Technische Daten - Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung

B756-01-882 Issue K
Parameter
Gewicht
Seitenhochvakuum-
flansch
Haupthochvakuum-
flansch
Auslassflansch
Belüftungsanschluss
Zwischenstufen-
Anschluss (optional)
Haupteinlass-
Saugvermögen
‡**
N
2
‡**
He
‡**
H
2
‡**
Ar
Seiteneinlass-
Saugvermögen
‡**
N
2
‡**
He
‡**
H
2
‡**
Ar
Zwischenstufen-
Saugvermögen
‡
N
2
‡
He
Verdichtungsverhältnis
vom
Vorvakuumanschluss
zum Haupteinlass
N
2
He
H
2
Ar
Verdichtungsverhältnis
vom Seiteneinlass zum
Haupteinlass
N
2
He
H
2
Ar
Seite 6
Tabelle 4 - Technische Daten
EXT200/200H
EXT70/200H
und Hi
9 kg 9 kg (7,5 kg
DN100ISO DN100ISO
DN63ISO DN100ISO
DN25KF DN25KF
1/8 Zoll BSP- 1/8 Zoll BSP-
Anschluss Anschluss
DN25KF DN25KF
-1 -1
110 l s 177 l s
-1 -1
145 l s 190 l s
-1 -1
130 l s 163 l s
- -
-1 -1
155 l s 155 l s
-1 -1
131 l s 131 l s
-1 -1
79 l s 79 l s
- -
-1
- 8,75 l s
-1
- 10,4 l s
7 7
>5 x 10 >5 x 10
6 6
1 x 10 1 x 10
4
3,5 x 10 3,5 x 10
- -
3 3
6 x 10 6 x 10
2 2
6 x 10 6 x 10
1 1
2 x 10 2 x 10
- -
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
EXT 200/
EXT200/200H
200H
*
GCMS
ICPMS
†
) 9 kg
DN100ISO DN100ISO
DN100ISO DN100ISO
DN25KF DN25KF
1/8 Zoll BSP- 1/8 Zoll BSP-
Anschluss Anschluss
DN25KF DN25KF
-1
155 l s 107 l s
-1
185 l s 113 l s
-1
175 l s 102 l s
-1
153 l s 104 l s
-1
155 l s 155 l s
-1
179 l s 187 l s
-1
131 l s 143 l s
-1
127 l s 148 l s
N/A
N/A
7††
>5 x 10 >5 x 10
7
1 x 10 2,5 x 10
4
- 5 x 10
7‡‡
>5 x 10 >5 x 10
4
1 x 10 9 x 10
2
1,5 x 10 2,5 x 10
1
3,3 x 10 6 x 10
4
1,7 x 10 7 x 10
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Anmerkungen
9 kg Gewicht ohne Controller
Controller
-1
Pb < 5 mbar (500 Pa)
-1
Pb < 1 mbar (100 Pa)
-1
Pb < 0,5 mbar (50 Pa)
-1
Pb < 0,2 mbar (20 Pa)
-1
Pb < 5 mbar (500 Pa)
-1
Pb < 1 mbar (100 Pa)
-1
Pb < 0,5 mbar (50 Pa)
-1
N/A Pb = 5 mbar (500 Pa)
N/A Pb = 5 mbar (500 Pa)
-1
P = 5 x 10 mbar (50 Pa)
i
7††
7
5
7‡‡
3
2
1
3