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Parameter
Maximaler
***
Vorvakuumdruck
N
2
He
H
2
Ar
Minimale
Vorvakuumpumpleistung
Maximaler
kontinuierlicher
Einlassdruck –
Wasserkühlung bei
†††
35 °C
Haupteinlass
Seiteneinlass
Maximaler
kontinuierlicher
Einlassdruck –
Luftkühlung bei 35 °C
Umgebungs-
†††
temperatur
Haupteinlass
Seiteneinlass
Einbaulage
Nenndrehzahl
Standby-Drehzahl
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 4 - Technische Daten (Fortsetzung)
EXT200/200H
EXT70/200H
und Hi
12,6 mbar
12,6 mbar
(1260 Pa)
(1260 Pa)
7,7 mbar
7,7 mbar
(770 Pa)
(770 Pa)
2 mbar
2 mbar
(200 Pa)
(200 Pa)
-
3
-1
3
0,6 m
h
0,6 m
h
2,5 x
2,5 x
-3
-3
10
mbar
10
mbar
(2,5 x
(2,5 x
-1
-1
10
Pa)
10
Pa)
-3
-3
5 x 10
mbar
5 x 10
mbar
-1
-1
(5 x 10
Pa)
(5 x 10
-3
-3
3 x 10
mbar
3 x 10
mbar
-1
-1
(3 x 10
Pa)
(3 x 10
-3
-3
9 x 10
mbar
9 x 10
mbar
-1
-1
(9 x 10
Pa)
(9 x 10
Vertikal und
Vertikal und
aufrecht bis
aufrecht bis
horizontal
horizontal
±2 °
±2 °
-1
60000 U/Min
60000 U/Min
-1
42000 U/Min
42000 U/Min
EXT 200/
EXT200/200H
*
GCMS
7,3 mbar
(730 Pa)
-
-
-
8 mbar
(800 Pa)
-1
3
-1
0,6 m
h
0,6 m
Pa)
-3
5 x 10
mbar
1 x 10
-3
Pa)
(He: 7,5 x 10
(Ar: 5 x 10
mbar)
-2
1.5 x 10
1 x 10
Pa)
mbar
(Ar: 5 x 10
-3
(He: 5 x 10
mbar)
Vertikal
Vertikal
-1
-1
60000 U/Min
60000 U/Min
-1
-1
42000 U/Min
42000 U/Min
B756-01-882 Issue K
200H
Anmerkungen
ICPMS
-
-
-
3
-1
h
Keine Wasserkühlung bei
GCMS und ICPMS.
Luftkühlung ist für den
EXDC-Controller von
Vorteil.
Sofern nicht anders
angegeben, ist Stickstoff
zu verwenden.
-2
mbar
-3
mbar)
-2
mbar
-3
mbar)
-1
-1
Nur EXC-Controller
Seite 7
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Fehlerbehebung
