Messablauf Fokusmessung (Ungetriggert) - primes FocusParameterMonitor FPM 60 Originalbetriebsanleitung

Messen
12.1.2

Messablauf Fokusmessung (ungetriggert)

Anlage
Setzt Parameter für Messung (256.0=1)
Setzt command.start (256.4=1)
Wenn status.ready_for_
measurement==1: schaltet Laser an
"Wenn Laser an ist und status.acknow-
ledge == 1:
Löscht command.start"
Schaltet Laser (nach der notwendigen
Bestrahlungsdauer) aus
Liest Ergebnisse / Fehlerkennungen aus
Revision 07 DE 10/2022
FocusParameterMonitor FPM
Löscht status.idle
Löscht status.measurement_finished
Löscht Fehlerflags und -kennungen
Liest Parameter für Messung (aus Setup oder von PROFIBUS)
Setzt status.ready_for_measurement
Setzt status.acknowledge
Löscht status.acknowledge
Setzt status.measurement_running
Startet Messung
Wenn die Messung beendet ist: löscht status.measurement_running
Löscht status.ready_for_measurement
Berechnet Parameter (256.5=1)
Schreibt Parameter in PROFIBUS-Register, ggf. Fehlerkennungen
Setzt status.measurement_finished
Setzt status.idle
65