INFICON UL6000 Fab Originalbetriebsanleitung Seite 119

INFICON
Typ Meldung
W619 Die I•BOOST Leckrate fiel
schneller als erwartet (30 s
Meldung)
W625 Leckrate des internen
Prüfleck wurde noch nicht
gesetzt
W630 Kalibrieraufforderung
UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
Mögliche
Fehlerquellen
Die 'I•BOOST
Zeitkonstante' für das
angeschlossene
Vakuumsystem wurde
noch nicht bestimmt
oder es wurde nach der
Bestimmung der
'I•BOOST
Zeitkonstante' etwas an
dem angeschlossenen
Vakuumsystem
geändert
EEPROM Parameter
wurde zurückgesetzt
Die Betriebsart oder die
Masse hat sich
geändert
HYDRO•S wurde
eingeschaltet (falls
Funktion verfügbar)
Auto Leak Test ist aktiv
und Testzeit hat sich
geändert
Eine neue SL3000
Schnüffelleitung wurde
angeschlossen (falls
Funktion verfügbar)
Laufzeit über 30
Minuten und
Temperaturänderung
um 5 Kelvin seit der
letzten Kalibrierung
Laufzeit über 30
Minuten und keine
Kalibrierung seit 24
Stunden
Warn- und Fehlermeldungen | 7
Störungsbeseitigung
• Führen Sie das Verfahren zur
Bestimmung der 'I•BOOST Zeitkonstante'
erneut durch
• Geben sie die korrekte Leckrate für das
interne Prüfleck ein
• Führen Sie eine Kalibrierung durch
• Führen Sie eine Kalibrierung durch
• Führen Sie eine Kalibrierung durch
• Führen Sie eine Kalibrierung durch
• Führen Sie eine Kalibrierung durch
• Führen Sie eine Kalibrierung durch
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