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Beschreibung; Funktion Und Aufbau Des Geräts - INFICON Ecotec E3000 Originalbetriebsanleitung

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INFICON

4 Beschreibung

4.1 Funktion und Aufbau des Geräts
Ecotec-E3000-Betriebsanleitung-kina22de1-28-(2211)
Der Ecotec E3000 besteht aus Grundgerät und Schnüffelleitung. Der Ecotec E3000
kann Gase, die er durch die Schnüffelleitung eingesaugt hat, mit Hilfe eines selektiven
Massenspektrometers nachweisen und quantifizieren.
Im Ecotec E3000 arbeiten:
• ein Quadrupol-Massenspektrometer als Nachweissystem
• ein Hochvakuumpumpensystem
• ein Einlasssystem für den Gasfluss
• elektrische und elektronische Unterbaugruppen für die elektrische Versorgung und
die Signalverarbeitung
Das Massenspektrometer arbeitet unter Hochvakuum, d.h. der Druck in dem
Massenspektrometer muss immer unter 10
Turbomolekularpumpe mit Unterstützung einer Membranpumpe erzeugt.
-4
mbar sein. Dieses Vakuum wird durch die
Beschreibung | 4
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