Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung Seite 33

Symptom
Der Systembetriebsdruck kann nicht
erreicht werden.
Die EXT Split Flow-Pumpe ist sehr
laut, oder es gibt zu starke
Schwingungen oder beides.
Keines der obigen Symptome.
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Tabelle 7 - Fehlersuche (Fortsetzung)
Prüfung
Ist eines der Vakuum-Messgeräte
verunreinigt?
Ist das Saugvermögen zu gering
(aufgrund eines zu geringen
Leitwerts zwischen der Pumpe und
dem Messgerät oder einer zu großen
Kammer)?
Beträgt der Druck am
Zwischenstufen-Einlass > 0,2 mbar
(20 Pa)?
Beträgt der Vorvakuumdruck
< 12 mbar (1200 Pa)?
Ist der Hochvakuumbereich des
Systems verunreinigt?
Überprüfen Sie die übrigen Bereiche
des Systems auf Lecks und
Verunreinigungen.
Stimmt die Drehzahl der Pumpe mit
der Resonanzfrequenz des Systems
überein, mit dem sie verbunden ist?
Wird die Schwingung von der
Drehschieberpumpe übertragen?
Ist das Geräusch unregelmäßig und
wird immer schlimmer?
Erzeugt die EXT Split Flow-Pumpe
ein konstantes, hohes Geräusch?
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B756-01-882 Issue K
Maßnahme
Wenn dies der Fall ist, reinigen oder
ersetzten Sie sie.
Erhöhen Sie den Leitwert oder
verringern Sie das Volumen.
Wenn der Druck am Zwischenstufen-
Einlass zu hoch ist, verringert sich
der Einlassdruck am Einlass der
Turbomolekularpumpe. Stellen Sie
sicher, dass der Druck am
Zwischenstufen-Einlass 0,2 mbar
(20 Pa) beträgt.
Überprüfen Sie die
Vorvakuumleitungen auf Lecks. Wenn
der Vorvakuumdruck zu hoch ist,
benötigen Sie eventuell eine größere
Vorvakuumpumpe.
Wenn dies der Fall ist, reinigen Sie
das Hochvakuumsystem.
Wenn Sie die Fehler gefunden haben,
reinigen Sie die Bereiche und
reparieren die Lecks.
Wenn dies der Fall ist, ändern Sie die
Eigenfrequenz des angeschlossenen
Systems.
Wenn dies der Fall ist, montieren Sie
Elemente oder einen
Schwingungsisolator in der
Vorvakuumleitung.
Wenn dies der Fall ist, ist ein Lager
defekt. Wenden Sie sich an Edwards
oder Ihren Lieferanten.
Wenn dies der Fall ist, ist der Motor
nicht korrekt ausgewuchtet. Wenden
Sie sich an Edwards oder Ihren
Lieferanten.
Wenden Sie sich an Edwards oder
Ihren Lieferanten.
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