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Druckluftkühlung; Wasserkühlung; Magnetfelder; Zufuhranforderungen Für Wasserkühlungsblock - Edwards EXT406PX Betriebsanleitung

24 volt turbomolekular-vakuumpumpe
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Wenn während des Betriebs die Temperatur irgendeiner Oberfläche der Pumpe 60 °C übersteigt, ist die Kühlung nicht
ausreichend und muss verstärkt werden.
3.7.2
Druckluftkühlung
Luftkühler sind als Zubehör für die Pumpe lieferbar (siehe
mit ihm gelieferten Betriebsanleitung beschrieben (siehe auch
die Luftkühlung verwenden, stellen Sie sicher, dass der Durchsatz über 80 m
Pumpengehäuse (Basis) und den EXDC-Controller läuft.
Wenn Pumpe und EXDC nicht ausreichend gekühlt werden, kann dies die Pumpenleistung beeinträchtigen.
3.7.3
Wasserkühlung
Bei einem Kühlmittelausfall muss die Pumpe erst auf die Umgebungstemperatur abkühlen, bevor sie erneut
gestartet werden kann.
Für die Wasserkühlung der Pumpe ist Zubehör erhältlich (siehe
mitgelieferten Anleitung an. Achten Sie darauf, dass die Wasserversorgung konstant ist und die folgenden Werte für
Qualität, Temperatur und Durchsatz einhält:
Parameter
Qualität
pH-Wert
Maximale Calciumcarbonat-Konzentration
Maximale Chlorid-Konzentration
Minimale Sauerstoffkonzentration
Mindest-Kühlwasserdurchsatz (bei 15 °C)
Wassertemperatur
Maximaler Wasserdruck
Kühlwasser ausgesetzte Materialien
3.8

Magnetfelder

Die in
Tabelle 1
überschritten werden.
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
VORSICHT
Tabelle 7 - Zufuhranforderungen für Wasserkühlungsblock
Spezifikation
Mechanisch und optisch sauber ohne Ablagerungen oder
Trübung
6,0 bis 8,0
75 ppm
100 ppm
4 ppm
15 l h
10 bis 20 °C
5 bar (Überdruck), 72,5 psig, 5 x 10
Vernickeltes Messing
WARNUNG
angegebenen maximal zulässigen externen Magnetfelder dürfen nicht
Abschnitt
7). Montieren Sie den Luftkühler so, wie in der
Abbildung
9). Wenn Sie einen alternativen Lüfter für
3
/hr (47 cfm) liegt und über das
Abschnitt
7). Bringen Sie den Wasserkühler gemäß der
-1
B760-10-882 Issue B
5
Pa Überdruck
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