Messablauf Fokusmessung (Getriggert) - primes FocusParameterMonitor FPM 60 Originalbetriebsanleitung

12.1.3

Messablauf Fokusmessung (getriggert)

Anlage
Setzt Parameter für Messung
Setzt command.start
Wenn status.acknowledge == 1: löscht
command.start
Wenn status.ready_for_
measurement==1: schaltet Laser an
Schaltet Laser (nach der notwendigen
Bestrahlungsdauer) aus
Liest Ergebnisse / Fehlerkennungen aus
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FocusParameterMonitor FPM
Löscht status.idle
Löscht status.measurement_finished
Löscht Fehlerflags und -kennungen
Liest Parameter für Messung (aus Setup oder von PROFIBUS)
Setzt status.acknowledge
Löscht status.acknowledge
Setzt status.measurement_running
Setzt status.ready_for_measurement
Laser wird erkannt (Trigger)
Startet Messung
Wenn die Messung beendet ist: löscht status.measurement_running
Löscht status.ready_for_measurement
Berechnet Parameter
Schreibt Parameter in PROFIBUS-Register, ggf. Fehlerkennungen
Setzt status.measurement_finished
Setzt status.idle
FocusParameterMonitor FPM
Revision 07 DE 10/2022