Inhaltsverzeichnis
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Einführung
1.1
Umfang und Definitionen
Das vorliegende Handbuch enthält Hinweise zu Aufstellung, Betrieb, Wartung und Lagerung der Edwards
Turbomolekular-Vakuumpumpe EXT406PX. Die Pumpe darf nur gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung verwendet
werden. Lesen Sie die vorliegende Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der Pumpe aufmerksam durch.
Die Pumpe ist für den Einsatz in Verbindung mit einem EXDC160-Controller von Edwards ausgelegt. Lesen Sie die
zusammen mit dem Controller gelieferte Betriebsanleitung, bevor Sie versuchen, das Gerät zu installieren oder in
Betrieb zu nehmen.
Wichtige Sicherheitsangaben werden durch WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen hervorgehoben; diesen
Anweisungen ist Folge zu leisten. Die Verwendung der Signalwörter WARNUNG bzw. VORSICHT ist nachfolgend
definiert.
Mit WARNUNG werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden müssen, um
Verletzungen oder den Tod von Personen zu vermeiden.
Mit VORSICHT werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden sollten, um Schäden an den
Betriebsanlagen sowie den damit verbundenen Geräten und Prozessen zu vermeiden.
Folgende Warnschilder sind an der Pumpe angebracht:
Warnung – siehe beigefügte Dokumente.
Warnung – Stromschlaggefahr.
Warnung – heiße Oberflächen.
Schutzleiterendstück.
Die in dieser Anleitung durchgehend verwendeten Maßeinheiten entsprechen dem internationalen
Maßeinheitensystem SI (System International). Ebenso wird in dieser Betriebsanleitung für die Spezifikation von
Durchsatzwerten immer die Abkürzung „sccm" verwendet, was dem standardmäßigen cm
handelt es sich um den Volumenstrom von 1 cm
5
1013 mbar (1,013 x 10
Pa).
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
VORSICHT
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bei einer Umgebungstemperatur von 0 °C und einem Druck von
B760-10-882 Issue B
3
-1
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entspricht. Hierbei
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Fehlerbehebung
