Inhaltsverzeichnis - Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung

Inhalt
Abschnitt
1 Einführung ......................................................................................... 1
1.1 Umfang und Definitionen ............................................................................................... 1
2 Technische Daten ................................................................................. 3
2.1 Allgemeines ............................................................................................................... 3
2.2 Pumpmedien .............................................................................................................. 3
2.3 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung ............................................... 4
2.4 Wasserkühlung ........................................................................................................... 5
2.5 Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien .................................................................... 9
3 Installation ....................................................................................... 13
3.1 Auspacken und Überprüfen ............................................................................................13
3.2 Typische Installation ...................................................................................................13
3.3 Anschluss an das Vakuumsystem ..................................................................................... 14
3.3.1 Mechanische Befestigung ..............................................................................................15
3.3.2 Ansaugsiebe (montiert geliefert) oder integraler Maschen-Zentrierring
(separat von der Pumpe geliefert) ................................................................................... 16
3.3.3 Anschluss und Einbaulage des Einlasses ............................................................................. 16
3.3.4 Vorvakuumanschluss ....................................................................................................17
3.3.5 Zwischenstufen-Anschluss (nur Hi-Pumpenvarianten) ............................................................18
3.4 Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung ................................................. 18
3.5 Elektroinstallation ......................................................................................................19
3.5.1 EXDC-Controller .........................................................................................................19
3.5.2 EXC-Controller ........................................................................................................... 19
3.6 Kühlung ................................................................................................................... 20
3.6.1 Einführung ............................................................................................................... 20
3.6.2 Druckluftkühlung ........................................................................................................20
3.6.3 Wasserkühlung ..........................................................................................................20
4 Betrieb ........................................................................................... 21
4.1 Starten der Pumpe ......................................................................................................21
4.2 Abschalten der Pumpe .................................................................................................21
4.3 Sicherheitsverriegelungen und Steuersystem ...................................................................... 22
4.3.1 EXDC-Controller .........................................................................................................22
4.3.2 EXC-Controller ........................................................................................................... 22
5 Wartung .......................................................................................... 23
5.1 Einführung ............................................................................................................... 23
5.2 Lagerwartung ............................................................................................................ 23
5.3 Lebensdauer des Rotors ................................................................................................23
5.4 Reinigen der Pumpe ....................................................................................................24
5.5 Fehlersuche .............................................................................................................. 24
6 Lagerung und Entsorgung ...................................................................... 29
6.1 Lagerung ................................................................................................................. 29
6.2 Entsorgung ............................................................................................................... 29
7 Service, Ersatzteile und Zubehör ............................................................. 31
7.1 Einführung ............................................................................................................... 31
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