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6 | Betrieb
6.12.1 Auf internen Monitor zurückschalten
6.13 Vakuumdiagramm sichten
1 Turbomolekularpumpe 2 (Booster-TMP)
2 Einlassflansch
3 p1 ... p4: Druckmessstellen
4 Internes Prüfleck
5 V2a, V2b ... V15: Magnetventile zur Steuerung
der Gasflüsse
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HINWEIS
Externen Monitor trennen
► Falls das Gerät eingeschaltet ist, stellen Sie vor dem Trennen der Anschlüsse eines
externen Monitors im Menü auf den internen Monitor um.
Sie können bei eingeschaltetem Gerät jederzeit auf den internen Monitor umschalten.
1
> Anzeige > Monitor umschalten
2
Drücken Sie auf die Schaltfläche "Interner Monitor".
Um die Funktion und den Betriebszustand des Messsystems auf einen Blick zu
überprüfen, rufen Sie die vereinfachte Darstellung des Vakuumschemas auf.
►
> Vakuumdiagramm
2
1
V15
V14
V13
V12
Abb. 13: Die wichtigsten Komponenten des Vakuumdiagramms in UL6000-Geräten
4
3
TL
p3
V4c
p1
V11
V2b
10
6 Massenspektrometer
7 Turbomolekularpumpe 1
8 Druckmessstelle zur Flussüberwachung
9 Schnüffelleitung
10 Vorvakuumpumpe
UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
5
V7
MS
V8
V9
p4
p2
V10
V2a
V5
9
INFICON
6
7
8
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