primes FocusParameterMonitor FPM 60 Originalbetriebsanleitung Seite 13

Gerätebeschreibung
Mit der Leistungsmesseinheit wird die Leistung bestimmt und mit der Strahlanalyseeinheit wird die Strahllage,
die Strahlgeometrie, die Kaustik und die Leistungs dichteverteilung gemessen.
CCD-Sensor
Absorber
Abb. 4.2: Strahlengang im FocusParameterMonitor FPM
Abb. 4.3: Strahlengang im FocusParameterMonitor FPM mit Eintritts- und Messebene
Beachten Sie, dass die Messebene im FocusParameterMonitor FPM unterhalb der Eintrittsebene
liegt. Der Abstand ist abhängig von der Vergrößerung und der Konfiguration (siehe „17 Technische
Daten" auf Seite 89)
Revision 07 DE 10/2022
Umlenkspiegel 2
Strahlteiler
Messposition
Verschluss
Strahleintritt
Umlenkspiegel 1
Schutzglas-
Wechselkassette
Eintrittsebene
Messebene
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