FPM
In
288.0
288.1
288.2
288.3
288.4
288.5
288.6
288.7
Warnungen
und Fehler
289
(read only)
290
292
294
296
298
300
302
304
306
308
310
312
Variable; sing-
314
le plane (read
only)
316
320
324
326
327
328
32
FPM mit
FPM neu
Kaustik-
Kaustik-
Option
Option
Adresse
288.0
288.0
288.1
288.1
288.2
288.2
288.3
288.3
288.4
288.4
288.5
288.5
288.6
288.6
288.7
288.7
289
289
290
290
292
292
294
294
296
296
298
298
300
300
302
302
304
304
306
306
308
308
310
310
312
312
314
314
316
316
320
320
324
324
326
326
327
327
328
328
Einheit/
Wiederholrate
Group warning: general
warning
Group warning: single
measurement warning
Group warning: caustic
measurement warning
Group error: hardware
error
Group error: parameter
error
Group error: single
measurement error
Group error: caustic
measurement error
Identifier for general
pro Messzyklus
warnings
Identifier for single
measurement warnings pro Messzyklus
Identifier for caustic
measurement warnings pro Messzyklus
Identifier for hardware
pro Messzyklus
errors
Identifier for parameter
pro Messzyklus
errors
Identifier for single
pro Messzyklus
measurement errors
Identifier for caustic
pro Messzyklus
measurement errors
m*E-7 /pro
Beam radius combined
Messzyklus
m*E-7 /pro
Beam radius in x
Messzyklus
m*E-7 /pro
Beam radius in y
Messzyklus
µm /pro
Beam position in x
Messzyklus
µm /pro
Beam position in y
Messzyklus
°*E-2 / pro
Angle x
Messzyklus
Beam volume
ADC-Counts
kW/cm² / pro
Peak Intensity
Messzyklus
Level indicator: maxi-
pro Messzyklus
mum of raw data
% of beam overdriven
% / pro
(i.e. raw data == 4095)
Messzyklus
% / pro
Fill factor
Messzyklus
µm /pro
ROI window position x
Messzyklus
FocusParameterMonitor FPM
Län-
Typ
ge
bool
bool
bool
bool
1 byte
bool
bool
bool
bool
1 byte byte
2 byte word
2 byte word
2 byte word
2 byte word
2 byte word
2 byte word
2 byte word
2 byte word
2 byte word
2 byte word
2 byte word
2 byte word
2 byte word
4 byte Dword
4 byte Dword
2 byte word
1 byte byte
1 byte byte
2 byte word
Revision 07 DE 10/2022
Vor-
zei-
chen
+/-