls ein I/O-Modul angeschlossen ist, finden Sie dazu Einzelheiten. ► > Zubehör > Bus-Modul ð Falls ein Bus-Modul angeschlossen ist, finden Sie dazu Einzelheiten.
Seite 89: Informationen Zu Hydro•S Aufrufen
INFICON Betrieb | 6 ► > Energie > Spannung (1) ð In diesem Fenster wird der erste Teil der Informationen zur Spannung angezeigt. ► > Energie > Spannung (2) ð In diesem Fenster wird der zweite Teil der Informationen zur Spannung angezeigt.
Seite 90: Wartungsprotokoll Aufrufen
6 | Betrieb INFICON Falls mehr als 50 Einträge anfallen, werden die jeweils ältesten Einträge überschrieben. ► > Protokolle > Ergebnisprotokoll 6.8.4 Wartungsprotokoll aufrufen ► > Protokolle > Wartungen Falls mehr als 20 Einträge anfallen, werden die jeweils ältesten Einträge überschrieben.
Seite 91: Parametersätze Exportieren Oder Importieren
INFICON Betrieb | 6 Um einen neuen Parametersatz anzulegen, drücken Sie auf ð Im folgenden Fenster können Sie eine Beschreibung Ihrer Wahl eintragen. Der Präfix “parameter set“ und das Speicherdatum werden standardmäßig für den Dateinamen verwendet. Speichern Sie über . Sie können maximal 10 Parametersätze abspeichern.
Seite 92: Software Aktualisieren
6 | Betrieb INFICON Um alle Parametersätze auf einen USB-Stick (FAT32 formatiert) zu exportieren, drücken Sie unterhalb der Liste auf Um alle Parametersätze von einem USB-Stick ins Gerät zu importieren, drücken Sie unterhalb der Liste auf ð Durch das Importieren werden alle Parametersatz-Dateien auf dem USB- Stick auf das Gerät kopiert, sofern dort die Zahl 10 nicht überschritten wird.
Seite 93: Software Des Grundgeräts Aktualisieren
INFICON Betrieb | 6 6.10.2 Software des Grundgeräts aktualisieren Sie spielen Softwareaktualisierungen mit Hilfe eines USB-Speichersticks ein. HINWEIS Datenverlust durch Verbindungsabbruch ► Schalten Sie das Gerät nicht aus und entfernen Sie nicht den USB-Speicherstick, während die Software aktualisiert wird. ü...
Seite 94: Externen Monitor Verwenden
6 | Betrieb INFICON 6.11 Externen Monitor verwenden Sie haben die Möglichkeit, statt des internen Monitors einen externen Touch-Monitor zu verwenden. Es wird entweder der interne oder der externe Monitor genutzt. ü Sie verfügen über ein Bedienteil mit HDMI-Schnittstelle, zur Abbildung siehe “Bedieneinheit [} 24]“.
Seite 95: Auf Werkseinstellungen Zurücksetzen
INFICON Betrieb | 6 Abb. 13: Die wichtigsten Komponenten des Vakuumdiagramms in UL6000-Geräten 1 Turbomolekularpumpe 2 6 Massenspektrometer (Booster-TMP) 2 Einlassflansch 7 Turbomolekularpumpe 1 3 p1 … p4: Druckmessstellen 8 Druckmessstelle zur Flussüberwachung 4 Internes Prüfleck 9 Schnüffelleitung 5 V2a, V2b … V15:...
Seite 96: Vom Gerät Abmelden
6 | Betrieb INFICON ð Wenn Sie alle aufgezeichneten Messdaten und Benutzerkonten löschen wollen, drücken Sie die Schaltfläche “Daten löschen“. ð Um das Gerät in den Auslieferungszustand zu versetzen, drücken Sie nacheinander beide Schaltflächen. 6.14 Vom Gerät abmelden Drücken Sie auf Ihren Namen, der links oben im Display eingeblendet wird oder wählen Sie...
Seite 97: Warn- Und Fehlermeldungen
INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 7 Warn- und Fehlermeldungen Während des Betriebs zeigt die Anzeige Informationen an, die Sie bei der Bedienung des Geräts unterstützen. Neben Messwerten werden aktuelle Gerätezustände, Bedienungshinweise sowie Warnungen und Fehlermeldungen angezeigt. Das Gerät ist mit umfangreichen Selbstdiagnosefunktionen ausgestattet. Wenn von der Elektronik ein fehlerhafter Zustand erkannt wird, zeigt das Gerät dies so weit wie...
Seite 98: Warn- Und Fehlermeldungen Ul3000/Ul6000
7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON 7.1 Warn- und Fehlermeldungen UL3000/UL6000 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W102 Zeitüberschreitung bei Das EEPROM auf dem • Wenden Sie sich an den Kundendienst Kommunikation mit VI-Board ist defekt oder EEPROM auf VI-Board nicht vorhanden...
Seite 99 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W110 Echtzeituhr wurde Die Echtzeituhr wurde • Geben Sie das korrekte Datum und die zurückgesetzt! Bitte Datum nicht gestellt korrekte Uhrzeit ein und Uhrzeit eingeben • Prüfen Sie, dass die Meldung beim erneuten Einschalten nicht mehr auftritt Jumper für Akku auf...
Seite 100 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W125 I/O-Modul nicht mehr Verbindung zum I/O- • Prüfen Sie die Verbindung zum I/O-Modul angeschlossen Modul unterbrochen • Tauschen Sie das Verbindungskabel zum I/O-Modul I/O-Modul defekt • Ersetzen Sie das I/O-Modul Anschluss für das I/O-...
Seite 101 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W153 Gerätebedienungs-Software Es existiert eine • Wenden Sie sich an den Kundendienst, ist veraltet aktuellere um eine aktuelle Gerätebedienungs- Gerätebedienungs- Software zu erhalten Software. Für einen störungsfreien Betrieb ist es empfehlenswert, die Gerätebedienungs-...
Seite 102 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W210 24V DIV2 Kurzschluss oder • Wenden Sie sich an den Kundendienst Versorgungsspannung Überlast in der 24V außerhalb des Bereichs DIV2 Versorgung W211 5V interne Kurzschluss oder • Wenden Sie sich an den Kundendienst Versorgungsspannung Überlast in der internen...
Seite 103 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W223 Interne Spannung Kurzschluss oder • Wenden Sie sich an den Kundendienst 24V_TMP1 außerhalb des Überlast in der Bereichs 24V_TMP1 Versorgung W224 Interne Spannung Kurzschluss oder • Wenden Sie sich an den Kundendienst 24V_PRESSURE (Pirani) Überlastung in der...
Seite 104 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W300 Anodenspannung zu niedrig Kurzschluss der • Wenden Sie sich an den Kundendienst Anodenspannung VI-Board oder MSB • Wenden Sie sich an den Kundendienst defekt W301 Anodenspannung zu hoch MSB defekt •...
Seite 105 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung E312 Kathoden gebrochen Beide Kathoden defekt • Wenden Sie sich an den Kundendienst Verbindung zur • Wenden Sie sich an den Kundendienst Kathode unterbrochen VI-Board oder MSB • Wenden Sie sich an den Kundendienst...
Seite 106 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung E400 TMP Fehlermeldung Unbehandelte • Wenden Sie sich an den Kundendienst Fehlermeldung von der W401 TMP Warnungsmeldung Unbehandelte • Wenden Sie sich an den Kundendienst Warnmeldung von der E402 Keine Kommunikation mit TMP-Kabel defekt oder •...
Seite 107 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung E422 Kein Hochlauf der TMP Einlassdruck während • Prüfen Sie, ob die Vorvakuumpumpe des Hochlaufs zu hoch während des Hochlaufs arbeitet • Prüfen Sie, ob der Druck während des Hochlaufs sinkt •...
Seite 108 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung E453 Fehler der Unbehandelte • Wenden Sie sich an den Kundendienst Vorvakuumpumpe Fehlermeldung von der Vorvakuumpumpe E454 Fehler der Die Vorvakuumpumpe • Stellen sie sicher, dass Sie das Vorvakuumpumpe: im Dichtheitsprüfgerät...
Seite 109 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W459 Hochlauf der Abgas-Anschluss • Stellen Sie sicher dass der Vorvakuumpumpe dauert zu verschlossen Abgasschlauch korrekt angeschlossen ist lange Vorvakuumpumpe • Wenden Sie sich an den Kundendienst defekt W460 Keine Kommunikation mit TMP2-Kabel defekt •...
Seite 110 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung E467 Überlastschutz der Abgas-Anschluss • Stellen Sie sicher dass der Vorvakuumpumpe verschlossen Abgasschlauch korrekt angeschlossen ist Vorvakuumpumpe • Wenden Sie sich an den Kundendienst defekt W468 Unbehandelte Warnmeldung Unbehandelte • Wenden Sie sich an den Kundendienst...
Seite 111 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W540 Fluss durch Kapillare zu Filter ist verschmutzt • Ersetzen Sie den Filter in der klein! Lecks können u.U. Schnüffelspitze nicht detektiert werden Schnüffelspitze oder • Entfernen Sie die Blockierung der Kapillare blockiert Schnüffelspitze...
Seite 112 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W580 Maximale Evakuierungszeit Grobleck am Prüfling • Prüfen Sie die Dichtheit der Verbindung bis 100 mbar wurde oder am Anschluss an zwischen dem Lecksuchgerät und dem überschritten das Prüfobjekt Prüfobjekt •...
Seite 113 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W630 Kalibrieraufforderung Die Betriebsart oder die • Führen Sie eine Kalibrierung durch Masse hat sich geändert HYDRO•S wurde • Führen Sie eine Kalibrierung durch eingeschaltet (falls Funktion verfügbar) Auto Leak Test ist aktiv •...
Seite 114 7 | Warn- und Fehlermeldungen INFICON Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W702 Vorverstärker-Temperatur • Reduzieren Sie die Temperatur in der ist zu hoch Umgebungstemperatur Umgebung, in der das Gerät steht ist zu hoch Luftfilter verschmutzt • Reinigen Sie die Lüftungsschlitze oder ersetzen Sie die Filterplatten Lüfter blockiert oder...
Seite 115 INFICON Warn- und Fehlermeldungen | 7 Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung W925 Wartung: Luftfilter Wartungsintervall für • Wenden Sie sich an den Kundendienst den Luftfilter überschritten UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109) 115 / 154...
Seite 116: Reinigung Und Wartung
8 | Reinigung und Wartung INFICON 8 Reinigung und Wartung Alle hier beschriebenen Reinigungs- und Wartungsarbeiten dürfen nur ohne das Öffnen des Geräts durchgeführt werden! GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Im Inneren des Geräts liegen hohe Spannungen an. Beim Berühren von Teilen, an denen elektrische Spannung anliegt, besteht Lebensgefahr.
Seite 117: Filtermatte Auf Geräteunterseite Wechseln
INFICON Reinigung und Wartung | 8 Nehmen Sie den gebrauchten Luftfilter aus dem Kunststoffgitter und setzen Sie einen neuen ein. Setzen Sie das Kunststoffgitter mit dem neuen Luftfilter wieder ein. 8.3 Filtermatte auf Geräteunterseite wechseln Filtermatte Geräteunterseite Benötigtes Werkzeug Schraubendreher Kontrollieren Sie die Filtermatte in regelmäßigen Abständen und wechseln Sie sie bei...
Seite 118: Filter Der Schnüffelleitung Sl200 Wechseln
8 | Reinigung und Wartung INFICON Lösen Sie die Schrauben, die die Filtermatte auf dem Blech fixieren. Ersetzen Sie die Filtermatte. Schrauben Sie neue Filtermatte fest, setzen das Blech wieder ein und drehen die Rändelschraube fest. 8.4 Filter der Schnüffelleitung SL200 wechseln Aufbau der Schnüffelspitze...
Seite 119 INFICON Reinigung und Wartung | 8 3 Kapillarfilter (Metall mit Dichtung; 6 Dichtung Option) Eine Verstopfung der Schnüffelspitze kann folgende Ursachen haben: Kapillarfilter verstopft -> Filzscheiben oder Kapillarfilter ersetzen Sinterfilter verstopft -> Sinterfilter prüfen oder ersetzen Kapillare in Schnüffelspitze verstopft -> Schnüffelspitze ersetzen Schnüffelspitze beschädigt ->...
Seite 120: Filter Der Schnüffelleitung Sl3000 Wechseln
8 | Reinigung und Wartung INFICON Falls bei Ihnen die Anzeige von Wartungsaufforderungen eingeschaltet ist, stellen Sie das Wartungsintervall auf den gewünschten neuen Zeitraum ein. Siehe auch “Wartungsaufforderungen ein- oder ausschalten [} 65]“ und “Wartungsintervall "Filter Schnüffelspitze" oder "Luftfilter" einstellen [} 64]“.
Seite 121 INFICON Reinigung und Wartung | 8 Abb. 17: Filtereinsätze aus dem Kapillarfilter drücken Entsorgen Sie die alten Einsätze und reinigen Sie das Metallgitter. Schieben Sie das Metallgitter und danach zwei neue Einsätze von vorne in den Filter. Achten Sie darauf, dass Gitter und Einsätze nicht verkanten.
Seite 122: Screenshots Erstellen
Wartungsarbeiten im Innern des Geräts sollten nur durch den Hersteller durchgeführt werden. Wir empfehlen, das Gerät alle 4000 Stunden oder jährlich warten zu lassen. Sie können Ihr Gerät zu INFICON einsenden, um es warten oder reparieren zu lassen. Zu weiteren Einzelheiten siehe “Gerät einsenden [} 125]“.
Seite 123: Wartungsplan
Legende zum • I Kunde oder Höhere Stufe Wartungsplan • II Kunde mit Einweisung oder Höhere Stufe • III INFICON Servicetechniker • X Wartungsarbeiten nach Betriebsstunden oder Zeitdauer • X Wartung nach Betriebsstunden, nicht nach Zeitdauer • X Wartung nach Zeitdauer, nicht nach Betriebsstunden •...
Seite 124 8 | Reinigung und Wartung INFICON Zur Vorvakuumpumpe Kashiyama NeoDry Beim Pumpen von sauberen Gasen wie trockener Luft und Edelgasen beträgt der empfohlene Zeitplan für eine vorbeugende Wartung 3 Jahre. Beim Pumpen von kondensierbaren Gasen wie Wasserdampf und gasgemischten Lösungsmitteln sowie aggressiven oder ätzenden Gasen kann es erforderlich werden, das Wartungsintervall auf ein Jahr zu verkürzen.
Seite 125: Außerbetriebnahme
INFICON Außerbetriebnahme | 9 9 Außerbetriebnahme 9.1 Gerät entsorgen Das Gerät kann vom Betreiber entsorgt oder zum Hersteller gesendet werden. Das Gerät besteht aus Materialien, die wiederverwendet werden können. Um Abfall zu vermeiden und die Umwelt zu schonen, sollten Sie von dieser Möglichkeit Gebrauch machen.
Seite 126 9 | Außerbetriebnahme INFICON 126 / 154 UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)
Seite 127: Zubehör Und Schnittstellen
INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 10 Zubehör und Schnittstellen 10.1 Zubehör und Ersatzteile Die nachfolgend aufgeführten Teile können zusätzlich bestellt werden: Bus-Modul BM1000 PROFIBUS 560-315 BM1000 PROFINET IO 560-316 BM1000 DeviceNet 560-317 BM1000 EtherNet/IP 560-318 I/O-Modul IO1000 Modul 560-310...
Seite 128 10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Schnüffelspitze, starr, 500 mm, 45°(ST 500) 12272 Weiteres Zubehör für die SL3000 Filterfilze Standardfilter SL3xx, 50St. 200001116 Kapillarfilter in Metallausführung(1 Stck.) 12217 Standard-Filter zu SL 300, Satz 5 St.(Kapillarfilter Kunststoff) 20003501 Internes Filter zu SL3xx, Satz 5 St.(Sinter-Filter mit O-Ring) 20003500 Wasserschutzspitze (1 Stck.)
Seite 129 INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 Die Einbauanleitung wird als separates Dokument mit dem Flaschenhalter ausgeliefert. Fernbedienung RC1000C und RC1000WL Mit der Fernbedienung RC1000C bedienen Sie das Dichtheitsprüfgerät über ein Kabel mit einer Länge von bis zu 28 m. Mit der drahtlosen Fernbedienung RC1000WL bedienen Sie das Dichtheitsprüfgerät aus einer Entfernung von bis zu 100 m.
Seite 130: Drahtlose Fernbedienung Vom Dichtheitsprüfgerät Aus Suchen
10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Abb. 20: Befestigung des Transmitters mit Klettband an einer freien Stelle Drahtlose Fernbedienung vom Dichtheitsprüfgerät aus suchen Falls Sie die drahtlose Fernbedienung RC1000WL verlegt haben, können Sie vom Dichtheitsprüfgerät aus akustische Signale dieser Fernbedienung auslösen.
Seite 131: I/O-Modul
10.2 I/O-Modul 10.2.1 Verbindung zwischen Gerät und I/O-Modul herstellen ü Supervisor-Rechte Schließen Sie das INFICON I/O-Modul über ein Datenkabel an der LD-Buchse auf der Rückseite des Geräts an, siehe “Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 33]“. > Einrichten > Zubehör > Geräteauswahl Wählen Sie “IO-Modul“.
Seite 132 10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Druck p1 / Druck p2 1 ... 10 V; 0,5 V / Dekade; logarithmisch 1 V = 1 x 10 mbar Leckrate Mantisse 1 ... 10 V; linear; in Nur sinnvoll, wenn der andere Analog-Ausgang mit gewählter Einheit...
Seite 133: Digitale Eingänge Konfigurieren
INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 Leckrate log. 0 ... 10 V; logarithmisch; Die obere Grenze (= 10 V) und die Skalierung (V / Dekaden) werden über die Parameter “Oberes Limit in gewählter Einheit Exponent“ und “Analog-Ausgang Skalierung “ eingestellt.
Seite 134: Digitale Ausgänge Konfigurieren
10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Wählen Sie die gewünschte Funktion, siehe unten die tabellarische Übersicht. Wählen Sie den gewünschten Modus. ð Es stehen der Modus “Standard“ oder der Modus “Invers“ zur Auswahl. Zum Modus “Invers“: In der folgenden tabellarischen Übersicht müsste in der Spalte “Übergang“...
Seite 135 INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 ð Es stehen der Modus “Standard“ oder der Modus “Invers“ zur Auswahl. Zum Modus “Invers“: In der tabellarischen Übersicht müsste die Beschreibung des Zustands “geöffnet“ mit der Beschreibung des Zustands “geschlossen“ getauscht werden. Speichern Sie...
Seite 136 10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Funktion Zustand: Beschreibung geöffnet: Standby oder Emission ausgeschaltet (ZERO ist nicht möglich, alle Schwellenwert- Ausgänge geben „Leckratenschwellwert überschritten“ zurück.) Open geöffnet: immer geöffnet Sniff geschlossen: Betriebsart Schnüffeln aktiv geöffnet: Betriebsart Vakuum aktiv Setpoint 1 geschlossen: Gemessene Leckrate überschreitet...
Seite 137: I/O-Modul-Protokoll Einrichten
INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 10.2.5 I/O-Modul-Protokoll einrichten Zum Umschalten zwischen ASCII und LD-Protokoll. ü Supervisor-Rechte > Einrichten > Zubehör > I/O-Modul > I/O-Modul Protokoll Stellen Sie ein. Speichern Sie UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109) 137 / 154...
Seite 138: Bus-Modul
Um die Verbindung zwischen Dichtheitsprüfgerät und Bus-Modul herzustellen, gehen Sie folgendermaßen vor: Schalten Sie das Dichtheitsprüfgerät aus. Schließen Sie das INFICON Bus-Modul über ein Datenkabel an der LD-Buchse des Geräts an, siehe "Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale [} 33]". Schalten Sie das Dichtheitsprüfgerät ein.
Seite 139: Netzwerk
INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 10.4 Netzwerk 10.4.1 Dichtheitsprüfgerät über Webbrowser bedienen (LAN) HINWEIS Betriebssystem kann über USB oder Ethernet angegriffen werden Das im Lecksucher verwendete Linux-Betriebssystem wird nicht automatisch aktualisiert und kann deshalb Sicherheitslücken enthalten. Über die Ethernet- und die USB-Schnittstellen des Lecksuchers können diese Sicherheitslücken möglicherweise...
Seite 140: Lan-Anbindung Im Pc Oder Tablet Einstellen
10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON 10.4.1.2 LAN-Anbindung im PC oder Tablet einstellen LAN-Anbindung - Schnellstart Falls Sie die hier vorgestellten Arbeitsschritte einmal durchgeführt haben, reicht im Wiederholungsfall bei vielen Geräten die Eingabe der IP-Adresse. ü Der PC ist mit dem gleichen Netzwerk verbunden wie das Lecksuchgerät.
Seite 141: Dichtheitsprüfgerät Über Webbrowser Bedienen (Wlan)
INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 10.4.2 Dichtheitsprüfgerät über Webbrowser bedienen (WLAN) HINWEIS Betriebssystem kann über USB oder Ethernet angegriffen werden Das im Lecksucher verwendete Linux-Betriebssystem wird nicht automatisch aktualisiert und kann deshalb Sicherheitslücken enthalten. Über die Ethernet- und die USB-Schnittstellen des Lecksuchers können diese Sicherheitslücken möglicherweise...
Seite 142: Wlan-Anbindung Im Pc Oder Tablet Einstellen
10 | Zubehör und Schnittstellen INFICON Um einzustellen, dass das Gerät die WLAN-Anbindung unterstützen soll, aktivieren Sie die Option “WLAN aktivieren“. Tragen Sie im Feld “WLAN Name (SSID)“ den gewünschten Netzwerknamen und im Feld “WLAN Netzwerkschlüssel“ den gewünschten Netzwerkschlüssel ein.
Seite 143: Client Zugriff Zulassen
INFICON Zubehör und Schnittstellen | 10 ð Auf dem PC oder Tablet steht Ihnen die gleiche Funktionalität wie auf dem Touchscreen des Dichtheitsprüfgeräts zur Verfügung. 10.4.2.3 Client Zugriff zulassen ü Supervisor-Rechte > Einrichten > Netzwerk > Client Zugriff Um eine Bedienung des Dichtheitsprüfgeräts durch PC oder Tablet zuzulassen, aktivieren Sie die Option “Client Zugriff“.
Seite 144: Anhang
11 | Anhang INFICON 11 Anhang 11.1 Menüpfade 11.1.1 Diagnose > Bestätigte Warnungen > Fehler und Warnungen > Messdaten > Datenaufzeichnung > Messdaten > Datenbankinformation > Messdaten > Messdaten-Export > Messdaten > Messzyklen > Protokolle > Ergebnisprotokoll > Protokolle > Fehler und Warnungen >...
Seite 145 INFICON Anhang | 11 > Benutzerkonten > Eigene Sprache ändern > Benutzerkonten > Favoriten > Betriebsart > Einrichten > Allgemein > Benachrichtigungen > Einrichten > Allgemein > Datum und Uhrzeit > Einrichten > Allgemein > Einheiten > Einrichten > Allgemein > Zurücksetzen >...
Seite 146: Informationen
11 | Anhang INFICON > Parametersätze > Parametersätze verwalten > Schwellenwerte 11.1.3 Informationen > Baugruppen > Ionenquelle > Baugruppen > TMP > Baugruppen > TMP2 > Baugruppen > Vorvakuumpumpe > Baugruppen > Vorverstärker > Energie > Leistung > Energie > Spannung (1) >...
Seite 147: Ce-Konformitätserklärung
INFICON Anhang | 11 11.2 CE-Konformitätserklärung UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109) 147 / 154...
Seite 148: Rohs
11 | Anhang INFICON 11.3 RoHS 148 / 154 UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)
Seite 149: Stichwortverzeichnis
INFICON Stichwortverzeichnis Stichwortverzeichnis Flaschenhalter für Heliumflaschen 128 Funktionsbeschreibung 18 Argon abpumpen Druckgrenzen zwischen Vakuumbereichen 73 Audioeinstellungen ändern 61 Gas wählen 69 Auspuff 31, 48 Ausschalten 96 Automatische Anmeldung ausschalten 56 Hinweis zum Abgasschlauch-Anschluss 68 einschalten 57 HYDRO•S benutzen 71 Definition 18...
Seite 150 Stichwortverzeichnis INFICON Messdaten Exportformat 84 Technische Daten 34 über Netzwerk exportieren 85 Termperaturwerte anzeigen 87 Monitor umschalten 25, 94 TMP2 Modus 70 Touch-Monitor 25 Touchscreen 28 Operator 54 Symbole 28 Parametersatz Untergrundleckrate anzeigen 60 laden 91 Untergrundsignal 10 löschen 91 Untergrundunterdrückung...
Seite 151 INFICON Stichwortverzeichnis Werkseinstellung 74 UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109) 151 / 154...
Seite 152 Stichwortverzeichnis INFICON 152 / 154 UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)

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Verwandte Anleitungen für INFICON UL6000 Fab

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