Inhaltsverzeichnis
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Einführung
1.1
Umfang und Definitionen
In diesem Handbuch finden Sie Installations-, Betriebs-, Wartungs- und Lageranweisungen für die Edwards Split Flow
Compound-Molekularpumpen EXT70/200H und EXT200/200H, im Folgenden als EXT Split Flow-Pumpen bezeichnet.
Die Pumpe darf nur gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung verwendet werden. Lesen Sie die vorliegende
Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der Pumpe aufmerksam durch.
Die EXT Split Flow-Pumpen sind zum Betrieb mit einem Edwards EXDC- oder EXC-Controller ausgelegt. Lesen Sie die
zusammen mit dem Controller gelieferte Betriebsanleitung, bevor Sie versuchen, das Gerät zu installieren oder in
Betrieb zu nehmen. Das Controller-Handbuch enthält die Einzelheiten der elektrischen Installation.
Wichtige Sicherheitsangaben werden durch WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen hervorgehoben; diesen
Anweisungen ist Folge zu leisten. Die Verwendung der Signalwörter WARNUNG bzw. VORSICHT ist nachfolgend
definiert.
Warnungen sind Hinweise, die unbedingt befolgt werden müssen, um Verletzungen oder den Tod
von Personen zu vermeiden.
Mit Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden sollten, um Schäden an den
Betriebsanlagen sowie den damit verbundenen Geräten und Prozessen zu vermeiden.
Folgende Warnschilder sind an der Pumpe angebracht:
Warnung – siehe beigefügte Dokumente.
Warnung – Stromschlaggefahr
Warnung – heiße Oberflächen
Schutzleiterendstück.
Die in dieser Anleitung durchgehend verwendeten Maßeinheiten entsprechen dem internationalen
Maßeinheitensystem SI (System International). Ebenso wird in dieser Betriebsanleitung für die Spezifikation von
Durchflusswerten immer die Abkürzung „sccm" verwendet, entsprechend dem standardmäßigen
3
-1
cm
min
: Hierbei handelt es sich um einen Volumenstrom von 1 cm
und einem Druck von 1013 mbar (1.013 x 10
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
VORSICHT
3
min
5
Pa).
B756-01-882 Issue K
-1
bei einer Umgebungstemperatur von 0 °C
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Fehlerbehebung
