Messablauf Kombinierte Messung - primes FocusParameterMonitor FPM 60 Originalbetriebsanleitung

12.1.5 Messablauf kombinierte Messung (getriggerte Fokus- und Leistungsmessung
Anlage
Setzt command.start für Leistungsmodul
Löscht command.start für Leistungsmodul
Setzt Parameter für Messung mit Fokusmodul
Setzt command.start für Fokusmodul
"Bei ungetriggerter Messung: wenn status.ready_for_
measurement==1:
schaltet Laser ein"
Wenn status. acknowledge == 1 (und bei ungetrigger-
ter Messung der Laser an ist):
start für Fokusmodul
"Bei getriggerter Messung: wenn status.ready_for_
measurement==1:
schaltet Laser ein"
Schaltet Laser (nach der notwendigen
Bestrahlungsdauer) aus
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FocusParameterMonitor FPM
Wenn Shutter offen ist:
Leistungsmodul löscht status.idle
Leistungsmodul setzt status.acknowledge
Leistungsmodul löscht status.acknowledge
Leistungsmodul stellt Messbereitschaft her
Leistungsmodul löscht status.measurement_finished
Leistungsmodul setzt status.ready
Fokusmodul löscht status.idle und status.measurement_fi-
nished
Fokusmodul löscht Fehlerflags und -kennungen
Fokusmodul liest Parameter für Messung (aus Setup oder
von PROFIBUS)
Bei ungetriggerter Messung: Fokusmodul setzt status.
ready_for_measurement
Fokusmodul setzt status.acknowledge
löscht command.
Fokusmodul löscht status.acknowledge
Fokusmodul setzt status.measurement_running
Bei getriggerter Messung: Fokusmodul setzt status.ready_
for_measurement
Bei getriggerter Messung: Laser wird vom Fokusmodul
erkannt (Trigger)
Fokusmodul startet Messung
Wenn die Messung beendet ist: Fokusmodul löscht status.
measurement_running
Fokusmodul löscht status.ready
FocusParameterMonitor FPM
Revision 07 DE 10/2022