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Reinigen Der Pumpe; Fehlersuche - Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung

Split flow compound-turbomolekularpumpen
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B756-01-882 Issue K
5.4

Reinigen der Pumpe

Reinigen Sie die Außenflächen der EXT Split Flow-Pumpe an einem gut belüfteten Ort. Wenn Sie
zum Reinigen der Pumpe Reinigungslösungen oder Lösungsmittel verwenden, beachten Sie alle
vom Hersteller angegebenen Vorsichtsmaßnahmen. Vermeiden Sie es, eventuell in der Pumpe
vorhandene Partikel einzuatmen.
Versuchen Sie nicht, irgendwelche Teile der EXT Split Flow-Pumpe außer den Außenflächen zu reinigen. Durch
die Verwendung von organischen Lösungsmitteln können die Komponenten im Innern der Pumpe beschädigt
werden. Zur Reinigung der Pumpe keine abrasiven Stoffe verwenden.
Wenn die EXT Split Flow-Pumpe im Innern verunreinigt ist, kann das angegebene Endvakuum möglicherweise nicht
erreicht werden oder die Abpumpzeiten verlängern sich. Unter diesen Umständen sollte die Pumpe an ein Edwards-
Kundendienstzentrum zurückgeschickt werden, wo sie zerlegt und gereinigt wird. Befolgen Sie die Anweisungen in
den Formularen am Ende dieser Betriebsanleitung, wenn Sie die Pumpe zurückschicken.
Verwenden Sie eine für die Verunreinigungen in der Pumpe geeignete Reinigungslösung. Zur Reinigung der
Außenflächen der Pumpe können Sie jedes organische Lösungsmittel verwenden. Edwards empfiehlt die Verwendung
FCKW-freier Lösungsmittel, z. B. Isopropanol oder Ethanol.
Aus Gründen des Umweltschutzes sollten Sie den Verbrauch von Reinigungslösungen und Lösungsmitteln auf das
notwendige Minimum begrenzen.
5.5

Fehlersuche

Tabelle 7
enthält eine Zusammenstellung möglicher Fehlerursachen und empfohlene Maßnahmen zur Behebung der
Fehler.
Tabelle 7
bezieht sich auf ein manuell gesteuertes Pumpsystem in der Grundversion mit einem EXC-
Controller, der für lokalen (manuellen) Betrieb konfiguriert ist.
Beachten Sie, dass bei Verwendung eines EXDC-Pumpenantriebsmoduls zur Steuerung der EXT Split Flow-Pumpe oder
eines EXC-Controllers, der für einen ferngesteuerten Betrieb der EXT Split Flow-Pumpe konfiguriert ist, einige der in
Tabelle 7
beschriebenen Überprüfungen und Aktionen möglicherweise nicht auf Ihr System zutreffen. Weitere
Informationen zur Fehlersuche finden Sie in den entsprechenden Abschnitten der Betriebsanleitungen zum EXC-
Controller bzw. zum EXDC-Pumpenantriebsmodul.
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WARNUNG
VORSICHT
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

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