Vorvakuumanschluss; Einbaulagen Einer Ext-Split-Flow-Pumpe - Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung

Split flow compound-turbomolekularpumpen

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Bei den Einlassanschlüssen der EXT Split Flow-Pumpe handelt es sich um ISO-Flansche.

Verwenden Sie den zum Lieferumfang der Pumpe gehörenden Edwards O-Ring mit Zentrier- und Außenring und

mindestens vier Befestigungsschrauben, um den Hochvakuumflansch der Pumpe mit dem Vakuumsystem zu

verbinden. M8-Schrauben sollten bis zu einem Drehmoment von 5-6 Nm festgeschraubt werden.

3.3.4

Vorvakuumanschluss

Der Kunde muss für eine sichere Führung der Vorvakuumleitung sorgen, wenn Ölnebel oder

gefährliche Stoffe vorhanden sind.

Split Flow-Pumpen dürfen nicht mit einer eingeschränkten/blockierten Vorvakuumleitung

betrieben oder mit einer positiven Druckluftgaszufuhr belüftet werden.

Schließen Sie den KF-Flansch des Vorvakuumanschlusses mit geeigneten Rohren und

Verbindungselementen ans Pumpsystem an. Verwenden Sie bei Bedarf einen Schlauch oder

Faltenbalg, um die Übertragung von Schwingungen von der Vorvakuumpumpe auf die EXT Split

Flow-Pumpe zu verringern.

Schließen Sie den KF-Flansch des Vorvakuumanschlusses mit geeigneten Vakuumrohren und Verbindungselementen

an die Vorvakuumpumpe an. Verwenden Sie bei Bedarf einen Schlauch oder Faltenbalg, um die Übertragung von

Schwingungen von der Vorvakuumpumpe auf die EXT Split Flow-Pumpe zu verringern.

Edwards empfiehlt die Verwendung einer Edwards RV-Vorvakuumpumpe. Die Mindestgröße der erforderlichen

Vorvakuumpumpe wird in

eventuell eine größere Vorvakuumpumpe erforderlich. Die Split Flow-Pumpen EXT70/200H und EXT200/200H eignen

sich auch für Membran-Vorpumpen, wobei jedoch die Auswirkungen eines höheren Vorvakuumdrucks auf die Leistung

der Pumpe und den Kühlungsbedarf beachtet werden sollten (siehe

Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

Abbildung 7 - Einbaulagen einer EXT-Split-Flow-Pumpe

WARNUNG

Tabelle 4

angegeben. Wenn die Pumpe bei höherem Einlassdruck betrieben wird, ist

Tabelle 1

und

Abschnitt

3.6).

B756-01-882 Issue K

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