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Timing-Diagramm Fokusmessung (Ungetriggert) - primes FocusParameterMonitor FPM 60 Originalbetriebsanleitung

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12.2.2

Timing-Diagramm Fokusmessung (ungetriggert)

Abb. 12.2:
Timingdiagramm der Fokusmessung (ungetriggert)
t0:
Die Messparameter (Setup-Nr. oder detaillierte Messparameter) müssen gesetzt sein, ehe das
Flag „start" gesetzt wird.
t1:
Als Bestätigung, dass das Start-Kommando und die Messparameter empfangen wurden, wird
das Flag „start acknowledge" gesetzt, „idle" und „finished" gelöscht. Ebenso werden die Ergeb-
nisregister, die Fehlerflags und die Fehler-Kennungen gelöscht.
Bei der ungetriggerten Messung wird gleichzeitig das Flag „ready" gesetzt als Zeichen, dass der
Laser angeschaltet werden kann.
.
t2:
Wenn „ready" gesetzt ist, sollte der Laserpuls ausgelöst werden „Laser on".
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FocusParameterMonitor FPM
Revision 07 DE 10/2022

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