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4 | Beschreibung
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Verstärkertest während Kalibrierung
Überwachung alternierende
Vorverstärkerbereiche
Untere Druckgrenze Kapillare SL3000
verstopft
Obere Druckgrenze Kapillare SL3000
gebrochen
Druckgrenze MASSIVE -> GROSS
Druckgrenze GROSS -> FINE
Druckgrenze FINE -> ULTRA
Evakuierungszeit Grobleck
Evakuierungszeit Messung
Grobleckschutz Leckratengrenze
Grobleckschutz
Partikelschutz
Untergrund-Unterdrückung
Belüftungs-Verzögerung
Gerät am LD-Anschluss
Wartungsmeldungen
Vakuumbereiche
Bus-Modul-Adresse
Prüfleck extern Vakuum Wasserstoff
Prüfleck extern Vakuum Masse 3
Prüfleck extern Vakuum Helium
Prüfleck extern Schnüffeln Wasserstoff
Prüfleck extern Schnüffeln Masse 3
Prüfleck extern Schnüffeln Helium
Lokale Bedienung
Uhrstil
Untergrund in Standby anzeigen
Untere Leckraten-Grenze anheben
Minimale Lautstärke
HYDRO•S
TMP2 Modus
Sanftes Belüften
Internes Prüfleck nach dem Hochlauf
messen
An (nur durch Service änderbar)
An (nur durch Service änderbar)
80 mbar
200 mbar
15,0 mbar
2,0 mbar
0,3 mbar
600 s
1800 s
-3
1×10
mbar l/s
Aus
Aus
nur intern
manuell
I/O-Modul
alle aktiviert
MASSIVE, GROSS, FINE und ULTRA
(Alle AN)
126
-7
1×10
mbar l/s
-7
1×10
mbar l/s
-7
1×10
mbar l/s
-5
1×10
mbar l/s
-5
1×10
mbar l/s
-5
1×10
mbar l/s
Freigegeben
Analog
Aus
0
0
Deaktiviert
Automatisch
Deaktiviert
Deaktiviert
UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
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