Timing-Diagramm Kombin. Messung (Getriggerte Fokus- Und Leistungsmessung) - primes FocusParameterMonitor FPM 60 Originalbetriebsanleitung

Messen
t16: „Calculate Caustic" muss gelöscht werden, ehe die nächste Kaustikmessung (d. h. „Caustic
measurement" gesetzt) gestartet wird.
Bei einer Kaustikmessung muss auch im Fehlerfall „Calculate Caustic" gesetzt und wieder gelöscht
werden, damit eine neue Kaustikmessung initiiert wird.
12.2.5

Timing-Diagramm kombin. Messung (getriggerte Fokus- und Leistungsmessung)

Abb. 12.5: Timing-Diagramm der kombinierten Messung
Revision 07 DE 10/2022 77