Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung Seite 14

Split flow compound-turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

Werbung

B756-01-882 Issue K
Parameter
Anlaufzeit bis 90 % der
Drehzahl
EXDC160
EXC100E
EXC100L
EXC120
EXC300
EXDC80
Kühlungsart
Umgebungsluft-
Temperatur
(Druckluftkühlung)
Wassertemperatur
(Wasserkühlung)
Schalldruckpegel
(Abstand 1 m)
Empfohlener Controller
maximaler VA-Eingang
EXDC160
Ruhestrom
Empfohlene
‡‡‡
Vorvakuumpumpe
*
Die für EXT200/200H GCMS gezeigten Daten gelten für die Pumpen: B75640991, B75641991, B75642991,
B75643991 und B75644991. Der Grund hierfür ist, dass die Pumpen über die gleichen internen Komponenten
verfügen und die Daten ohne Ansaugsiebe erfasst wurden.
Das Gewicht bezieht sich auf die in der Herstellererklärung zum Einbau aufgeführten Produkte.
Pb = Vorvakuumdruck,
P
= Einlassdruck,
i
**
Die Saugvermögen beziehen sich auf Ausführungen ohne Ansaugsieb oder Ansaugfilter (EXT200/200Hi, GCMS
und ICPMS). Ansaugsiebe und Ansaugfilter reduzieren die Drehzahl um ca. 10 %.
††
Dies ist ein gemessener Wert. Theoretischer Wert >10
‡‡
Theoretische Werte 2 x 10
***
Einlassdruck ist auf 10
†††
Oberhalb dieses Drucks fällt die Drehzahl unter die Nenndrehzahl ab.
‡‡‡
Für den maximalen Durchsatz ist unter Umständen eine größere Vorvakuumpumpe erforderlich.
Seite 8
Tabelle 4 - Technische Daten (Fortsetzung)
EXT200/200H
EXT70/200H
und Hi
110 s
110 s
190 s
190 s
130 s
130 s
100 s
100 s
Druckluft/
Druckluft/
Wasser
Wasser
0 - 35 °C
0 - 35 °C
10 - 20 °C
10 - 20 °C
< 50 dB(A)
< 50 dB(A)
EXDC160
EXDC160
250 VA
250 VA
25 W
25 W
RV3
RV3
9
11
bzw. 7 x 10
.
-3
mbar angestiegen.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
EXT 200/
EXT200/200H
200H
*
GCMS
ICPMS
120 s
150 s
245 s
120 s
270 s
330 s
0 - 35 °C
0 - 35 °C
-
-
< 50 dB(A)
< 50 dB(A)
EXDC160
EXDC160
250 VA
250 VA
40 W
40 W
RV3
RV3
9
11
bzw. >10
für GCMS und ICPMS.
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Anmerkungen

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltsverzeichnis