Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung Seite 6

B756-01-882 Issue K
7.2 Kundendienst ............................................................................................................ 31
7.3 Ersatzteile ............................................................................................................... 31
7.3.1 ISX-Ansaugsiebe .........................................................................................................31
7.3.2 Ansaugfilter (nur Pumpen mit Zwischenstufe) ..................................................................... 32
7.3.3 HV-Flansch-Dichtungen ................................................................................................32
7.4 Zubehör .................................................................................................................. 32
7.4.1 Installation ............................................................................................................... 32
7.4.2 EXDC-Antriebsmodule ..................................................................................................32
7.4.3 EXC-Controller ........................................................................................................... 32
7.4.4 Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller ................................................................33
7.4.5 EXT-Wasserkühlblock ...................................................................................................33
7.4.6 TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter ..........................................................33
7.4.7 ACX-Luftkühler ..........................................................................................................33
7.4.8 VRX-Belüftungsdrossel .................................................................................................34
Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen.
Abbildungen
Abbildung
1 Abmessungen des EXT 200/200H-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten in mm) .............................. 9
2 Abmessungen des EXT 200/200H GCMS-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten in mm) .....................10
3 Abmessungen des EXT 200/200H ICPMS-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten in mm) .....................11
4 Abmessungen des EXT200/200H GCMS/LCMS (umgekehrtes Gehäuse) ......................................... 12
5 Ein typisches Vakuumsystem mit einer Turbomolekularpumpe ................................................. 14
6 Korrekte Installation des Ansaugsiebs ............................................................................... 16
7 Einbaulagen einer EXT-Split-Flow-Pumpe ........................................................................... 17
8 Optionale Zubehörteile installieren .................................................................................. 34
Tabellen
Tabelle
1 Allgemeines ............................................................................................................... 3
2 Daten zu Belüftungsgasen und zur Belüftungsregelung ............................................................ 4
3 Wasserkühlung ........................................................................................................... 5
4 Technische Daten ........................................................................................................ 6
5 Zum Lieferumfang gehörende Artikel ............................................................................... 15
6 Bohrungsdurchmesser der Belüftungsdrossel (mit Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils) 18
7 Fehlersuche .............................................................................................................. 25
8 ISX-Ansaugsiebe .........................................................................................................31
9 Ansaugfilter (nur Pumpen mit Zwischenstufe) ..................................................................... 32
10 HV-Flansch-Dichtungen ................................................................................................32
11 EXDC-Antriebsmodule ..................................................................................................32
12 EXC-Controller ...........................................................................................................32
13 Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller ................................................................33
14 EXT-Wasserkühlblock ...................................................................................................33
15 TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter ..........................................................33
16 ACX-Luftkühler ..........................................................................................................33
17 VRX-Belüftungsdrossel .................................................................................................34
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