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INFICON
Typ
Meldung
E521
Druckanstieg,
Anodenspannung
eingebrochen
W522
Druckanstieg,
Emissionstrom
eingebrochen
W540
Fluss durch Kapillare zu
klein! Lecks können u.U.
nicht detektiert werden
W541
Fluss durch Kapillare
deutlich zu klein! Lecks
können u.U. nicht detektiert
werden
W542
Fluss durch Kapillare zu
groß
UL6000-Fab,-PLUS-Betriebsanleitung-iinc75de1-02-(2207)
Mögliche
Fehlerquellen
Druckanstieg am
Drucksensor p2 und
Anodenspannung
eingebrochen
Druckanstieg am
Drucksensor p2 und
Emissionstrom
eingebrochen
Filter ist verschmutzt
Schnüffelspitze oder
Kapillare blockiert
Die Druckgrenze für
eine blockierte
Kapillare ist zu hoch
eingestellt
Filter ist verschmutzt
Schnüffelspitze oder
Kapillare blockiert
Die Druckgrenze für
eine blockierte
Kapillare ist zu hoch
eingestellt
Kapillare gebrochen
oder undicht
Die Druckgrenze für
eine gebrochene
Kapillare ist zu niedrig
eingestellt
Warn- und Fehlermeldungen | 7
Störungsbeseitigung
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Ersetzen Sie den Filter in der
Schnüffelspitze
• Entfernen Sie die Blockierung der
Schnüffelspitze
• Verwenden Sie eine andere
Schnüffelleitung, wenn möglich
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Prüfen und ändern Sie ggf. die
Druckgrenze
• Ersetzen Sie den Filter in der
Schnüffelspitze
• Entfernen Sie die Blockierung der
Schnüffelspitze
• Verwenden Sie eine andere
Schnüffelleitung, wenn möglich
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Prüfen und ändern Sie ggf. die
Druckgrenze
• Verwenden Sie eine andere
Schnüffelleitung, wenn möglich
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Prüfen und ändern Sie ggf. die
Druckgrenze
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