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Abmessungen Des Ext 200/200H Gcms-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten In Mm) - Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung

Split flow compound-turbomolekularpumpen
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B756-01-882 Issue K
Abbildung 2 - Abmessungen des EXT 200/200H GCMS-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten in mm)
1. 8 Schlitze mit einer Breite
2. EXDC-Controller
3. Vorvakuumanschluss
Seite 10
von 8,4 mm
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
4. TAV5-Belüftungsventil
5. Haupteinlass
6. Seiteneinlass
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.

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